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本申请提供一种金属线及其制作方法。所述金属线的制作方法包括:在衬底上形成金属条块;在金属条块的上方形成掩模,所述掩模的宽度小于所述金属条块的宽度,且所述掩模在所述衬底上的正投影位于所述金属条块在所述衬底上的正投影内;在所述掩模的保护下,湿法...该专利属于北京京东方技术开发有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京京东方技术开发有限公司授权不得商用。
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本申请提供一种金属线及其制作方法。所述金属线的制作方法包括:在衬底上形成金属条块;在金属条块的上方形成掩模,所述掩模的宽度小于所述金属条块的宽度,且所述掩模在所述衬底上的正投影位于所述金属条块在所述衬底上的正投影内;在所述掩模的保护下,湿法...