【技术实现步骤摘要】
本技术涉及定位平台，特别涉及一种精密定位平台。
技术介绍
1、在大规模集成电路制造和光学检测等领域都需要应用精密定位平台。随着技术的进步，对于定位平台在特殊环境中要求的精度、速度和加速度的要求也越来越高。传统的旋转电机加滚珠丝杠结构已经难以满足需求。
2、而传统的直线电机繁杂，使得传统的定位平台需要繁琐的多部件结构组成；传统的定位平台在加工底座、导轨、滑块、滑台、读头支架等多个工件的过程中会产生制造误差，当将上述多个部件组装叠加后会产生更大的精度误差，使得传统的直线电机的精度较低。
3、传统的定位平台在加工调装过程中对直线度的调装、电机动定子间隙的调装、读头支架的调装以及滑块油路部件的组装过程较为繁杂，对安装人员的技能要求更高、组装速度更慢，使得批量生产的一致性较差。
4、传统的定位平台的滑块导轨的储油管路较短，注油一次的运行长度较短；而且传统的定位平台的承载力较小，难以满足更多的高要求设备。
5、而且传统的定位平台质量较重，难以承受较重的负载。
技术实现思路
1、本申请提供的精密定位平台，能够克服传统定位平台的至少一部分缺陷。
2、本技术实施提供了一种精密定位平台。该精密定位平台包括：
3、底座；所述底座设置有直线导轨；所述直线导轨沿所述底座的长度方向延伸；
4、滑台；所述滑台的底部设置有若干个滑块；所述滑块与所述直线导轨配合，形成直线导向机构，以使所述滑台沿所述长度方向往复移动；
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6、测量装置；所述测量装置与所述底座和/或所述滑台连接，用于获取所述滑台的移动信息；
7、其中，所述直线导轨为嵌入式导轨，通过直接嵌入所述底座和所述滑台的方式一次加工成型。
8、在一些实施例中，所述直线导轨成对设置，自所述底座的其中一个末端延伸至另一个末端；
9、所述滑块与所述直线导轨配对设置，套设在所述直线导轨上。
10、在一些实施例中，所述滑台和所述滑块为一体化部件；
11、所述滑块自所述滑台的底部边缘，沿所述滑台的厚度方向延伸预设的高度形成，与所述滑台在长度方向上齐平；
12、其中，在所述成对的滑块之间还设置有连接固定板；所述滑台通过所述连接固定板刚性连接至所述直线电机的次级部分。
13、在一些实施例中，所述底座由铝型材制作形成，所述直线导轨由不锈钢材质制成；
14、其中，所述直线导轨嵌入所述底座内，与所述底座为一体化部件。
15、在一些实施例中，所述精密定位平台还包括：
16、第一光电开关；所述第一光电开关被固定在所述底座上，与所述底座的末端间隔有预设的距离；
17、第二光电开关；所述第二光电开关被固定在所述底座上，与所述底座的另一个末端间隔预设的距离；
18、光电开关遮挡板；所述光电开关遮挡板固定在所述滑台上，随所述滑台而移动；
19、其中，所述第一光电开关和所述第二光电开关之间沿所述底座的长度方向相互远离。
20、在一些实施例中，所述直线电机还设置有旋转编码器；所述旋转编码器中设置有原点标记；
21、其中，在所述滑台移动至所述第二光电开关所处位置时，所述直线电机驱动所述滑台逆向运动，直至到达所述旋转编码器的原点标记。
22、在一些实施例中，所述测量装置为反射式光栅测量系统，包括标尺光栅和光栅读数头；
23、其中，所述标尺光栅固定安装在所述底座上，所述光栅读数头通过安装支架固定安装在所述滑台上；
24、其中，所述安装支架具有多个可调节的自由度。
25、在一些实施例中，所述第二安装支架包括：
26、支架连接板，所述支架连接板开设有一对长圆孔；
27、读数头安装板；所述读数头安装板的第一表面刚性连接至所述支架连接板与所述长圆孔相远离的一端；
28、其中，所述光栅读数头被固定在所述读数头安装板与所述第一表面相背离的第二表面。
29、在一些实施例中，所述精密定位平台还包括：
30、一对端板；一对所述端板分别固定在所述底座相互远离的两个末端；
31、其中，所述端板的表面设置有缓冲件。
32、在一些实施例中，所述精密定位平台还包括：
33、盖板；所述盖板具有与所述底座相对应的尺寸；所述盖板的两端分别固定在所述端板上，以遮盖所述直线滑轨和滑台；
34、其中，所述滑台还包括连接部；所述连接部自所述滑台的顶部沿所述滑台的厚度方向延伸预设的高度形成，朝靠近所述盖板的方向突出。
35、本技术实施例提供的精密定位平台的至少一个有利方面是：通过特定的结构设计，可以有效的形成简约且坚固的一体化嵌入式底座导轨，从而消除由于多个工件组装叠加而造成的精度误差；通过加入伺服直线电机和旋转编码器光电开关以及测量装置，可以有效的满足该精密定位平台的稳定性要求和精度要求。
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1.一种精密定位平台，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的精密定位平台，其特征在于，所述直线导轨成对设置，自所述底座的其中一个末端延伸至另一个末端；
3.如权利要求2所述的精密定位平台，其特征在于，所述滑台和所述滑块为一体化部件；
4.如权利要求1所述的精密定位平台，其特征在于，所述底座由铝型材制作形成，所述直线导轨由不锈钢材质制成；
5.如权利要求1所述的精密定位平台，其特征在于，所述直线电机还设置有旋转编码器；所述旋转编码器中设置有原点标记；
6.如权利要求1所述的精密定位平台，其特征在于，所述测量装置为反射式光栅测量系统，包括标尺光栅和光栅读数头；
7.如权利要求6所述的精密定位平台，其特征在于，所述安装支架包括：
8.如权利要求1所述的精密定位平台，其特征在于，还包括：
9.如权利要求8所述的精密定位平台，其特征在于，还包括：盖板；所述盖板具有与所述底座相对应的尺寸；所述盖板的两端分别固定在所述端板上，以遮盖所述直线导轨和滑台；
【技术特征摘要】
1.一种精密定位平台，其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的精密定位平台，其特征在于，所述直线导轨成对设置，自所述底座的其中一个末端延伸至另一个末端；
3.如权利要求2所述的精密定位平台，其特征在于，所述滑台和所述滑块为一体化部件；
4.如权利要求1所述的精密定位平台，其特征在于，所述底座由铝型材制作形成，所述直线导轨由不锈钢材质制成；
5.如权利要求1所述的精密定位平台，其特征在于，所述直线电机还设置有旋转编码器；所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：韩旭，
申请(专利权)人：深圳市汉诺精密科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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