【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种石墨梯度发热器，特别是多晶硅熔炼提纯设备中的石 墨电阻发热器。技术背景多晶硅的提纯是通过原料硅在坩埚内高温熔炼、然后降温，使融熔的硅液冷却凝固；根据分凝系数原理，在降温阶段，控制温度沿晶体生长方 向呈梯度变化，使硅液自下至上逐步凝固成锭，实现定向的晶体生长和凝 固过程，多晶硅中的杂质主要浓集在铸锭的尾端，切割后得到高纯度的多 晶硅。当然，根据纯度要求，可采用多次熔炼、梯度凝固、切割操作，得 到高纯度多晶硅。因此，熔融液的定向连续地梯度凝固效果，关系到多晶 硅的纯度和收率。目前，多晶硅定向凝固多通过升降机构，采用保温材料的定向缓慢移 动，依靠热量的散失来实现温度的梯度分布，这是在很多行业采用的动态 方法。在保温材料移动过程中，保温材料制作要非常精确，移动速度需要 非常稳定，对相关的制作工艺和控制技术要求非常高。因为保温材料主要 造成的是两个截然不同的环境条件，虽然在大的趋势上，存在一个温度梯 度分布，但在整个工艺过程中的温度分布曲线是严重不平滑的。而且保温 材料在移动过程中，难免会造成设备的轻微振动，严重影响晶体的定向生 长或凝固效果，使得该...
【技术保护点】
石墨梯度发热器，其特征在于，含有石墨本体，该石墨本体是一个纵向开口的非闭合环状体，且环状石墨的壁厚呈轴向梯度减小；环状石墨体分布有互相平行的轴向切割缝隙，各切割缝隙交错地以环状石墨体的上端或下端为切口的始端并向另一端延伸一定距离，石墨体形成连续的环形布置的石墨条，以相邻于纵向开口的两侧石墨条的端部为连接电源的电极端，组成完整的电流回路。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：陈评，罗建平，
申请(专利权)人：陈评，罗建平，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]
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