具有钝化层的微电子系统技术方案

本发明专利技术涉及微电子系统，尤其是用于Ｘ射线探测器的微电子系统，其中该微电子系统包括具有像素（Ｐ）的阵列的半导体层（１），像素（Ｐ）由光敏元件（３）和相关的电子电路（４）组成。在其表面内具有凹陷（５ａ）的绝缘钝化层（５）夹置于半导体层（１）和闪烁体（８）之间。用于屏蔽电子电路（４）免受Ｘ射线辐射的屏蔽金属（６）可置于钝化层（５）的凹陷（５ａ）内。此外，该凹陷可包含用于固定闪烁体（８）的胶合剂，其中该钝化层（５）另外用作闪烁体（８）和半导体层（１）之间的隔离物。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】
一种微电子系统，包括：ａ）具有电子元件（３，４）的半导体层（１）；ｂ）钝化层（５），位于所述半导体层（１）的顶上且具有位于其表面内的凹陷（５ａ，５ｂ）；ｃ）至少一种特殊材料（６，７），置于所述钝化层（５）的凹陷（５ａ ，５ｂ）内。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：G沃格特梅尔，R斯蒂德曼，G泽特勒，KJ恩格尔，H韦科佐雷克，
申请(专利权)人：皇家飞利浦电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：NL[荷兰]