下载可消除静电的基板载具的技术资料

文档序号:3716228

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一种用来承载一基板的载具包括:一支撑模块,其具有至少一接触区域与该基板接触,用来提供该基板一支撑力以承载该基板;以及一导电媒介,电连接至该接触区域与一电压准位,以消除该接触区域与该基板之间的静电。...
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