一种PERC双面电池的刻蚀设备制造技术

本实用新型专利技术涉及刻蚀技术领域，具体地说，涉及一种PERC双面电池的刻蚀设备。其包括工作台，所述工作台顶部设有刻蚀机，所述工作台顶部设有移动翻面机构，所述移动翻面机构用于固定PERC双面电池进行刻蚀，同时在一面刻蚀结束后进行翻面。本实用新型专利技术通过将PERC双面电池固定在两个固定夹头之间，先使一面朝上移动至刻蚀机下方进行刻蚀，在一面刻蚀结束后，使滑块架在滑轨内滑动至端部处，在带动联动盘从齿条上方离开时，凸轮与齿条啮合转动，带动电动伸缩杆转动180

【技术实现步骤摘要】
一种PERC双面电池的刻蚀设备


[0001]本技术涉及刻蚀
，具体地说，涉及一种PERC双面电池的刻蚀设备。

技术介绍

[0002]晶硅太阳能电池一直占据着光伏发电市场的主导位置，提高电池的转换效率和降低成本是整个行业的发展目标，钝化发射极及背表面电池(PERC)技术只需要在常规铝背场(A1
‑
BSF)太阳能电池的工艺基础上增加背面钝化和激光开槽的步骤，就可以较大幅度提升电池效率，是目前市场上最主流的高效太阳能电池技术，相较于传统的单面受光太阳能电池，双面太阳能电池利用正反两个受光面，能大幅度地提高短路电流，进而提升太阳能电池的转换效率，降低了成本；
[0003]然而PERC双面电池在整个生产工艺过程中包括刻蚀，目前,行业内通用的刻蚀抛光方式有两种,酸抛和碱抛。酸拋采用的是氢氟酸和硝酸的混合酸液对扩散后的硅片背面进行抛光刻蚀。酸抛后背表面的反射率在25
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30％,抛光效果一般,为了提高背面反射率,通常需要很高的硝酸浓度(60％以上),化学液耗量成本较高；
[0004]针对PERC双面电池的刻蚀设备来说，现有技术就有很多，例如：
[0005]根据中国专利申请号为：CN202210024853.3涉及一种具有固定结构的PERC双面电池用蚀刻设备。其包括刻蚀壳，刻蚀壳内壁设有滑轨，刻蚀壳内部滑动设有底板，底板端部设有滑块，滑块滑动在滑轨内部，底板顶部开设有两个夹槽，夹槽内部转动有丝杆，丝杆外壁螺纹连接有夹板端部，底板内层转动设有第一齿轮，第一齿轮与丝杆端部之间设有两个垂直啮合的锥形齿轮，底板顶部中心处滑动设有支撑板，支撑板底部设有第一齿条，第一齿条插入底板内层，且第一齿轮外壁与第一齿轮外壁啮合连接。本专利技术不仅可以确保夹板更好的夹持限位刻蚀板边缘，且使厚度较大的刻蚀板也可以插入刻蚀壳内部，刻蚀后，方便将手位于刻蚀板底部抬起，操作方便；
[0006]但是上述PERC双面电池在进行刻蚀时可以进行有效的固定，但是在对PERC电池的一面进行刻蚀后，需要手动翻面来刻蚀另一面，导致需要来回拆卸安装PERC电池，费时费力，影响生产效率，同时在来回拆卸组装的过程中老是切换固定的位置，导致对PERC电池表面磨损严重，影响刻蚀质量，鉴于此，我们提出一种PERC双面电池的刻蚀设备。

技术实现思路

[0007]本技术的目的在于提供一种PERC双面电池的刻蚀设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0008]为实现上述目的，本技术提供一种PERC双面电池的刻蚀设备，包括工作台，所述工作台顶部设有刻蚀机，所述工作台顶部设有移动翻面机构，所述移动翻面机构用于固定PERC双面电池进行刻蚀，同时在一面刻蚀结束后进行翻面，其中：
[0009]所述移动翻面机构至少包括两个固定在工作台边缘处的滑轨，两个所述滑轨内部均滑动设有滑块架，所述滑块架相对的表面设有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆的活塞杆端
部连接有固定夹头，所述电动伸缩杆端部转动贯穿所述滑块架表面，且端部连接联动盘，所述联动盘外壁设有二分之一凸轮，所述滑轨靠近端部的顶部均设有齿条，且联动盘从齿条上方离开的过程中，凸轮与齿条啮合连接，带动电动伸缩杆转动180
°
进行翻面。
[0010]通过将PERC双面电池放入两个固定夹头之间，使电动伸缩杆的活塞杆作直线运动，带动固定夹头对PERC双面电池进行固定，然后滑块架在滑轨内滑动，先使一面朝上移动至刻蚀机下方进行刻蚀，然后在一面刻蚀结束后，此时带动联动盘从齿条上方经过到达滑轨端部处，然后移动滑块架，使联动盘从齿条上方离开，凸轮与齿条啮合转动，带动电动伸缩杆转动180
°
使PREC双面电池翻转至另一面朝上，在使另一面的PERC双面电池位于刻蚀机下方进行刻蚀操作。
[0011]作为本技术方案的进一步改进，所述固定夹头相对的表面开设有开槽，所述开槽用于支撑PERC双面电池的边缘处。
[0012]作为本技术方案的进一步改进，所述滑块架相对的表面开设有转槽，所述电动伸缩杆外壳位于所述转槽内部，其中：
[0013]所述电动伸缩杆外壁设有转盘，所述转盘与所述转槽相适配的转动设置。
[0014]作为本技术方案的进一步改进，所述转盘外壁等间距开设有多个凹槽，所述凹槽内部转动设有滚筒，所述滚筒外壁贴合所述转槽内壁进行滚动。
[0015]作为本技术方案的进一步改进，所述刻蚀机包括固定在工作台外壁的支架，所述支架顶部滑动设有气缸，所述气缸的活塞杆端部连接有刻蚀头。
[0016]与现有技术相比，本技术的有益效果：
[0017]该PERC双面电池的刻蚀设备中，通过将PERC双面电池固定在两个固定夹头之间，先使一面朝上移动至刻蚀机下方进行刻蚀，在一面刻蚀结束后，使滑块架在滑轨内滑动至端部处，在带动联动盘从齿条上方离开时，凸轮与齿条啮合转动，带动电动伸缩杆转动180
°
使PREC双面电池翻转至另一面朝上，实现自动翻面效果，不需要安装拆卸费时费力，提高刻蚀的效率。
附图说明
[0018]图1为本技术实施例1的整体结构示意图；
[0019]图2为本技术实施例1的移动翻面机构结构示意图；
[0020]图3为本技术实施例1的滑块架和固定夹头结构拆分图；
[0021]图4为本技术实施例1的转盘和转槽结构分解示意图。
[0022]图中各个标号意义为：
[0023]1、工作台；11、刻蚀机；111、支架；112、气缸；113、刻蚀头；
[0024]2、移动翻面机构；21、滑轨；22、滑块架；221、转槽；23、电动伸缩杆；231、转盘；232、凹槽；233、滚筒；24、固定夹头；240、开槽；25、联动盘；26、齿条。
具体实施方式
[0025]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下
所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0026]晶硅太阳能电池一直占据着光伏发电市场的主导位置，提高电池的转换效率和降低成本是整个行业的发展目标，钝化发射极及背表面电池(PERC)技术只需要在常规铝背场(A1
‑
BSF)太阳能电池的工艺基础上增加背面钝化和激光开槽的步骤，就可以较大幅度提升电池效率，是目前市场上最主流的高效太阳能电池技术，相较于传统的单面受光太阳能电池，双面太阳能电池利用正反两个受光面，能大幅度地提高短路电流，进而提升太阳能电池的转换效率，降低了成本；
[0027]然而PERC双面电池在整个生产工艺过程中包括刻蚀，目前,行业内通用的刻蚀抛光方式有两种,酸抛和碱抛。酸拋采用的是氢氟酸和硝酸的混合酸液对扩散后的硅片背面进行抛光刻蚀。酸抛后背表面的反射率在25
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PERC双面电池的刻蚀设备，包括工作台(1)，所述工作台(1)顶部设有刻蚀机(11)，其特征在于：所述工作台(1)顶部设有移动翻面机构(2)，所述移动翻面机构(2)用于固定PERC双面电池进行刻蚀，同时在一面刻蚀结束后进行翻面，其中：所述移动翻面机构(2)至少包括两个固定在工作台(1)边缘处的滑轨(21)，两个所述滑轨(21)内部均滑动设有滑块架(22)，所述滑块架(22)相对的表面设有电动伸缩杆(23)，所述电动伸缩杆(23)的活塞杆端部连接有固定夹头(24)，所述电动伸缩杆(23)端部转动贯穿所述滑块架(22)表面，且端部连接联动盘(25)，所述联动盘(25)外壁设有二分之一凸轮，所述滑轨(21)靠近端部的顶部均设有齿条(26)，且联动盘(25)从齿条(26)上方离开的过程中，凸轮与齿条(26)啮合连接，带动电动伸缩杆(23)转动180
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进行翻面。2.根据权利要求1所述的PERC双面电池的刻蚀设备，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：张杰，孙柏林，陈龙，
申请(专利权)人：安徽英发德盛科技有限公司，
类型：新型
国别省市：