一种合金靶材表面加工用夹具制造技术

本发明专利技术公开了一种合金靶材表面加工用夹具，涉及夹具技术领域，其技术方案要点包括：操作架上固定连接有承重板；合金靶材，设置于操作架上，且不与操作架接触；第一夹持件，与合金靶材相接触，且第一夹持件相对的一侧设置有第二夹持件，所述第二夹持件与合金靶材相接触；第一侧板，与承重板固定连接，所述第一侧板上设置有电机。一种合金靶材表面加工用夹具，效果是，起到了对合金靶材夹持的作用，还避免了在擦拭过程中反面的烦恼，进一步增加了便捷性，并且在一定程度上提升了生产效率，以及通过在升降装置上设置的和活动的第二擦拭件起到了在配合第一擦拭件对合金靶材进行擦拭功能外，还起到对合金靶材上料的作用。还起到对合金靶材上料的作用。还起到对合金靶材上料的作用。

【技术实现步骤摘要】
一种合金靶材表面加工用夹具


[0001]本专利技术涉及夹具
，更具体地说，它涉及一种合金靶材表面加工用夹具。

技术介绍

[0002]靶材就是高速荷能粒子轰击的目标材料，通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在靶材上形成各种功能薄膜。
[0003]合金靶材架加工时，为了做到金属至纯，避免杂质混入其中，通常会通过人工来将合金靶材进行擦拭。
[0004]目前，现有的相关技术方案中，在人工对合金靶材进行擦拭时，通常是一人擦拭一个合金靶材，且为了合金靶材的质量，通常一个合金靶材擦拭需要耗费较长的时间，由此存在劳动力需求大，且合金靶材整体为圆形板状物，所以在人工擦拭完一面后，需将其翻面，擦拭林另一面，由此存在效率低下的问题，还由于人工操作存在个体差异性，所以在对合金靶材擦拭过程中，有可能存在个别擦拭不全面，导致后期生产出来的芯片出现短路甚至是断路的问题，从而加大了合金靶材的耗材。

技术实现思路

[0005]针对现有技术存在的不足，本专利技术的目的在于提供一种合金靶材表面加工用夹具。
[0006]为实现上述目的，本专利技术提供了如下技术方案，包括：
[0007]操作架；
[0008]承重板，与操作架固定连接；
[0009]合金靶材，设置于操作架上，且不与操作架接触；
[0010]第一夹持件，与合金靶材相接触，且第一夹持件相对的一侧设置有第二夹持件，所述第二夹持件与合金靶材相接触；
[0011]第一侧板，与承重板固定连接，所述第一侧板上设置有电机，所述电机上固定连接有安装板，安装板与第一侧板固定连接，所述电机输出轴上固定连接有转动杆，所述转动杆的外部与第一侧板转动连接，所述电机用于驱动转动杆转动；
[0012]第一置物板，与第一侧板固定连接，所述第一置物板上固定有第一固定桩，所述第一固定桩的内部转动连接有第一固定杆，且第一固定杆与第一夹持件固定连接，第一固定杆上还固定连接有第一传送轮，转动杆上固定连接有第二传送轮，所述第一传送轮和第二传送轮之间通过第一皮带传动连接；
[0013]功能杆，与操作架固定连接，所述功能杆与转动杆之间固定连接有连接筒，所述功能杆通过电机输出轴驱动转动杆转动，使与转动杆连接的连接筒带动功能杆转动，所述功能杆上或活动连接有第二侧板，第二侧板与操作架固定连接，所述第二侧板用于支撑功能杆；
[0014]第二置物板，与第二侧板固定连接，所述第二置物板上固定有第二固定桩，所述第
二固定桩的内部转动连接有第二固定杆，所述第二固定杆与第二夹持件固定连接，所述第二固定杆上固定连接有第三传送轮，所述功能杆上滑动连接有第四传送轮，第三传送轮和第四传送轮之间传动连接有第二皮带；
[0015]连接轴，设置于第二侧板以及第四传送轮之间，所述连接轴与功能杆为活动连接；
[0016]伸缩杆，分别与第二侧板以及操作架固定连接，所述伸缩杆用于驱动第一侧板进行直线性往复运动；
[0017]滑板，与操作架固定连接，所述第二置物板与滑板为滑动连接。
[0018]优选地，所述承重板上固定连接有直角板，所述直角板上固定连接有圆盘，所述圆盘上固定连接有第一擦拭件，所述第一擦拭件用于对合金靶材的表面进行擦拭。
[0019]所述承重板上固定连接有升降装置，所述升降装置上固定连接有第二擦拭件，所述第二擦拭件用于对合金靶材上料，以及配合第一擦拭件对合金靶材进行擦拭。
[0020]所述第二置物板上固定连接有三角件，所述三角件上固定连接有定位块，所述定位块与第四传送轮接触，并与其滑动连接，所述三角件和定位块用于提升第四传送轮位置的稳定性使其始终与第三传送轮呈同一直线上。
[0021]通过所述伸缩杆伸展，使伸缩杆驱动第二侧板带动第二置物板通过滑板的辅助呈直线性运动，同时使第二侧板上的第二固定桩、第二固定杆、第三输送轮以及第二夹持件也随之进行直线性运动向合金靶材靠近并与合金靶材接触，同时通过连接轴与第二侧板连接的第四传送轮也随第二侧板的移动而在功能杆上滑动，使第二夹持件向第一夹持件靠近，从而对合金靶材夹持。
[0022]通过所述电机驱动转动杆转动，使与转动杆固定连接的第一输送轮通过第一皮带驱动第二输送轮转动，使第二输送轮上的第一固定杆带动第一夹持件转动，同时通过连接筒连接的功能杆也随之带动第传送轮转动，使通过第二皮带连接的第三传送轮驱动第二固定杆以及第二夹持件转动，使第一夹持件以及第二夹持件之间的板材随之转动。
[0023]所述第一夹持件、第一固定杆、第一固定柱、第一传送轮和第一皮带均为同心设置，所述第二夹持件、第二固定杆、第二固定柱、第三传送轮和第二皮带均为同心设置。
[0024]与现有技术相比，本专利技术具备以下有益效果：
[0025]1、一种合金靶材表面加工用夹具，通过设置的可移动的二夹持件以及配合第一夹持件将合金靶材进行夹持后，使用电机驱动转动杆、连接筒以及功能杆转动，使第一传送轮通过第一皮带驱动第二传送轮转动，同时使第四传送轮通过第二皮带驱动第三传送轮转动，使与第一传送轮连接的第一固定杆，以及与第三传送轮连接的第二固定杆分别带动第一夹持件和第二夹持件带动合金靶材进行转动，从而起到了对合金靶材夹持的作用，还避免了在擦拭过程中反面的烦恼，进一步增加了便捷性，并且在一定程度上提升了生产效率。
[0026]2、一种合金靶材表面加工用夹具，通过在升降装置上设置的和活动的第二擦拭件起到了在配合第二擦拭件对合金靶材进行擦拭功能外，还起到对合金靶材上料的作用。
附图说明
[0027]图1为本专利技术一种合金靶材表面加工用夹具中滑板的结构示意图；
[0028]图2为本专利技术一种合金靶材表面加工用夹具中直角板的结构示意图；
[0029]图3为本专利技术一种合金靶材表面加工用夹具中第一擦拭件的结构示意图；
[0030]图4为本专利技术一种合金靶材表面加工用夹具中三角件的结构示意图；
[0031]图5为本专利技术一种合金靶材表面加工用夹具中功能杆的结构示意图；
[0032]图6为本专利技术一种合金靶材表面加工用夹具中第一夹持件的结构示意图；
[0033]图7为本专利技术一种合金靶材表面加工用夹具中操作架的结构示意图。
[0034]1、操作架；2、承重板；3、合金靶材；4、第一夹持件；5、第二夹持件；6、第一侧板；7、电机；8、安装板；9、转动杆；10、第一置物板；11、第一固定桩；12、第一固定杆；13、第一传送轮；14、第二传送轮；15、第一皮带；16、功能杆；17、连接筒；18、第二侧板；19、第二置物板；20、第二固定桩；21、第二固定杆；22、第三传送轮；23、第四传送轮；24、第二皮带；25、连接轴；26、伸缩杆；27、滑板；28、直角板；29、圆盘；30、第一擦拭件；31、升降装置；32、第二擦拭件；33、三角件；34、定位块。
具体实施方式
[0035]参照图1至图7对本专利技术一种合金靶材表面加工用夹具实施例做进一步说明。本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种合金靶材表面加工用夹具，其特征在于，包括：操作架(1)；承重板(2)，与操作架(1)固定连接；合金靶材(3)，设置于操作架(1)上，且不与操作架(1)接触；第一夹持件(4)，与合金靶材(3)相接触，且第一夹持件(4)相对的一侧设置有第二夹持件(5)，所述第二夹持件(5)与合金靶材(3)相接触；第一侧板(6)，与承重板(2)固定连接，所述第一侧板(6)上设置有电机(7)，所述电机(7)上固定连接有安装板(8)，安装板(8)与第一侧板(6)固定连接，所述电机(7)输出轴上固定连接有转动杆(9)，所述转动杆(9)的外部与第一侧板(6)转动连接，所述电机(7)用于驱动转动杆(9)转动；第一置物板(10)，与第一侧板(6)固定连接，所述第一置物板(10)上固定有第一固定桩(11)，所述第一固定桩(11)的内部转动连接有第一固定杆(12)，且第一固定杆(12)与第一夹持件(4)固定连接，第一固定杆(12)上还固定连接有第一传送轮(13)，转动杆(9)上固定连接有第二传送轮(14)，所述第一传送轮(13)和第二传送轮(14)之间通过第一皮带(15)传动连接；功能杆(16)，与操作架(1)固定连接，所述功能杆(16)与转动杆(9)之间固定连接有连接筒(17)，所述功能杆(16)通过电机(7)输出轴驱动转动杆(9)转动，使与转动杆(9)连接的连接筒(17)带动功能杆(16)转动，所述功能杆(16)上或活动连接有第二侧板(18)，第二侧板(18)与操作架(1)固定连接，所述第二侧板(18)用于支撑功能杆(16)；第二置物板(19)，与第二侧板(18)固定连接，所述第二置物板(19)上固定有第二固定桩(20)，所述第二固定桩(20)的内部转动连接有第二固定杆(21)，所述第二固定杆(21)与第二夹持件(5)固定连接，所述第二固定杆(21)上固定连接有第三传送轮(22)，所述功能杆(16)上滑动连接有第四传送轮(23)，第三传送轮(22)和第四传送轮(23)之间传动连接有第二皮带(24)；连接轴(25)，设置于第二侧板(18)以及第四传送轮(23)之间，所述连接轴(25)与功能杆(16)为活动连接；伸缩杆(26)，分别与第二侧板(18)以及操作架(1)固定连接，所述伸缩杆(26)用于驱动第一侧板(6)进行直线性往复运动；滑板(27)，与操作架(1)固定连接，所述第二置物板(19)与滑板(27)为滑动连接。2.根据权利要求1所述的合金靶材表面加工用夹具，其特征在于，所述承重板(2)上固定连接有直角板(28)，所述直角板(28)上固定连接有圆盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：孔伟华，
申请(专利权)人：江苏迪丞光电材料有限公司，
类型：发明
国别省市：