一种环保型真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种环保型真空镀膜设备，包括箱体，所述箱体内部固定连接有真空筒，箱体内部位于真空筒下方转动连接有加热板，箱体内部位于真空筒一侧固定连接有料斗，箱体一侧固定安装有真空泵，真空泵通过连接管与料斗、真空筒连接；所述箱体内部位于料斗下方固定连接有输料槽，输料槽一端通向真空筒，输料槽内部滑动连接有移动块，移动块上设有凹槽。本实用新型专利技术通过设有输料槽，通过输料槽输料时，使得真空筒内部的加热板转动，使得靶材均匀落在加热板上，使得真空筒内部的靶材分布均匀，在沉积镀膜时也更加均匀，避免镀膜不均重复镀膜，造成材料损耗，起到环保的作用。起到环保的作用。起到环保的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种环保型真空镀膜设备


[0001]本技术涉及一种镀膜设备，具体涉及一种环保型真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空离子镀膜是指在真空气氛中利用蒸发源或溅射靶使膜材蒸发或溅射，蒸发或溅射出来的一部分粒子在气体放电空间中电离成金属离子，这些粒子在电场作用下沉积到基体上生成薄膜的一种过程，但是，现有的真空镀膜过程中不方便中途添加靶材，同时靶材落在加热板上不够均匀，使得镀膜不够均匀导致材料浪费。因此，本领域技术人员提供了一种环保型真空镀膜设备，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。

技术实现思路

[0003]为解决上述技术问题，本技术提供一种环保型真空镀膜设备，包括箱体，所述箱体内部固定连接有真空筒，箱体内部位于真空筒下方转动连接有加热板，箱体内部位于真空筒一侧固定连接有料斗，箱体一侧固定安装有真空泵，真空泵通过连接管与料斗、真空筒连接；
[0004]所述箱体内部位于料斗下方固定连接有输料槽，输料槽一端通向真空筒，输料槽内部滑动连接有移动块，移动块上设有凹槽，箱体内部位于料斗下方一侧固定安装有电机，电机上方固定连接有转动盘，转动盘上方与移动块之间连接有连接杆，电机上位于转动盘下方固定连接有带轮一，箱体内部位于真空筒一侧转动连接有带轮二，带轮二上固定连接有齿轮，加热板外侧位于真空筒下方固定连接有齿环，齿环与齿轮啮合。
[0005]优选的：所述加热板上方放置有置物架。
[0006]优选的：所述连接管与料斗之间设有过滤板。
[0007]优选的：所述箱体上端位于真空筒上方转动连接有密封盖。
[0008]优选的：所述输料槽上与料斗下方连接处设有开口。
[0009]优选的：所述带轮一与带轮二外侧设有皮带。
[0010]本技术的技术效果和优点：
[0011]本技术通过设有输料槽，通过输料槽输料时，使得真空筒内部的加热板转动，使得靶材均匀落在加热板上，使得真空筒内部的靶材分布均匀，在沉积镀膜时也更加均匀，避免镀膜不均重复镀膜，造成材料损耗，起到环保的作用。
附图说明
[0012]图1是本申请提供的结构示意图；
[0013]图2是本申请提供的真空筒的结构示意图；
[0014]图3是本申请提供的真空泵的结构示意图；
[0015]图4是本申请提供的料斗的结构示意图；
[0016]图中：
[0017]1、箱体；2、真空筒；3、电机；4、带轮一；5、转动盘；6、带轮二；7、齿轮；8、齿环；9、输料槽；10、料斗；11、移动块；12、连接杆；13、加热板；14、置物架；15、真空泵；16、连接管；17、过滤板。
具体实施方式
[0018]下面结合附图和具体实施方式对本技术作进一步详细的说明。本技术的实施例是为了示例和描述起见而给出的，而并不是无遗漏的或者将本技术限于所公开的形式。很多修改和变化对于本领域的普通技术人员而言是显而易见的。选择和描述实施例是为了更好说明本技术的原理和实际应用，并且使本领域的普通技术人员能够理解本技术从而设计适于特定用途的带有各种修改的各种实施例。
[0019]请参阅图1～4，在本实施例中提供一种环保型真空镀膜设备，包括箱体1，所述箱体1内部固定连接有真空筒2，所述箱体1上端位于真空筒2上方转动连接有密封盖，箱体1内部位于真空筒2下方转动连接有加热板13，所述加热板13上方放置有置物架14，箱体1内部位于真空筒2一侧固定连接有料斗10，箱体1一侧固定安装有真空泵15，真空泵15通过连接管16与料斗10、真空筒2连接，所述连接管16与料斗10之间设有过滤板17；
[0020]所述箱体1内部位于料斗10下方固定连接有输料槽9，所述输料槽9上与料斗10下方连接处设有开口，输料槽9一端通向真空筒2，输料槽9内部滑动连接有移动块11，移动块11上设有凹槽，箱体1内部位于料斗10下方一侧固定安装有电机3，电机3上方固定连接有转动盘5，转动盘5上方与移动块11之间连接有连接杆12，电机3上位于转动盘5下方固定连接有带轮一4，箱体1内部位于真空筒2一侧转动连接有带轮二6，所述带轮一4与带轮二6外侧设有皮带，带轮二6上固定连接有齿轮7，加热板13外侧位于真空筒2下方固定连接有齿环8，齿环8与齿轮7啮合。
[0021]本技术的工作原理是：
[0022]本装置在使用时，通过外接电源与控制器进行使用，使用者将工件放置在置物架14上，将真空筒2关闭，启动真空泵15，真空泵15通过连接管16将料斗10与真空筒2内部进行抽真空，镀膜时，启动加热板13，启动电机3，电机二3带动转动盘5转动，转动盘5转动通过连接杆12使得移动块11沿着输料槽9往复移动，当移动块11移动至料斗10内部时，料斗10中的物料落入移动块11内凹槽中，当移动块11移动至真空筒2内部时，通过凹槽中的靶材下落至加热板13上，同时电机3通过带轮一4使得带轮二6转动，带轮二6通过齿轮7使得齿环8转动，齿环8转动使得加热板13转动，使得靶材均匀落在加热板13上，通过加热板13使得靶材高温蒸发。
[0023]显然，所描述的实施例仅仅是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域及相关领域的普通技术人员在没有作出创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都应属于本技术保护的范围。本技术中未具体描述和解释说明的结构、装置以及操作方法，如无特别说明和限定，均按照本领域的常规手段进行实施。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种环保型真空镀膜设备，包括箱体（1），其特征在于，所述箱体（1）内部固定连接有真空筒（2），箱体（1）内部位于真空筒（2）下方转动连接有加热板（13），箱体（1）内部位于真空筒（2）一侧固定连接有料斗（10），箱体（1）一侧固定安装有真空泵（15），真空泵（15）通过连接管（16）与料斗（10）、真空筒（2）连接；所述箱体（1）内部位于料斗（10）下方固定连接有输料槽（9），输料槽（9）一端通向真空筒（2），输料槽（9）内部滑动连接有移动块（11），移动块（11）上设有凹槽，箱体（1）内部位于料斗（10）下方一侧固定安装有电机（3），电机（3）上方固定连接有转动盘（5），转动盘（5）上方与移动块（11）之间连接有连接杆（12），电机（3）上位于转动盘（5）下方固定连接有带轮一（4），箱体（1）内部位于真空筒...

【专利技术属性】
技术研发人员：程颖，
申请(专利权)人：广州市浩兴包装科技有限公司，
类型：新型
国别省市：