一种等离子体材料处理设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种等离子体材料处理设备，包括：用绝缘材料制作的床体，其床体下端口设置一气体分配器，和在气体分配器下面安装一漏斗形进气口，进气口通过带气体流量计的管道与气源相连；床体上部的侧壁上开有气体出口，在床体的气体出口的位置之上开孔，该孔安装一根带阀的进料管，其进料管连通一进料斗；在床体的气体出口以下至气体分配器一段外壁上设置一外电极，外电极与高压交流电源的一极电连接；内电极插入床体内，并通过一绝缘板密封固定在床体上端口，露出床体上端口的内电极与高压交流电源的另一极电连接。本实用新型专利技术可在常温大气压下运行不需要真空设备，运行成本低。不会损害粉末材料，可适用的改性材料范围广。（*该技术在2014年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种用于对材料进行改性处理的等离子体处理装置，特别是涉及一种在常温大气压下可对材料进行等离子体处理的设备。技术背景当前流化床设备及工艺已相对成熟，在化工企业已得到广泛应用。用等离子体对材料进行处理的技术也比较成熟，本申请人就这一主题申请了若干专利。而把物理方法与化学方法相结合制作的等离子体流化床，在世界上还是刚刚开始研制，从国外的报道有一种射频等离子体流化床，如文献1Plasma fluidized bedimaging and possible strong coupling effects，APPLIED PHYSICSLETTERS，Vol76No.18，2000.5.所介绍的这种等离子体流化床主要有四部分组成流化气体控制，气体分配器，产生等离子体的射频感应线圈，石英管。流化气体控制系统是流化床调控的一个重要方面，它会影响到颗粒的流化程度，气体分配器可使气流分布均匀，线圈与射频源相连就会在有一定真空度的石英管内产生等离子体。石英的透光性能优良，利用石英管可以对间歇式等离子体流化床的相关参数，如等离子体的电子温度和密度等进行测量。该射频等离子体流化床如图1所示，其工作原理使用13.56MHz射频电源在一定真空度的玻璃管内感应产生等离子体，流化床的底部通氩气，当氩气达到一定气流时，管内的颗粒就会悬浮产生流化现象。该装置只有在一定真空条件下才能产生等离子体，真空设备会增加运行费用，同时真空条件的存在影响了其适用范围。还有一种直流等离子体流化床，如文献2A direct current，plasmafluidized bed reactorits characteristics and application in diamondsynthesis，POWDER TECHNOLOGY，88(1996)65-70所介绍的间歇式流化床，该间歇式流化床如图2所示，底部通氩气使粉末颗粒流化，反应气体从器壁一侧进入，等离子体的产生依靠阴阳两极之间拉电弧实现，生成的等离子体被底部通入的氩气吹入到流化床中，反应气体从气体分配器位置的侧面通入，由于电极温度较高需要用冷却水冷却，限制了改性材料的种类。由于这些缺点的存在，影响了这两类等离子体流化床的使用效能。
技术实现思路
本技术的目的在于克服上述已有技术的缺陷；提供一种适于对污水废气的降解处理；又可进行薄膜材料和各种粉末材料的表面改性处理，特别是非导电粉末材料处理效果更佳的适用性广的，在常温大气压下可对材料进行等离子体处理的设备。本技术的目的是这样实现的本技术提供的在常温大气压下对材料进行处理的等离子体设备包括一床体13，其床体13下端口设置一气体分配器6，和在气体分配器6下面安装一漏斗形进气口14，进气口14通过带气体流量计16的管道15与气源1相连；床体13上部的侧壁上开有气体出口12，在床体的气体出口12的位置之上开孔，该孔安装一根带阀的进料管23，其管道连通一进料斗3；在床体的气体出口12以下至气体分配器6一段外壁上设置一外电极2，外电极2与高压交流电源9的一极用导线连接；内电极8插入床体内，并通过一绝缘板5密封固定在床体上端口，露出床体上端口的内电极8与高压交流电源9的另一极用导线连接；所述的床体13用绝缘材料制作的。所述的气体分配器6为一非金属薄片，其上开有圆孔，孔径的大小根据改性材料颗粒直径而定，一般小于待处理改性材料的颗粒直径。该非金属薄片包括有机或无机材料，例如有机玻璃、工程塑料、陶瓷材料或玻璃等。所述的床体13外壁上设置的外电极为一中空壳层，该壳层的上部开有导电液体出口4，其下部开有导电液体入口7，其内充有导电液体24；或者外电极为包覆床体13外壁上一层导电膜；或者均匀缠绕导电丝，且内外电极之间用绝缘材料隔离。所述的内电极可以是导电金属棒、导电金属管或导电金属制作环形电极等，且内电极数量至少为一根，设置在管内。所述的高压交流电源9采用电压在0-30KV，频率在20-40KHz可调的交流高压电源。所述的改性气体可从进气口通入，也可从底部随流化气体一起通入，且流化气体为空气、氩气、氮气等。所述的导电液体包括由导电物质配制的液体均可，例如自来水、溶于水的无机盐溶液等。所述的床体13用绝缘材料制作的，绝缘材料包括有机玻璃、工程塑料、陶瓷材料、石英玻璃等。所述的导电液体包括由导电物质配制的液体均可，例如自来水、溶于水的无机盐溶液等。本技术的优点在于本技术提供的对材料进行处理的等离子体设备采用连续供料和外电极导热结构，可在常温大气压下运行不需要真空设备，运行成本低。再者由于流化床中温度接近常温，不会损害粉末材料，可适用的改性材料范围广，且改性均匀。外电极是导电导热液体，故可很好的导走放电介质管上的热量，使该装置能长时间的工作；本装置是连续性操作，可明显提高生产效率；以及结构简单、造价低。利用本技术的装置对于粉末材料改性是通过装置上面的漏斗连续加料，当底部通入气流在某一速度时，粉末材料所受的重力与浮力达到平衡，这时颗粒就会悬浮在流化床中而不被带出(这时气体的速度叫流化速度)，随同气流可加入改性气体。当在内电极与外导电液体(外电极)之间加高频高压电压时，就会在石英管壁与内电极之间产生等离子体，由于等离子体中含有大量的带电粒子，粒子会与改性气体分子碰撞，这样便产生许多活性基团，活性基团就会在粉末材料表面聚合成功能膜层，从而达到粉末材料改性的目的，改性完成后再加大气流把改性的粉末带出分离(这时的速度叫带出速度)。该处理方法简单，以及不需真空设备，大大地降低运行费用。附图说明图1是已有的射频等离子体流化床结构示意图图2是已有的直流等离子体流化床结构示意图图3是本技术的等离子体处理设备结构示意图图面说明1.气源 2.外电极3.进料斗4.导电液体出口 5.固定板(各种绝缘材料) 6.气体分配器7.液体进口 8.内电极9.高压电源10.导线11.阀门 12.气体出口13 床体14 进气口 15 管道16 气体流量计 17 射频感应线圈 18 石英管 19 阴极20 阳极21 冷却水22 等离子体23 进料管 24 导电液体具体实施方式参照图3，制作一可处理粉末材料，水为外电极在常温大气压下工作的等离子体处理设备。采用绝缘材料，例如一直径为φ20mm×长150mm的有机玻璃圆筒做床体13，床体13下端口安装一气体分配器6，该气体分配器6为机玻璃薄片上均匀开有直径为φ0.2mm交替排列的圆孔，个数根据具体材料的颗粒大小而定(也可使用流化床通用的气体分配器)，和在气体分配器6下面安装一有机玻璃制的漏斗形进气口14，进气口14通过带阀门的管道15与气源1相连；床体13上部的侧壁上开有气体出口12，在床体的气体出口12的位置之上开孔，该孔安装一根带阀门的进料管23，其进料管16连通一漏斗形的进料斗3；在床体的气体出口12以下至气体分配器6的外壁上设置一段中空壳层，该壳层的上部开有导电液体出口4，其下部开有导电液体入口7，其内充有导电液体24作为外电极2，外电极2与高压交流电源9的一极用导线10连接；一根不锈钢管(通常等离子体处理装置中使用的电极材料均可)制作的内电极8插入床体内，并通过一绝缘有机玻璃板5密封固定在床体3本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种等离子体材料处理设备，包括：一床体（１３），其床体（１３）下端口设置一气体分配器（６），和在气体分配器（６）下面安装一漏斗形进气口（１４），进气口（１４）通过带气体流量计（１６）的管道（１５）与气源（１）相连；床体（１３）上部的侧壁上开有气体出口（１２），其特征在于：还包括在床体的气体出口（１２）的位置之上开孔，该孔安装一根带阀的管道，其管道连通一进料斗（３）；在床体的气体出口（１２）以下至气体分配器（６）一段外壁上设置一外电极（２），外电极（２）与高压交流电源（９）的一极电连接；内电极（８）插入床体内，并通过一绝缘板（５）密封固定在床体上端口，露出床体上端口的内电极（８）与高压交流电源（９）的另一极电连接；所述的床体（１３）用绝缘材料制作的。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈光良，杨思泽，张谷令，王久丽，刘元富，冯文然，刘赤子，
申请(专利权)人：中国科学院物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]