一种晶圆加工用转运盒制造技术

本实用新型专利技术涉及晶圆加工技术领域，尤其涉及一种晶圆加工用转运盒，包括盒体、提手扣条和C型提手，所述提手扣条横向一体固定在盒体的前端顶部，所述提手扣条的前端左侧和前端右侧均固定连接有两个呈夹角分布的折角块，所述两个折角块之间固定连接有呈倾斜分布的扭簧转轴，所述C型提手安装在扭簧转轴的两端之间。本实用新型专利技术中，通过将原先的晶圆转运盒提手部分进行了科学合理化改良，将折角块、扭簧转轴和C型提手角度设置为45

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆加工用转运盒


[0001]本技术涉及晶圆加工
，尤其涉及一种晶圆加工用转运盒。

技术介绍

[0002]虽然晶圆加工设备可实现晶圆的自动化加工处理，但是晶圆前期的放料操作需要作业员人工参与，在此过程中就会使用到晶圆转运盒，晶圆转运盒(Frame CST)是将多个晶圆集中存储并依次分隔插放的载体，从而方便作业员搬运以及设备的自动化加工操作，目前所使用的晶圆转运盒如图3所示，其提手为简单铰链结构，无法自动收回，在设备内部被使用时可能会导致与设备零部件之间的干涉刮擦，有作业安全隐患，当前作业均依靠作业员经验和SOP规定执行目检，无机械性防呆，同时几何凸起的金属提手，且抓取提手的位置垂直与Frame方向，作业员在抓取CST时，舒适性欠佳。
[0003]有鉴于此，设计制造出一种能够降低转运盒与设备之间干涉、同时能够提升作业员抓取舒适性的晶圆转运盒在晶圆加工中显得尤为重要。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于：为了解决传统的晶圆转运盒，易存在把手与设备之前干涉，同时使用过程中抓取的舒适性较差的问题，而提出的一种晶圆加工用转运盒。
[0005]为了实现上述目的，本技术采用了如下技术方案：
[0006]一种晶圆加工用转运盒，包括盒体、提手扣条和C型提手，所述提手扣条横向一体固定在盒体的前端顶部，所述提手扣条的前端左侧和前端右侧均固定连接有两个呈夹角分布的折角块，所述两个折角块之间固定连接有呈倾斜分布的扭簧转轴，所述C型提手安装在扭簧转轴的两端之间。
[0007]作为上述技术方案的进一步描述：
[0008]两个所述折角块和扭簧转轴与水平面之间的夹角均为45
°
。
[0009]作为上述技术方案的进一步描述：
[0010]所述C型提手的竖直端外侧旋合套设有与提手扣条外壁相互贴合的塑胶护套，所述塑胶护套朝向扭簧转轴的一侧等距形成有多个凸起。
[0011]作为上述技术方案的进一步描述：
[0012]所述盒体的左端和右端内侧均等距固定连接有多个截面为C型结构的限位插条。
[0013]作为上述技术方案的进一步描述：
[0014]所述限位插条和塑胶护套均是由硫化橡胶制成。
[0015]作为上述技术方案的进一步描述：
[0016]所述盒体的左端和右端外侧均开设有向内凹陷的铭牌贴槽。
[0017]综上所述，由于采用了上述技术方案，本技术的有益效果是：
[0018]本技术中，通过将原先的晶圆转运盒提手部分进行了科学合理化改良，将折角块、扭簧转轴和C型提手角度设置为45
°
，同时在C型提手与手部接触的部分设置了塑胶护
套和凸起，这种结构可在作业员手部脱离提手后，在重力以及扭转力的共同作用下复位至初始状态，降低了提手部分与设备零部件之间的干涉刮擦等作业安全隐患的发生，同时C型提手的夹角以及塑胶护套的综合设置，更符合人体工学，提升了作业员抓取晶圆转运盒的舒适性。
附图说明
[0019]图1为本技术提出的一种晶圆加工用转运盒的结构示意简图；
[0020]图2为本技术中立体前视示意图；
[0021]图3为现有技术中晶圆转运盒的结构示意图。
[0022]图例说明：
[0023]1、盒体；101、提手扣条；102、限位插条；103、铭牌贴槽；2、折角块；3、扭簧转轴；4、C型提手；5、塑胶护套；501、凸起。
具体实施方式
[0024]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。
[0025]请参阅图1
‑
3，本技术提供一种技术方案：一种晶圆加工用转运盒，包括盒体1、提手扣条101和C型提手4，提手扣条101横向一体固定在盒体1的前端顶部，提手扣条101的前端左侧和前端右侧均固定连接有两个呈夹角分布的折角块2，两个折角块2之间固定连接有呈倾斜分布的扭簧转轴3，C型提手4安装在扭簧转轴3的两端之间。
[0026]具体的，如图1和图2所示，两个折角块2和扭簧转轴3与水平面之间的夹角均为45
°
，一方面可使得C型提手4更符合手部的握姿，提升作业员握持C型提手4的舒适性，另一方面可将C型提手4的重力部分转化为C型提手4向下的扣合力。
[0027]具体的，如图1和图2所示，C型提手4的竖直端外侧旋合套设有与提手扣条101外壁相互贴合的塑胶护套5，塑胶护套5朝向扭簧转轴3的一侧等距形成有多个凸起501，多个凸起501的设置，一方面提升了作业员手部与塑胶护套5之间的接触面积，另一方面提升了作业员握持塑胶护套5的舒适性。
[0028]具体的，如图1和图2所示，盒体1的左端和右端内侧均等距固定连接有多个截面为C型结构的限位插条102，这种结构的设置，可将晶圆沿X轴和Y轴方向综合限位在盒体1内，限位插条102和塑胶护套5均是由硫化橡胶制成，提升了晶圆插放在限位插条102之间的稳定性，同时可降低限位插条102与晶圆片之间的接触划伤问题的发生，硫化橡胶材料制成的塑胶护套5，可防止使用者手部直接接触到C型提手4，提升了操作人员握持C型提手4的舒适性。
[0029]具体的，如图1
‑
3所示，盒体1的左端和右端外侧均开设有向内凹陷的铭牌贴槽103，便于识别标签以及产品铭牌的隐藏固定操作，从而便于作业者以及晶圆加工设备识别。
[0030]工作原理：使用时，晶圆可向下通过限位插条102分隔插入到盒体1的内侧，作业员
的手部可将C型提手4向外旋出提手扣条101，此时固定在两个折角块2之间1扭簧转轴3便会积蓄扭转力，作业员的手部便可充分握持到塑胶护套5和凸起501之间，此时作业员便可将盒体1整体抓取并抱行，当盒体放入到加工设备的工位上后，作业员便可松开C型提手4，C型提手4在自身重力以及扭簧转轴3扭转力的共同作用下，便可向内复位至与提手扣条101相互贴合状态，实现了C型提手4使用后的自复位操作。
[0031]以上所述，仅为本技术较佳的具体实施方式，但本技术的保护范围并不局限于此，任何熟悉本
的技术人员在本技术揭露的技术范围内，根据本技术的技术方案及其技术构思加以等同替换或改变，都应涵盖在本技术的保护范围之内。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆加工用转运盒，包括盒体(1)、提手扣条(101)和C型提手(4)，其特征在于，所述提手扣条(101)横向一体固定在盒体(1)的前端顶部，所述提手扣条(101)的前端左侧和前端右侧均固定连接有两个呈夹角分布的折角块(2)，所述两个折角块(2)之间固定连接有呈倾斜分布的扭簧转轴(3)，所述C型提手(4)安装在扭簧转轴(3)的两端之间。2.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用转运盒，其特征在于，所述两个折角块(2)和扭簧转轴(3)与水平面之间的夹角均为45
°
。3.根据权利要求1所述的一种晶圆加工用转运盒，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱国旗，孙辉，黄执露，周雷，何洪文，
申请(专利权)人：合肥沛顿存储科技有限公司，
类型：新型
国别省市：