本实用新型专利技术提供了一种固定装置和加工装置，包括第一基板、第二基板、浮动基板、支撑导向轴、驱动组件和吸气组件，第一基板和第二基板通过支撑导向轴连接，浮动基板位于第一基板和第二基板之间，驱动组件固定在第一基板上，吸气组件位于第二基板上，在键合时，通过驱动装置带动浮动基板移动，浮动基板上的键合部与第二基板实现对待键合产品的夹持，以进行键合，在键合完毕后，通过吸气装置对键合完毕的产品进行吸附，从而将其吸附在第二基板上，浮动基板移动时，产品不会被浮动基板的压力而发生被吸附和被抬起的现象，以及落下造成的损伤，有助于保持产品的稳定性，提高产品良率。提高产品良率。提高产品良率。
【技术实现步骤摘要】
一种用于键合加工的固定装置和加工装置
[0001]本公开涉及机械加工
，具体而言，涉及一种用于键合加工的固定装置和加工装置。
技术介绍
[0002]在加工制造行业中，通常会出现需要将待加工或者待制造的产品固定以进行加工或者生产的工序。以制备基因测序芯片为例，基因测序芯片的作用是给基因测序仪提供一种流动池，其基本组成是由两块高透光的玻璃外加中间一层高分子材料组成。
[0003]在制备基因测序芯片时，大多先对夹设有高分子材料的玻璃进行定位，然后固定，再进行激光照射以进行键合，固定效果不理想，在制备完后，基因测序芯片易被其他组件干扰和被移动。
技术实现思路
[0004]有鉴于此，本公开实施例提供了一种用于键合加工的固定装置和加工装置，以至少解决上述技术问题中的部分技术问题。
[0005]本技术提供一种用于键合加工的固定装置，所述固定装置包括第一基板、第二基板、浮动基板、支撑导向轴、驱动组件和吸气组件；
[0006]所述第一基板和所述第二基板相对设置，所述第一基板和所述第二基板分别固定于所述支撑导向轴的两端；
[0007]所述浮动基板位于所述第一基板和所述第二基板之间，所述浮动基板上设置有导向部和键合部，所述导向部与所述支撑导向轴适配，所述键合部位于所述浮动基板靠近所述第二基板的一侧，用于与所述第二基板搭配，夹持固定待键合产品；
[0008]所述驱动组件的固定端固定于所述第一基板上，所述驱动组件的驱动端与所述浮动基板连接，用于驱动所述浮动基板沿所述支撑导向轴的轴向在所述第一基板和所述第二基板之间运动；
[0009]所述吸气组件设置于所述第二基板上，用于吸附所述待键合产品。
[0010]一种可选的实施方式中，所述导向部包括直线轴承，所述浮动基板包括贯穿所述浮动基板的贯穿孔，所述直线轴承穿过所述贯穿孔并且抵持固定于所述贯穿孔的内壁上，所述直线轴承套设于所述支撑导向轴上，能够使得所述浮动基板沿着所述支撑导向轴的轴向移动。
[0011]一种可选的实施方式中，所述第二基板朝向所述浮动基板一测凸起有放置待键合产品的加工台，所述键合部与所述加工台相对设置，所述键合部与所述加工台适配，以夹持固定所述待键合产品。
[0012]一种可选的实施方式中，所述加工台上设置有用于放置所述产品的放置区；
[0013]所述放置区中设置有贯穿所述加工台的通气孔，所述吸气组件的吸气端连接于所述通气孔远离所述浮动基板的一端。
[0014]一种可选的实施方式中，所述放置区中设置有至少一条凹槽，所述通气孔靠近所述浮动基板的一端位于所述凹槽的底部。
[0015]一种可选的实施方式中，所述浮动基板与上设置有镂空部，所述镂空部的侧壁上设置于阶梯状的承载台，所述承载台的台面朝向所述第二基板，所述键合部固定于所述承载台上。
[0016]一种可选的实施方式中，所述键合部为透光部件。
[0017]一种可选的实施方式中，所述第一基板上与所述键合部对应的位置处设置有透光部。
[0018]一种可选的实施方式中，所述驱动组件包括本体、连接杆和浮动接头，所述本体固定于所述第一基板上；
[0019]所述连接杆的一端与所述本体连接，并在所述本体的带动下运动；
[0020]所述连接杆的另一端通过所述浮动接头固定于所述浮动基板上。
[0021]本技术提供还一种加工装置，所述加工装置包括上述的固定装置。
[0022]本技术提供的固定装置和加工装置，包括第一基板、第二基板、浮动基板、支撑导向轴、驱动组件和吸气组件，第一基板和第二基板通过支撑导向轴连接，浮动基板位于第一基板和第二基板之间，驱动组件固定在第一基板上，吸气组件位于第二基板上，在键合时，通过驱动装置带动浮动基板移动，浮动基板上的键合部与第二基板实现对待键合产品的夹持，以进行键合，在键合完毕后，通过吸气装置对键合完毕的产品进行吸附，从而将其吸附在第二基板上，浮动基板移动时，产品不会被浮动基板的压力而发生被吸附和被抬起的现象，以及落下造成的损伤，有助于保持产品的稳定性，提高产品良率。
[0023]为使本公开的上述目的、特征和优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合所附附图，作详细说明如下。
附图说明
[0024]为了更清楚地说明本公开实施例的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，此处的附图被并入说明书中并构成本说明书中的一部分，这些附图示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于说明本公开的技术方案。应当理解，以下附图仅示出了本公开的某些实施例，因此不应被看作是对范围的限定，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他相关的附图。
[0025]图1为本技术提供的一种用于键合加工的固定装置的俯视图；
[0026]图2为图1所示固定装置的仰视图；
[0027]图3为图1中第二基板的俯视图；
[0028]图4为图3中所示第二基板的部分放大平面图；
[0029]图5为图1中所示浮动基板的部分剖视图。
具体实施方式
[0030]为使本公开实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本公开实施例中附图，对本公开实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本公开一部分实施例，而不是全部的实施例。通常在此处附图中描述和示出的本公开实
施例的组件可以以各种不同的配置来布置和设计。因此，以下对在附图中提供的本公开的实施例的详细描述并非旨在限制要求保护的本公开的范围，而是仅仅表示本公开的选定实施例。基于本公开的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本公开保护的范围。
[0031]应注意到：相似的标号和字母在下面的附图中表示类似项，因此，一旦某一项在一个附图中被定义，则在随后的附图中不需要对其进行进一步定义和解释。
[0032]本文中术语“和/或”，仅仅是描述一种关联关系，表示可以存在三种关系，例如，A和/或B，可以表示：单独存在A，同时存在A和B，单独存在B这三种情况。另外，本文中术语“至少一种”表示多种中的任意一种或多种中的至少两种的任意组合，例如，包括A、B、C中的至少一种，可以表示包括从A、B和C构成的集合中选择的任意一个或多个元素。
[0033]请参阅图1、图2、图3和图4，图1为本技术提供的一种用于键合加工的固定装置的俯视图，图2为图1所示固定装置的仰视图，图3为图1中第二基板的俯视图，图4为图3中所示第二基板的部分放大平面图，图5为图1中所示浮动基板的部分剖视图。本技术实施例提供一种固定装置100，所述固定装置100包括第一基板110、第二基板120、浮动基板130、支撑导向轴140、驱动组件150和吸气组件160。
[0034]所述第一基板110和所述第二基板120相对设置，所述浮动基板130位于所述第一基板110和所述第二基板120之间，所述本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于键合加工的固定装置，其特征在于，所述固定装置包括第一基板、第二基板、浮动基板、支撑导向轴、驱动组件和吸气组件；所述第一基板和所述第二基板相对设置，所述第一基板和所述第二基板分别固定于所述支撑导向轴的两端；所述浮动基板位于所述第一基板和所述第二基板之间，所述浮动基板上设置有导向部和键合部，所述导向部与所述支撑导向轴适配，所述键合部位于所述浮动基板靠近所述第二基板的一侧，用于与所述第二基板搭配，夹持固定待键合产品；所述驱动组件的固定端固定于所述第一基板上，所述驱动组件的驱动端与所述浮动基板连接，用于驱动所述浮动基板沿所述支撑导向轴的轴向在所述第一基板和所述第二基板之间运动；所述吸气组件设置于所述第二基板上，用于吸附所述待键合产品。2.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述导向部包括直线轴承，所述浮动基板包括贯穿所述浮动基板的贯穿孔，所述直线轴承穿过所述贯穿孔并且抵持固定于所述贯穿孔的内壁上，所述直线轴承套设于所述支撑导向轴上，能够使得所述浮动基板沿着所述支撑导向轴的轴向移动。3.根据权利要求1所述的固定装置，其特征在于，所述第二基板朝向所述浮动基板侧面凸起有放置待键合产品的加工台，所述键合部与所述加工台相对设置，所述键合部与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：王远，张家恺，李世超，张琳彬，
申请(专利权)人：郑州思昆生物工程有限公司，
类型：新型
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。