X-射线发生器制造技术

一种Ｘ－射线发生器，可在不破坏工作系统真空的条件下进行靶体和窗的更换，可在系统内部清洁靶面，并且能以较高的功率状态工作，而靶体的各阳极面无交叉干扰．可获得高重复性定量分析结果．Ｘ－射线发生器有真空工作室、枪体、清洁室、超高真空阀和热耗散装置等主要部分，其中热耗散装置采用低温传导法取代惯用的水冷却技术，枪体采用多靶体四靶面和可换窗设计．本发明专利技术主要用于Ｘ－光电子能谱仪和其它需用Ｘ－射线源的仪器．（*该技术在2005年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
本专利技术与需用X-射线源为激发源的仪器有关。引证材料(1)K.Siegbahn等，“ESCAAtomic，Molecular，and Solid State Strueture Studied by Means of Electron Spectroscopy”，Nova Acta Regiae Soc.Seio，Upsaliensis，Ser.Ⅳ，vol.20(1967)。(2)K.Yate等，J.Phys，E，b，130(1973)。(3)Q.C.Herd，UK Patent Application，GB2133208A。已有的X-光电子能谱仪均以X-射线发生器为激发源，1967年琶巴(Siegbahn)等(1)用电子轰击式单阳极X-射线发生器作为激发源。1973年雅特(Yate)等(2)发表了电切换双阳极X-射线发生器的技术方案见图1。以后这种技术方案被大多数X-光电子能谱仪制造厂采纳。1982年赫德(Herd)(3)专利技术了四阳极遥控选靶X-射线发生器见图2。此专利技术已在英国克拉托斯(Kr本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种Ｘ一射线发生器，有真空工作室（７）、枪体和对靶体进行热耗散的装置，其特征在于：Ａ、有一个清洁室（１４），在真空工作室与清洁室中间串联一个超高真空阀（１２）。Ｂ、枪体中有冷指杆（６）、靶体（１０）、窗架（９）和灯丝组件（８）。 Ｃ、热耗散装置中有一低温容器（１），低温容器的内筒与枪体中的冷指杆（６）连成一体。

【技术特征摘要】
1.一种X-射线发生器，有真空工作室(7)、枪体和对靶体进行热耗散的装置，其特征在于A、有一个清洁室(14)，在真空工作室与清洁室中间串联一个超高真空阀(12)。B、枪体中有冷指杆(6)、靶体(10)、窗架(9)和灯丝组件(8)。C、热耗散装置中有一低温容器(1)，低温容器的内筒与枪体中的冷指杆(6)连成一体。2.按权利要求1所说的X-射线发生器，其特征在于清洁室上装有一个可清洁靶面用的...

【专利技术属性】
技术研发人员：郁向荣，
申请(专利权)人：北京市理化分析测试中心，
类型：发明
国别省市：11[中国|北京]