【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电层叠式毫米波天线，其特征在于，包括上层介质衬底、中层介质衬底和下层介质衬底，所述上层介质衬底的上表面沉积有金属并刻蚀形成第一金属辐射贴片，所述中层介质衬底的上表面沉积有金属并刻蚀形成第二金属辐射贴片，所述下层介质衬底的上表面沉积有金属并刻蚀形成具有口径耦合缝隙的接地面，该下层介质衬底的下表面沉积有金属并刻蚀形成ＦＧＣＰＷ－ＭＳ馈线或ＭＳ馈线，所述上层介质衬底、中层介质衬底和下层介质衬底通过ＭＥＭＳ键合工艺形成一体。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：朱健，侯芳，郁元卫，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第五十五研究所，
类型：发明
国别省市：84[]
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