应用于SEM的样品夹具制造技术

本实用新型专利技术提供了一种应用于SEM的样品夹具，包括基座、支撑件和固定件：所述基座可拆卸设于SEM样品台上；所述支撑件设置在所述基座上，且所述支撑件外套设有至少两个所述固定件，相邻两个所述固定件之间形成一用于夹持半导体样品的夹持区；所述固定件可在所述支撑件的轴向上运动，且在相邻两个所述固定件之间，其中一个所述固定件能够相对另一个所述固定件做远离或靠近运动，以调节所述夹持区的大小；本实用新型专利技术通过该样品夹具可以对半导体样品实现任意角度固定；其中一个所述固定件能够相对另一个所述固定件做远离或靠近运动，即可实现样品夹具对半导体样品的拆除和固定；也可避免半导体样品受到污染，又可对半导体样品起到保护作用。到保护作用。到保护作用。

【技术实现步骤摘要】
应用于SEM的样品夹具


[0001]本技术涉及材料表面形貌观察
，尤其涉及一种应用于SEM的样品夹具。

技术介绍

[0002]扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope，SEM)是一种主要应用于材料表面形貌观察成像的材料表征技术设备。SEM的工作原理是用一束极细的电子束扫描样品，在样品表面激发出次级电子，次级电子的多少与电子束入射角有关，也就是说与样品的表面结构有关，次级电子由探测器收集，并在探测器内被闪烁器转变为光信号，再经光电倍增管和放大器转变为电信号来控制荧光屏上电子束的强度，显示出与电子束同步的扫描图像。在观察时，样品放置在样品座上，以便于SEM观测。
[0003]现有的样品座由金属平台和底座两部分组jk成。底座用来与设备样品台连接固定，底座上面的金属平台用于放置样品，当用SEM观察样品表面时，常常需要使用碳胶来固定样品，通过碳胶固定会存在如下问题：
[0004](1)由于碳胶粘的紧，当样品未固定好或取下时，会导致样品损坏、污染，同时操作过程会造成时间的损耗；
[0005](2)样品台功能单一，只能对样品的截面或表面之一进行固定。
[0006]为了解决上述问题，本技术中提出了一种应用于SEM的样品夹具。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种应用于SEM的样品夹具，以实现对样品的任意角度固定，同时，对样品起到保护作用，防止在固定过程中样品受到污染。
[0008]为实现上述目的，本技术提供了一种应用于SEM的样品夹具，包括基座、支撑件和固定件：
[0009]所述基座可拆卸设于SEM样品台上；
[0010]所述支撑件设置在所述基座上，且所述支撑件外套设有至少两个所述固定件，相邻两个所述固定件之间形成一用于夹持半导体样品的夹持区；
[0011]其中，所述固定件可在所述支撑件的轴向上运动，且在相邻两个所述固定件之间，其中一个所述固定件能够相对另一个所述固定件做远离或靠近运动，以调节所述夹持区的大小。
[0012]可选的，所述支撑件包括支撑杆，所述支撑杆的外周沿着轴向开设有第一螺纹槽；
[0013]所述基座上开设有第一通孔，所述第一通孔的壁上开设有第二螺纹槽；
[0014]所述支撑杆活动插接在所述第一通孔内，所述第二螺纹槽与所述第一螺纹槽相啮合。
[0015]可选的，所述固定件包括固定盘；
[0016]所述固定盘的中部开设有第二通孔，所述第二通孔的壁上开设有第三螺纹槽；
[0017]所述支撑杆活动插接在所述第二通孔内，所述第三螺纹槽与所述第一螺纹槽相啮合。
[0018]可选的，相邻两个所述固定件相互靠近的一侧均设置有凹痕；
[0019]且相邻两个所述固定件上设置的凹痕相匹配设置。
[0020]可选的，所述凹痕呈长条形结构，且所述凹痕沿着所述固定件的径向设置。
[0021]可选的，同一所述固定件上设置的所述凹痕有若干个，若干个所述凹痕围绕所述固定件的轴向中心环形设置。
[0022]可选的，所述凹痕的槽腔呈梯形体结构，且所述凹痕的槽腔面积大小沿着远离所述夹持区的方向逐次递减。
[0023]可选的，所述夹持区内设置有用于承托所述半导体样品的承托件，所述承托件套设在所述支撑件外。
[0024]可选的，所述承托件包括固定垫块，所述固定垫块上开设有第三通孔，所述第三通孔的壁上开设有第四螺纹槽；
[0025]所述支撑杆活动插接在所述第三通孔内，所述第四螺纹槽与所述第一螺纹槽相啮合。
[0026]可选的，所述固定垫块呈正方体结构，且所述正方体结构的棱长为3
‑
5mm。
[0027]本技术的有益效果如下：
[0028]本技术中所述支撑件外至少套设有两个所述固定件，相邻两个所述固定件之间形成一用于夹持半导体样品的夹持区，由于半导体样品可以在夹持区内随意改变位置，因此通过该样品夹具可以对半导体样品实现任意角度固定；同时，在相邻两个所述固定件之间，其中一个所述固定件能够相对另一个所述固定件做远离或靠近运动，即可实现样品夹具对半导体样品的拆除和固定，从而确保半导体样品夹持过程更加的便捷，易操作；本申请中固定件对半导体样品的固定，较之碳胶的固定，既可以避免半导体样品受到污染，又可以对半导体样品起到保护的作用；并且所述夹持区大小可调节，使得该样品夹具适用于不同尺寸的半导体样品的固定，从而使得该样品夹具适用的范围更广。
附图说明
[0029]图1为本技术的实施例结构；
[0030]图2为本技术的图1中局部爆炸结构示意图；
[0031]图3为本技术涂2中固定件左视或右视结构示意图；
[0032]图4为本技术图3中A
‑
A截面结构示意图；
[0033]图5为本技术中承托件结构示意图。
[0034]附图标记如下：
[0035]基座1、第一通孔11、第二螺纹槽12、夹持区100、
[0036]支撑件2、支撑杆21、第一螺纹槽22、
[0037]固定件3、固定盘31、第二通孔32、第三螺纹槽33、凹痕34、
[0038]承托件4、固定垫块41、第三通孔42、第四螺纹槽43、
[0039]半导体样品5。
具体实施方式
[0040]为使本技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，此处使用的技术术语或科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本文中使用的“包括”等类似的词语意指出现该词前面的元件或物件涵盖出现在该词后面列举的元件或物件及其等同，而不排除其他元件或物件。
[0041]针对现有技术存在的问题，本技术的实施例提供了一种应用于SEM的样品夹具，包括基座1、支撑件2和固定件3，请参阅图1所示。
[0042]所述基座1可拆卸设于SEM样品台(未图示)上。具体地，所述基座1朝向所述SEM样品台的一侧开设有固定螺纹孔(未图示)，所述固定螺纹孔用于与所述SEM样品台上设置的螺丝(未图示)螺纹连接，从而将所述基座1可拆卸连接在所述SEM样品台上。进一步地，所述基座1呈棱长为1.0
‑
2.5cm的正方体，优选地，棱长为1.5cm，所述正方体的底面与所述SEM样品台对接。
[0043]所述支撑件2设置在所述基座1上，且所述支撑件2外套设有至少两个所述固定件3，相邻两个所述固定件3之间形成一用于夹持半导体样品5的夹持区100。其中，所述固定件3可在所述支撑件2的轴向上运动，且对于相邻的两个所述固定件3，其中本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种应用于SEM的样品夹具，其特征在于，包括基座、支撑件和固定件：所述基座可拆卸设于SEM样品台上；所述支撑件设置在所述基座上，且所述支撑件外套设有至少两个所述固定件，相邻两个所述固定件之间形成一用于夹持半导体样品的夹持区；其中，所述固定件可在所述支撑件的轴向上运动，且在相邻两个所述固定件之间，其中一个所述固定件能够相对另一个所述固定件做远离或靠近运动，以调节所述夹持区的大小。2.根据权利要求1所述的应用于SEM的样品夹具，其特征在于，所述支撑件包括支撑杆，所述支撑杆的外周沿着轴向开设有第一螺纹槽；所述基座上开设有第一通孔，所述第一通孔的壁上开设有第二螺纹槽；所述支撑杆活动插接在所述第一通孔内，所述第二螺纹槽与所述第一螺纹槽相啮合。3.根据权利要求2所述的应用于SEM的样品夹具，其特征在于，所述固定件包括固定盘；所述固定盘的中部开设有第二通孔，所述第二通孔的壁上开设有第三螺纹槽；所述支撑杆活动插接在所述第二通孔内，所述第三螺纹槽与所述第一螺纹槽相啮合。4.根据权利要求1所述的应用于SEM的样品夹具，其特征在于，相邻两个所述固定件相互靠近的一侧均设置有凹痕；且相邻...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐晓均，叶红波，
申请(专利权)人：上海集成电路装备材料产业创新中心有限公司，
类型：新型
国别省市：