金属线及其制作方法技术

本申请提供一种金属线及其制作方法。所述金属线的制作方法包括：在衬底上形成金属条块；在金属条块的上方形成掩模，所述掩模的宽度小于所述金属条块的宽度，且所述掩模在所述衬底上的正投影位于所述金属条块在所述衬底上的正投影内；在所述掩模的保护下，湿法刻蚀所述金属条块至饱和状态，以形成金属线，所述金属线的宽度小于所述掩模的宽度。上述制作方法可形成高厚度、窄线宽的金属线。窄线宽的金属线。窄线宽的金属线。窄线宽的金属线。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：陈江博，于海，孙拓，张硕，李泽源，梁魁，孟凡理，李延钊，
申请(专利权)人：北京京东方技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：