一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及真空镀膜机技术领域，提供一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备，包括机体、密封门和真空泵，所述机体的内部设置有镀膜腔，所述机体的一侧安装有密封门，所述密封门的顶部设置有观察窗。本实用新型专利技术通过设置有定位结构，将定位板从镀膜腔的内部取出，将基片放置在定位板一侧电动推杆之间的位置，同时启动四组电动推杆，电动推杆相互挤压将基片卡接固定在定位板一侧的中间位置处，然后将定位板移至镀膜腔的内部，使定位板的两端在定位座的内部滑动，当定位板的一侧与机体的内壁相抵触不再移动，此时基片位于蒸发槽的正上方，实现了该装置便于对喷涂位置定位的功能，从而提高了该真空镀膜设备在使用时的便捷性。高了该真空镀膜设备在使用时的便捷性。高了该真空镀膜设备在使用时的便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备


[0001]本技术涉及真空镀膜机
，特别涉及一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]真空镀膜，也称为薄膜沉积，是一种真空室工艺，将非常薄且稳定的镀膜层施加到基材表面，以保护其免受可能磨损或降低其效率的力，真空镀膜设备是真空镀膜工艺中重要的加工装置。
[0003]为此，公开号为CN209555362U的专利提供了一种真空镀膜设备，涉及真空镀膜的
，真空镀膜设备包括抽真空装置、真空舱、载物台、待加工件以及加热装置；所述待加工件位于所述载物台上，所述载物台和加热装置均位于真空舱内且相对设置，所述抽真空装置与所述真空舱内部相连通；所述载物台上设置有用于固定所述待加工件的夹具，所述夹具能够沿所述载物台滑动并固定所述待加工件。本技术解决了真空镀膜不待加工件固定不精确导致喷涂不到位的技术问题。
[0004]上述装置中通过将夹具安装在载物台上，并且夹具可以在载物台上滑动，使夹具的位置不固定于载物台上任意一点，然后对待加工件进行固定，也可以根据待加工件的结构和尺寸不同，对夹具位置进行调整，进行全面均匀的镀膜，然而该装置通过夹具的移动，使待加工件不便对镀膜位置进行定位，使得其在使用时极其不便。

技术实现思路

[0005]（一）要解决的技术问题
[0006]本技术的目的是提供一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备，用以解决现有的真空镀膜设备不便定位的缺陷。
[0007]（二）
技术实现思路

[0008]为了解决上述技术问题，本技术提供如下技术方案：一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备，包括机体、密封门和真空泵，所述机体的内部设置有镀膜腔，所述机体的一侧安装有密封门，所述密封门的顶部设置有观察窗，所述机体的一侧设置有真空泵，所述真空泵的输出端安装有连接管，所述连接管的一端延伸至机体的内部并与镀膜腔相连通，所述镀膜腔的底部固定有挥发结构；
[0009]所述镀膜腔的顶部固定有加热结构；
[0010]所述镀膜腔内部加热结构的底端设置有定位结构，所述定位结构的底端设置有基片。
[0011]优选的，所述挥发结构包括固定座、第一电热丝、蒸发盘以及蒸发槽，所述固定座固定于镀膜腔底部的中间位置处，所述固定座的顶部安装有第一电热丝，所述固定座的顶端的中间位置处固定有蒸发盘，所述蒸发盘的顶部设置有蒸发槽。
[0012]优选的，所述第一电热丝位于蒸发盘的正下方，所述蒸发槽的顶部呈梯形设计。
[0013]优选的，所述定位结构包括定位座、定位板以及电动推杆，所述定位座固定于镀膜腔顶部的两侧，所述定位座的内部滑动连接有定位板，所述定位板底部的两侧均安装有电动推杆。
[0014]优选的，所述定位座的一侧与机体的内壁固定连接，所述定位板底端的中间位置处与基片的顶端相接触，所述电动推杆在定位板底部基片的两侧呈对称分布。
[0015]优选的，所述加热结构包括连接座、加热座以及第二电热丝，所述连接座固定于机体顶部的中间位置处，所述连接座的底端固定有加热座，所述加热座的底部安装有第二电热丝。
[0016]优选的，所述加热座位于固定座的正上方，所述加热座的底端与定位板的顶端相接触，所述第二电热丝和第一电热丝的俯视截面均呈“S”形设计。
[0017]（三）有益效果
[0018]本技术提供的一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备，其优点在于：
[0019]通过设置有定位结构，将定位板从镀膜腔的内部取出，将基片放置在定位板一侧电动推杆之间的位置，同时启动四组电动推杆，电动推杆相互挤压将基片卡接固定在定位板一侧的中间位置处，然后将定位板移至镀膜腔的内部，使定位板的两端在定位座的内部滑动，当定位板的一侧与机体的内壁相抵触不再移动，此时基片位于蒸发槽的正上方，实现了该装置便于对喷涂位置定位的功能，从而提高了该真空镀膜设备在使用时的便捷性；
[0020]通过设置有挥发结构，将第一电热丝连接电源，第一电热丝会对蒸发盘进行加热，使蒸发槽内部的膜材进行蒸发，蒸发的粒子飞至基片的表面上凝结生成薄膜，使镀膜更加均匀，从而提高了该真空镀膜设备在使用时的适用性；
[0021]通过设置有加热结构，将第二电热丝连接电源，第二电热丝会通过定位板对基片进行加热，基片受热后在镀膜时能够快速对膜材进行吸附，从而提高了该真空镀膜设备在使用时的工作效率。
附图说明
[0022]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0023]图1为本技术的三维结构示意图；
[0024]图2为本技术的主视剖面结构示意图；
[0025]图3为本技术的侧视剖面结构示意图；
[0026]图4为本技术的俯视剖面结构示意图；
[0027]图5为本技术的定位结构三维结构示意图。
[0028]图中的附图标记说明：1、机体；2、密封门；3、观察窗；4、连接管；5、真空泵；6、镀膜腔；7、挥发结构；701、固定座；702、第一电热丝；703、蒸发盘；704、蒸发槽；8、定位结构；801、定位座；802、定位板；803、电动推杆；9、加热结构；901、连接座；902、加热座；903、第二电热丝；10、基片。
具体实施方式
[0029]为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有作创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0030]在本技术的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0031]实施例一
[0032]请参阅图1
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5，本技术提供的一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备，包括机体1、密封门2和真空泵5，机体1的内部设置有镀膜腔6，机体1的一侧安装有密封门2，密封门2的顶部设置有观察窗3，机体1的一侧设置有真空泵5，真空泵5的输出端安装有连接管4，连接管4的一端延伸至机体1的内部并与镀膜腔6相连通，镀膜腔6的底部固定有挥发结构7，挥发结构7包括固定座701、第一电热丝702、蒸发盘703以及蒸发槽704，固定座701固定于镀膜腔6底部的中间位置处，固定座701的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备，包括机体（1）、密封门（2）和真空泵（5），其特征在于：所述机体（1）的内部设置有镀膜腔（6），所述机体（1）的一侧安装有密封门（2），所述密封门（2）的顶部设置有观察窗（3），所述机体（1）的一侧设置有真空泵（5），所述真空泵（5）的输出端安装有连接管（4），所述连接管（4）的一端延伸至机体（1）的内部并与镀膜腔（6）相连通，所述镀膜腔（6）的底部固定有挥发结构（7）；所述镀膜腔（6）的顶部固定有加热结构（9）；所述镀膜腔（6）内部加热结构（9）的底端设置有定位结构（8），所述定位结构（8）的底端设置有基片（10）。2.根据权利要求1所述的一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备，其特征在于：所述挥发结构（7）包括固定座（701）、第一电热丝（702）、蒸发盘（703）以及蒸发槽（704），所述固定座（701）固定于镀膜腔（6）底部的中间位置处，所述固定座（701）的顶部安装有第一电热丝（702），所述固定座（701）的顶端的中间位置处固定有蒸发盘（703），所述蒸发盘（703）的顶部设置有蒸发槽（704）。3.根据权利要求2所述的一种具有喷涂定位功能的真空镀膜设备，其特征在于：所述第一电热丝（702）位于蒸发盘（703）的正下方，所述蒸发槽（704）的顶部呈梯形设计。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：夏建华，
申请(专利权)人：广州市浩兴包装科技有限公司，
类型：新型
国别省市：