一种瑞奇康芒检测方法及系统技术方案

一种瑞奇康芒检测方法及系统，精度高、易实现、无需改变瑞奇角，单次测量即可获得待测面形，缩短了检测流程，降低了检测风险，可以实现对大口径平面镜面形的高精度检测。方法包括：(1)精准测量瑞奇

【技术实现步骤摘要】
一种瑞奇康芒检测方法及系统


[0001]本专利技术涉及光干涉测量仪器的
，尤其涉及一种瑞奇康芒检测方法，以及一种瑞奇康芒检测系统。

技术介绍

[0002]光干涉是一种高效的光学面形检测方法，可以准确反映面形质量，在光学元件的生产加工与检测中有着重要作用。随着天文光学的不断发展，对于大口径光学平面镜(>1000mm)的需求逐渐增多，而传统的商用干涉仪口径多在100mm至150mm之间，很难对其进行全口径测量。瑞奇康芒法可以较好实现大口径平面镜的全口径测量，在检测过程中，需要一块面形较好的球面镜，其口径在被检平面镜口径1.2～1.3倍之间。由于球面镜的检测及加工技术已经比较成熟，加工难度会较低。整个检测系统元件较少，原理简单易于实现，同时也降低了成本。
[0003]在传统瑞奇康芒检测中，调整检测光路引入的离焦误差与平面镜面形误差混合在一起，单次检测无法区分。为了将调整误差引入的影响分离出来，精确地从系统波像差中获得平面镜面形数据，通常需要改变瑞奇角的大小进行多次检测。在改变瑞奇角时，两次的测量距离通常很难保持一致，从而在本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种瑞奇康芒检测方法，其特征在于：其包括以下步骤：(1)精准测量瑞奇
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康芒检测光路中的各项参数，根据参数，在光学设计软件中构建虚拟干涉仪；(2)对实际测量获取的平面镜引入的系统波像差进行Zernike拟合，获取系统波像差的各项Zernike系数；(3)在光学设计软件中，将系统波像差的各项Zernike系数作为系统的优化目标，将待测平面镜面形的Zernike系数作为优化变量，利用光学设计软件的优化功能进行优化，直至虚拟干涉仪获取的系统波像差与实际测量获取的系统波像差一致；(4)提取待测镜面的各项Zernike系数，生成获取待测面形。2.根据权利要求1所述的瑞奇康芒检测方法，其特征在于：在步骤(1)之前还包括：搭建标准球面镜检测光路，检测球面镜面形，作为系统误差。3.根据权利要求2所述的瑞奇康芒检测方法，其特征在于：所述步骤(1)中的参数包括：干涉仪焦点与被测镜中心之间的距离,干涉仪焦点与反射球面镜中心之间的距离，待测镜的半径，反射球面镜的曲率半径与瑞奇角。4.根据权利要求3所述的瑞奇康芒检测方法，其特征在于：所述步骤(1)中，采用带有绝对距离测量功能的测距干涉仪测量干涉仪焦点与反射球面镜中心之间的距离。5.根...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝群，胡摇，刘一鸣，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：发明
国别省市：