可消除静电的基板载具制造技术

一种用来承载一基板的载具包括：一支撑模块，其具有至少一接触区域与该基板接触，用来提供该基板一支撑力以承载该基板；以及一导电媒介，电连接至该接触区域与一电压准位，以消除该接触区域与该基板之间的静电。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种承载基板的载具，特别是涉及一种可消除静电的基板载具。
技术介绍
在半导体工艺之中，每一片基板(或晶片)都会经过数道不同的工艺，以制作出各式各样的电子产品。举例来说，以液晶显示器(liquid crystal display，LCD)的制作而言，玻璃基板亦需要经过曝光、显影、沉积等等繁杂的流程，而这些繁杂的工艺步骤必须仰赖不同的机器完成之，因此，玻璃基板在制作的过程中，必须依据所进行的工艺，移动到不同的机器来进行不同的工艺步骤。然而，玻璃基板放在无尘室中会产生带电不良的情形，尤其在传送的过程中，不论玻璃基板是放置于卡匣(cassette)中、移动的运送装置上(譬如真空机械人)，或是正在作业的机器中，玻璃基板皆会与周遭的环境产生摩擦，而产生静电放电(electrostatic discharge，ESD)效应。在某些特定的机器，譬如ULVAC PVD机器，是先利用真空机械人手臂将玻璃基板传送至溅射室(sputter chamber)，之后再进行物理气相沉积，并于玻璃基板表面生成半导体以及保护层的薄膜。请参阅图1，图1为现有机械人手臂(robot forklift)1本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用来承载基板的载具，其包括：支撑模块，其具有至少一接触区域与该基板接触，用来提供该基板支撑力以承载该基板；以及导电媒介，电连接至该接触区域与电压准位，以经由该电压准位消除该接触区域与该基板之间的静电。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：刘懿承，王信雄，黄铭岗，
申请(专利权)人：中华映管股份有限公司，
类型：发明
国别省市：71[中国|台湾]