运动平台及加工设备制造技术

本实用新型专利技术提供的一种运动平台及加工设备，在第一直线驱动组件与基座之间设置有两个浮动件，两个浮动件交错设置，通过一个浮动件提供浮力使本体漂浮于安装面上，通过另一个浮动件防止本体倾覆，由于第一运动部与本体连接，从而使第一运动部与第一固定部无直接接触，第一运动部在运动时不会受到摩擦力的影响，从而提高定位精度。从而提高定位精度。从而提高定位精度。

【技术实现步骤摘要】
运动平台及加工设备


[0001]本技术实施例涉及
，特别是涉及一种运动平台及加工设备。

技术介绍

[0002]精密定位是精密机械加工中的重要技术之一，它广泛应用于微光刻技术、数控加工、生物技术、集成电路封装设备、纳米表面形貌测量等领域。
[0003]在上述领域的产品制造过程中，产品的尺寸小、精度要求高，所以对加工设备内的运动平台的定位精度要求很高。
[0004]在现有技术中，运动平台通常是将例如喷头等加工元件放置于滑块上，再将滑轨固定于基座上，驱动滑块在滑轨上运动，即可实现加工元件在基座上的移动。
[0005]上述滑轨与滑块接触导致两部件均会被磨损，并且上述两部件之间产生的非线性摩擦力，会降低滑块的定位精度。

技术实现思路

[0006]本技术实施例提供一种运动平台及加工设备，能够增加运动平台的定位精度。
[0007]为解决上述技术问题，本技术采用的一个技术方案是：
[0008]第一方面，本技术提供一种运动平台，其特征在于，包括：
[0009]基座，包括安装面；
[0010]直线驱动模组，设置于所述基座，所述直线驱动模组包括第一直线驱动组件，所述第一直线驱动组件包括第一固定部和第一运动部，所述第一固定部连接所述安装面，所述第一固定部用于驱动所述第一运动部沿直线运动；以及
[0011]多个浮动件，至少两个所述浮动件交错设置于所述第一运动部，一个所述浮动件朝向所述安装面，另一个所述浮动件朝向所述第一固定部；
[0012]所述浮动件包括本体，所述本体上设有相互连通的进气孔和排气孔，所述进气孔用于连接压力源，所述排气孔用于排出所述进气孔内的气体，以产生用于托举所述本体的浮力。
[0013]在一实施例中，所述运动平台还包括预压组件，所述预压组件包括第一磁性件以及第一金属件，所述第一金属件固定于所述安装面，所述第一磁性件设置于所述第一运动部，所述第一磁性件用于产生吸引力，所述吸引力与所述浮力方向相反。
[0014]在一实施例中，所述第一金属件包括金属条，所述金属条沿所述第一运动部的运动方向设置，所述第一磁性件设置有多个，多个第一磁性件间隔设置于所述第一运动部上。
[0015]在一实施例中，所述直线驱动模组包括：
[0016]两个第一直线驱动组件，相对设置于所述基座；
[0017]第二直线驱动组件，设置于两个所述第一直线驱动组件之间，所述第二直线驱动组件包括第二固定部和第二运动部，所述第二固定部的两端分别连接两个所述第一运动
部，所述第二固定部用于驱动所述第二运动部沿直线运动。
[0018]在一实施例中，所述第二运动部套设于所述第二固定部，所述第二运动部朝向所述安装面的一侧设置有所述浮动件。
[0019]在一实施例中，所述预压组件包括第二磁性件以及第二金属件，所述第二磁性件设置于所述第二运动部的内侧壁，所述第二金属件固定于所述第二运动部，所述浮动件、所述第二磁性件以及上述第二金属件均沿高度方向设置。
[0020]在一实施例中，所述直线驱动模组还包括两个传感器，一个所述传感器设置于所述第一固定部上并用于获取所述第一运动部的位移，另一个所述传感器设置于所述第二固定部上并用于获取所述第二运动部的位移。
[0021]在一实施例中，两个所述第一直线驱动组件对称地设置于所述第二直线驱动组件的两侧。
[0022]在一实施例中，所述基座为大理石基座。
[0023]第二方面，本技术提供一种加工设备，采用如第一方面中所述的运动平台。
[0024]本技术实施例的有益效果是：区别于现有技术的情况，本技术提供的一种运动平台，在第一直线驱动组件与基座之间设置有两个浮动件，两个浮动件交错设置，通过一个浮动件提供浮力使本体漂浮于安装面上，通过另一个浮动件防止本体倾覆，由于第一运动部与本体连接，从而使第一运动部与第一固定部无直接接触，第一运动部在运动时不会受到摩擦力的影响，从而提高定位精度。
附图说明
[0025]为了更清楚地说明本申请实施例的技术方案，下面将对本申请实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面所描述的附图仅仅是本申请的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据附图获得其他的附图。
[0026]图1为本技术的实施例的一种运动平台的立体图；
[0027]图2为本技术的实施例的浮动件与安装面之间的气体流动示意图；
[0028]图3为本技术的实施例的另一种运动平台的立体图。
[0029]附图标记说明：
[0030]10、运动平台；
[0031]100、基座；110、安装面；
[0032]200、直线驱动模组；210、第一直线驱动组件；211、第一固定部；212、第一运动部；220、第二直线驱动组件；221、第二固定部；222、第二运动部；
[0033]300、浮动件；310、本体；311、进气孔；312、排气孔；
[0034]400、预压组件；410、第一磁性件；420、第一金属件；430、第二磁性件；440、第二金属件；
[0035]500、传感器。
具体实施方式
[0036]为了便于理解本技术，下面结合附图和具体实施例，对本技术进行更详
细的说明。需要说明的是，当元件被表述“固定于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上、或者其间可以存在一个或多个居中的元件。当一个元件被表述“连接”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件、或者其间可以存在一个或多个居中的元件。本说明书所使用的术语“垂直的”、“水平的”、“左”、“右”以及类似的表述只是为了说明的目的。
[0037]除非另有定义，本说明书所使用的所有的技术和科学术语与属于本技术的
的技术人员通常理解的含义相同。本说明书中在本技术的说明书中所使用的术语只是为了描述具体的实施例的目的，不是用于限制本技术。本说明书所使用的术语“和/或”包括一个或多个相关的所列项目的任意的和所有的组合。
[0038]请参阅图1，第一方面，本技术的实施例提供一种运动平台，包括：基座、直线驱动模组以及浮动件。
[0039]对于上述基座，基座可以为柱体，优选为规则柱体，例如正方体、长方体或者圆柱。在本技术的一种使用场景中，基座可以放置于支撑框架内，基座与支撑框架之间设置减震弹簧，靠基座本身的重力来防止设备移动，用于减少外部的振动对设备的影响。
[0040]基座包括安装面，示例性地，当基座为正方体时，安装面为正方体的一个侧面。安装面为其他部件的安装载体，安装面应具备一定的平面度，可以根据实际情况进行加工，本申请不做任何限制。
[0041]对于上述直线驱动模组，直线驱动模组设置于基座。示例性地，直线驱动模组通过铆接、卡接、焊接、螺接、粘接而固定连接。
[0042]直线驱动模组包括第一直线驱本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种运动平台，其特征在于，包括：基座，包括安装面；直线驱动模组，设置于所述基座，所述直线驱动模组包括第一直线驱动组件，所述第一直线驱动组件包括第一固定部和第一运动部，所述第一固定部连接所述安装面，所述第一固定部用于驱动所述第一运动部沿直线运动；以及多个浮动件，至少两个所述浮动件交错设置于所述第一运动部，一个所述浮动件朝向所述安装面，另一个所述浮动件朝向所述第一固定部；所述浮动件包括本体，所述本体上设有相互连通的进气孔和排气孔，所述进气孔用于连接压力源，所述排气孔用于排出所述进气孔内的气体，以产生用于托举所述本体的浮力。2.根据权利要求1所述的运动平台，其特征在于，所述运动平台还包括预压组件，所述预压组件包括第一磁性件以及第一金属件，所述第一金属件固定于所述安装面，所述第一磁性件设置于所述第一运动部，所述第一磁性件用于产生吸引力，所述吸引力与所述浮力方向相反。3.根据权利要求2所述的运动平台，其特征在于，所述第一金属件包括金属条，所述金属条沿所述第一运动部的运动方向设置，所述第一磁性件设置有多个，多个第一磁性件间隔设置于所述第一运动部上。4.根据权利要求2所述的运动平台，其特征在于，所述直线驱动模组包括：两个第一直线驱动组件，相对设置于所述基座；第二直...

【专利技术属性】
技术研发人员：韩旭，
申请(专利权)人：深圳市汉诺精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：