带除静电装置的浮起装置及该浮起装置中的除静电方法制造方法及图纸

本发明专利技术的课题为，在借助空气的喷射使板状工件浮起的空气浮起装置上，削减除去由工件浮起用的空气产生的静电的除静电装置的设置空间。其解决方案为，在使工件（６）浮起的工件的浮起面（２ａ）上设置多个空气喷射孔（３）、借助空气的喷射使该工件（６）浮起的装置中，在上述国家去年浮起用的空气供应流路上，设置使所述空气离子化用的离子化装置（５），除去由喷射出来的工件浮起用的空气产生的静电。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及在通过空气喷射使工件浮起的空气浮起装置中附设除静电装置的带有除静电装置的空气浮起装置、以及在该浮起装置中的除静电方法。
技术介绍
在使工件浮起的面上设置空气喷射孔、通过从该喷射孔喷射空气使工件浮起、或者一边使工件浮起一边输送该工件的空气浮起装置，过去是已知的，在这种装置中，由于通过与喷出的空气的摩擦而在工件上产生静电，所以大多设置除静电装置。例如，在图5所示的一边使板状工件56浮起一边输送该工件56的现有的空气浮起装置51中，当从设置在工件浮起面52上的多个空气喷射孔53喷出的空气流过工件56和工件浮起面52之间的间隙时，由于摩擦而在工件56上产生静电，所以，在工件56的输送路径的中途的工件56的上下，设置用于除去静电的除静电装置54，从该除静电装置54向工件56的上面和下面喷射离子化的除静电空气55，进行工件56的除静电。但是，向工件56的上面和下面喷射除静电空气55以进行除静电的电晕放电方式的除静电装置54，当工件56和除静电装置54的距离极其接近时，会担心离子平衡的恶化，所以，在工件56和除静电装置54之间有必要具有一定程度的距离，尽管是输送薄板状的工件56，在空气浮起装置内也需要一定程度的除静电装置的设置空间H。
技术实现思路
本专利技术的技术课题是提供一种带有除静电装置的空气浮起装置及其除静电方法，所述带有除静电装置的空气浮起装置，对由工件浮起用空气产生的工件的静电进行除静电时，可以削减输送路径的上下的除静电装置的设置空间。另外，本专利技术的另一课题是提供一种能够将整个板状工件均匀地除去静电的带有除静电装置的空气浮起装置及其除静电方法。用于解决上述课题的本专利技术的带有除静电装置的空气浮起装置，在使板状工件浮起的工件浮起面上设置多个空气喷射孔，通过空气喷射使该工件浮起，其特征在于，在上述工件浮起用的空气的供应流路中，设置用于将该空气离子化的离子化装置，将由喷出的工件浮起用的空气所产生的工件上的静电除静电。在上述带有除静电装置的空气浮起装置的优选的实施形式中，上述空气浮起装置是一边借助空气喷射使上述板状工件浮起一边输送该板状工件的装置，上述工件浮起面由上述空气浮起装置中的空气储气罐部的上壁面构成。在这种情况下，优选地，在上述空气储气罐部内设置上述离子化装置。另外，在上述装置的另外的优选实施形式中，上述空气喷射孔或者直至该孔的流路的一部分由第二贯通孔构成，所述第二贯通孔通过用绝缘体覆盖设置于流路壁中的第一贯通孔的内周壁而形成，在该第二贯通孔内设置上述离子化装置中的放电针。进而，上述空气喷射孔由设置在构成上述工件浮起面的壁中的贯通孔，以及以塞住该贯通孔的方式设置在该贯通孔内的上方部分中的多孔质材料构成，可以在上述多孔质材料的空气流入侧或者在该多孔质材料中，设置上述离子化装置中的放电针。另一方面，为了解决上述课题的本专利技术的空气浮起装置中的除静电的方法，其特征在于，在通过来自工件浮起面的空气喷射使板状工件浮起时，通过在上述板状工件和工件浮起面之间流过离子化的工件浮起用的空气，除去由工件浮起用的空气产生的工件的静电。在上述除静电方法中，优选地，在利用设置在空气供应流路中的离子化装置使上述工件浮起用的空气离子化之后，从设置在上述工件浮起面上的多个空气喷出孔喷出，在上述板状工件和工件浮起面之间流动。根据上面详细描述的本专利技术，在对由工件浮起用空气产生的工件的静电进行除静电时，可以削减工件输送路径上下的除静电装置设置空间，通过在板状工件与工件浮起面之间流过离子化的空气，可以均匀地将整个工件除静电。附图说明图1是表示根据本专利技术的带有除静电装置的空气浮起装置的一个图2是表示除静电装置的另外的实施例的概念图。图3是表示除静电装置的进一步的另外的实施例的概念图。图4是表示除静电装置的再一个另外的实施例的概念图。图5是表示现有的带有除静电装置的空气浮起装置的概念图。具体实施例方式图1表示根据本专利技术的带有除静电装置的空气浮起装置的一个实施例。该空气浮起装置1是这样一种装置在使板状工件6浮起的工件浮起面2a上设置多个空气喷射孔3，一边借助来自该喷射孔3的空气喷射使该板状工件6浮起，一边输送该工件；使上述板状工件6浮起的工件浮起面2a，形成在上述空气浮起装置1中的空气储气罐部2的上壁2b上。另外，本专利技术的空气浮起装置并不局限于一边使板状工件6浮起一边进行输送的情况，本专利技术也适用于单纯地用空气将工件浮起并保持的装置。上述空气储气罐部2，构成在上述板状工件6的输送方向上延伸的长的长方体状，内部具有由上壁2b、侧壁2c、底壁2d包围的高度低的空间部4，贯穿该上壁2b设置上述多个空气喷射孔3。上述空气储气罐部2，经由管路连接到空气供应源(图中未示出)上，利用该管路和上述空间部4，构成从上述空气供应源至上述空气喷出孔3的空气供应流路，在从上述空气供应源供应工件浮起用的空气的空间部4内，设置用于将上述工件浮起用的空气离子化的离子化装置5。由于上述离子化装置5是和现有的除静电装置中为了获得离子化的除静电空气用的离子发生装置相同的装置，所以，图中没有示出，它备有连接到供电电路上的放电电极，产生由电晕放电引起的离子。在上述带有除静电装置的空气浮起装置1中，在从设置在工件浮起面2a上的多个空气喷射孔3喷射的空气流过板状工件6和工件浮起面2a之间的间隙时，由于摩擦而在板状工件6上产生静电，但是，由于与板状工件6带电的极性具有相反极性的喷射空气中的离子与板状工件6的表面接触，所以，将该工件所带的静电中和。在这种情况下，上述带有除静电装置的空气浮起装置1，由于从设置在工件浮起面2a上的多个空气喷射孔3喷射出使板状工件6浮起用的离子化的空气，所以，可以使该离子化的空气在板状工件6与工件浮起面2a之间流过，可以借助喷射的空气中的正或负离子，均匀地将该板状工件6除静电。另外，上述带有除静电装置的空气浮起装置1，由于通过使从工件浮起面2a喷出的离子化的工件浮起用空气在板状工件6和工件浮起面2a之间流过来除去静电，所以没有必要像图5所示的现有的带有除静电装置的空气浮起装置51那样、在工件56的输送路径途中的工件56的上方及下方位置处设置除静电用的除静电装置54，因此，可以削减设置除静电装置用的空间。图2～图4是表示根据本专利技术的带有除静电装置的空气浮起装置的各个另外的实施例的概念图。图2～图4所示的实施例，在这里，作为设置在使板状工件6浮起的工件浮起面2a上的空气喷射孔进行说明，但是，也可以作为向图1的空气储气罐部2内的空间部4供应离子化空气的离子化装置使用。总之，在借助空气喷射一边使工件浮起一边进行输送的装置中，在上述工件浮起用的空气供应流路中设置使该空气离子化用的离子化装置这一点上，没有变化，另外，在上述一点上，与图1所示的实施例也基本上是共同的。因此，只对与图1所示的实施例1不同的空气喷射孔和离子化装置的具体结构进行说明，省略对其它部分的说明。在图2所示的实施例中，多个空气喷射孔21由第二贯通孔24构成，所述第二贯通孔24通过用绝缘体23覆盖设置在构成工件浮起面2a的壁2b中的第一贯通孔22的内周壁来形成，在该第二贯通孔24内，设置离子化装置中的放电针25。从而，通过该第二贯通孔24和放电针25之间的间隙离子化的工件浮起用的空气，流过板状工件6和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种带有除静电装置的空气浮起装置，该装置在使板状工件浮起的工件浮起面上设置多个空气喷射孔，通过空气喷射使该工件浮起，其特征在于，　　　　在上述工件浮起用的空气供应流路中，设置用于将该空气离子化的离子化装置，利用喷出的工件浮起用的空气对工件上的静电进行除静电。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：宫地博，西川武志，铃木智，
申请(专利权)人：SMC株式会社，
类型：发明
国别省市：JP[日本]