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本发明涉及微电子系统，尤其是用于Ｘ射线探测器的微电子系统，其中该微电子系统包括具有像素（Ｐ）的阵列的半导体层（１），像素（Ｐ）由光敏元件（３）和相关的电子电路（４）组成。在其表面内具有凹陷（５ａ）的绝缘钝化层（５）夹置于半导体层（１）和闪烁...该专利属于皇家飞利浦电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过皇家飞利浦电子股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及微电子系统，尤其是用于Ｘ射线探测器的微电子系统，其中该微电子系统包括具有像素（Ｐ）的阵列的半导体层（１），像素（Ｐ）由光敏元件（３）和相关的电子电路（４）组成。在其表面内具有凹陷（５ａ）的绝缘钝化层（５）夹置于半导体层（１）和闪烁...