本发明专利技术公开了一种具有静电防护功能的晶圆切割装置，包括机架、第一电动推杆和切割刀片，所述机架的内部上端设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆的下端设置有切割刀片，所述机架内部两侧设置有位置调整机构，所述括机架的内部滑动设置有固定架，所述限位架的内部设置有气动吸附清洁机构，所述顶柱具有弹性，所述顶柱的下端设置有通电调整机构；在产生电流时会通过传感器来对电流进行监测，晶圆和切割刀摩擦的速度越快时，晶圆和切割刀片表面附带的静电也就越多，所以当摩擦力越大时，摩擦的速度越快，产生的电流量也就越多，通过对电流量进行监测，来调整晶圆的切割速度，避免在切割过程中产生大量的静电。割过程中产生大量的静电。割过程中产生大量的静电。
【技术实现步骤摘要】
一种具有静电防护功能的晶圆切割装置
[0001]本专利技术涉及晶圆切割
，具体为一种具有静电防护功能的晶圆切割装置。
技术介绍
[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，而在晶圆生产完毕后，需要对晶圆进行切割，从而便于对晶圆进行后续的使用，而在对晶圆进行切割时需要使用到晶圆切割装置，而一般的晶圆切割装置在使用时还有一些缺点，比如：
[0003]在对晶圆进行切割时，由于晶圆与切割刀片之间会产生摩擦，而摩擦的过程中，晶圆与切割刀片会发生得失电子的现象，从而使得晶圆的表面会出现静电，而静电会对晶圆的切割造成影响，而在切割的过程中，由于晶圆的表面会出现线痕，所以会导致晶圆的厚度会产生的一定的偏差，所以在切割晶圆时，当切割装置的速度不发生及时的调整，由于晶圆表面线痕的影响会导致晶圆产生的静电发生变化，从而影响对晶圆的加工，在切割过程中当晶圆受到的摩擦力也会较小时，此时产生的静电量也会较小，所以对晶圆的切割速度可以相应的加快，从而提高对晶圆的切割效果。
技术实现思路
[0004]本专利技术的目的在于提供一种具有静电防护功能的晶圆切割装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为了解决上述技术问题，本专利技术提供如下技术方案：一种具有静电防护功能的晶圆切割装置，包括机架、第一电动推杆和切割刀片，所述机架的内部上端设置有第一电动推杆，所述第一电动推杆的下端设置有切割刀片，所述机架内部两侧设置有位置调整机构，所述括机架的内部滑动设置有固定架，所述固定架的内部设置有电动机，所述电动机的上端设置有限位架，所述限位架的内部设置有气动吸附清洁机构，所述第一电动推杆的两侧下端设置有顶柱，所述顶柱具有弹性，所述顶柱的下端设置有通电调整机构，切割刀片为镍基晶圆切割刀片，第一电动推杆可以带动切割刀片进行上下移动，从而来对切割刀片的高度进行调整，而第一电动推杆可以进行前后移动，从而对切割刀片的切割位置进行调整，而切割刀片的侧面设置有动力机构，从而带动切割刀片进行转动来对晶圆进行切割，当在进行切割时，位置调整机构会带动晶圆进行左右移动，当晶圆进行左右移动时会对晶圆表面的不同位置进行切割，当进行切割时气动吸附清洁机构会对晶圆进行吸附和清洁，而通电调整机构会与晶圆接触，从而在晶圆的表面和通电调整机构之间形成闭合回路，从而避免静电现象的产生，当晶圆和切割刀片受到的摩擦力发生增大时，切割刀片和晶圆产生的静电量也会更多，此时通电调整机构通过的电流也会更多，通过通电调整机构可以对晶圆的移动速度进行调整，从而对静电量进行控制，相应的切割刀片受到的摩擦力发生降低时，在切割时产生的静电量也会较少，所以通电调整机构会对晶圆的移动速度进行加快，从而增加
对晶圆的切割速度。
[0006]进一步的，所述位置调整机构包括第二电动推杆、固定杆、固定弹簧和支撑杆，所述第二电动推杆设置在机架的内部两侧，所述第二电动推杆的侧面设置有固定杆，所述固定杆的内部设置有固定弹簧，所述固定杆的内部滑动设置有支撑杆，所述支撑杆的一端和固定弹簧相连接，所述支撑杆的另一端和固定架相连接，第二电动推杆会带动固定杆进行移动，当固定杆进行移动时会通过固定弹簧带动支撑杆进行移动，当支撑杆进行移动时会带动固定架进行移动，当固定架进行移动时会带动晶圆进行移动，从而对晶圆的位置进行调整，进而便于对晶圆进行切割，而在晶圆进行移动时固定弹簧始终处于压缩状态，所以保证了固定杆和支撑杆之间的稳定性，而当晶圆在移动过程中受到的阻力较大时，固定弹簧受到的力也会增加，此时固定弹簧的松紧度会发生变化，从而避免晶圆在切割过程中受到的摩擦力发生变化。
[0007]进一步的，所述气动吸附清洁机构包括进气口、进气道、离子风机、排气道、排气室、活塞环、固定道和排气口，所述进气口等角度设置在限位架的上端内部侧面，所述限位架的下端内部对称设置有进气道和排气道，所述进气道和排气道分别与离子风机相连接，所述离子风机设置在固定架的内部，当装置在进行使用时，离子风机会使得外界气体依次通过进气口和进气道进入到离子风机的内部，而进气口处于晶圆的边缘处，所以当气体从进气口进入时会对晶圆产生吸力，从而对晶圆进行固定，避免晶圆在移动切割时发生。
[0008]进一步的，所述排气道的内部等角度设置有排气室，所述排气室的下方转动设置有活塞环，所述活塞环与排气道为转动连接，所述活塞环的内部开设有呈环形的固定道，且固定道的开口分别位于活塞环的上下两侧，气体会从离子风机依次进入到排气道、排气室和排气口的内部，从而排至外界，活塞环会对排气道进行堵塞，气体从固定道向上流动，而气体在排气道内流动时，由于排气道内呈环形，所以当气体流动时会对活塞环进行冲击，从而使得活塞环进行转动，当活塞环进行转动时气体会通过固定道进入到不同的排气室内部，而的排气室和不同位置的排气口相连接，所以当气体流入不同的排气室时会通过排气口流出，从而实现对晶圆表面进行多角度的吹气，实现对晶圆表面的有效清洁，离子风机和外界的氩气供气设备相连接，所以会使得吹出的气体中含有大量的氩气，在离子风机的作用下吹出的气体中会含有大量的电荷，当电荷与晶圆接触时，可以对晶圆表面的静电进行消除。
[0009]进一步的，所述排气道和固定道的内部相连通，所述固定道和排气口的内部相连通，所述排气口的开口等角度设置在限位架的上端侧面，所述限位架的上端内部设置有固定环，当晶圆在进行安装时，将晶圆嵌入式安装在限位架的内部，由于固定环由橡胶材料构成，所以固定环可以有效的对晶圆进行限位，保证晶圆在加工时的稳定性。
[0010]进一步的，所述通电调整机构包括支撑柱、固定柱、连接柱、支撑板、通风口、垫板、传感器和滚轮，所述支撑柱对称设置在机架的内部，所述支撑柱的内部上端转动设置有固定柱，所述支撑柱的内部下端滑动设置有连接柱，所述固定柱和连接柱为螺纹连接，当在装置进行使用时，由于固定柱和连接柱为螺纹连接，而支撑柱会对连接柱进行限位，所以当固定柱进行转动时连接柱会进行上下移动，从而对滚轮的高度进行调整，使得2个滚轮与晶圆贴合在一起，滚轮具有弹性，在对晶圆进行切割时，滚轮会与晶圆贴合在一起，会使得晶圆、滚轮和支撑板形成闭合的回路，从而避免静电的产生，当摩擦引起电荷发生变化时，由于电
荷的移动会使得闭合的回路内产生电流，从而通过传感器来对电路量进行监测来控制切割速度，避免在切割过程中产生过大的电流。
[0011]进一步的，所述连接柱的下端与支撑板相连接。所述支撑板的横切面呈矩形，所述支撑板的中心处呈开口状，所述支撑板的侧面均匀分布有通风口，所述支撑板的上端前后两侧设置有垫板，当清洁气流在晶圆表面进行流动时，气体会通过通风口不断的进行流动，从而使得气体可以对切割刀片不断的进行冷却，保证装置的切割效果。
[0012]进一步的，所述支撑板的内部两侧对称转动设置有滚轮，所述滚轮的侧面与传感器相连接，将垫板和支撑板进行连接，可以调整垫板的高度，当第一本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种具有静电防护功能的晶圆切割装置，包括机架(1)、第一电动推杆(2)和切割刀片(3)，其特征在于：所述机架(1)的内部上端设置有第一电动推杆(2)，所述第一电动推杆(2)的下端设置有切割刀片(3)，所述机架(1)内部两侧设置有位置调整机构，所述括机架(1)的内部滑动设置有固定架(8)，所述固定架(8)的内部设置有电动机(9)，所述电动机(9)的上端设置有限位架(10)，所述限位架(10)的内部设置有气动吸附清洁机构，所述第一电动推杆(2)的两侧下端设置有顶柱(28)，所述顶柱(28)具有弹性，所述顶柱(28)的下端设置有通电调整机构。2.根据权利要求1所述的一种具有静电防护功能的晶圆切割装置，其特征在于：所述位置调整机构包括第二电动推杆(4)、固定杆(5)、固定弹簧(6)和支撑杆(7)，所述第二电动推杆(4)设置在机架(1)的内部两侧，所述第二电动推杆(4)的侧面设置有固定杆(5)，所述固定杆(5)的内部设置有固定弹簧(6)，所述固定杆(5)的内部滑动设置有支撑杆(7)，所述支撑杆(7)的一端和固定弹簧(6)相连接，所述支撑杆(7)的另一端和固定架(8)相连接。3.根据权利要求1所述的一种具有静电防护功能的晶圆切割装置，其特征在于：所述气动吸附清洁机构包括进气口(11)、进气道(12)、离子风机(13)、排气道(14)、排气室(15)、活塞环(16)、固定道(17)和排气口(18)，所述进气口(11)等角度设置在限位架(10)的上端内部侧面，所述限位架(10)的下端内部对称设置有进气道(12)和排气道(14)，所述进气道(12)和排气道(14)分别与离子风机(13)相连接，所述离子风机(13)设置在固定架(8)的内部。4.根据权利要求3所述的一种...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨帆，孙丽丽，邢红飞，晁娟，曾德琴，郑益，杜文汉，
申请(专利权)人：常州鼎先电子有限公司，
类型：发明
国别省市：
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