示教设备和使用该示教设备的基板对准设备制造技术

一种示教设备包括：腔室；在腔室中的静电卡盘，该静电卡盘包括围绕装载区域的侧壁；对准器，其被配置为被装载到静电卡盘的装载区域上；视觉传感器，其被配置为通过测量对准器与静电卡盘的侧壁之间的分离区域的分离距离来获得测量数据并发送该测量数据；传送机器人，其被配置为将对准器装载到装载区域的参考位置上并将视觉传感器定位在静电卡盘上方；以及控制器，其被配置为基于从视觉传感器发送的测量数据重置参考位置并使分离距离相等。量数据重置参考位置并使分离距离相等。量数据重置参考位置并使分离距离相等。

【技术实现步骤摘要】
示教设备和使用该示教设备的基板对准设备
[0001]相关申请的交叉引用
[0002]本申请要求2021年8月27日提交于韩国知识产权局的韩国专利申请No.10
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2021
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0114082的权益，其完整公开出于所有目的以引用方式并入本文。


[0003]本专利技术构思涉及一种示教设备和使用该示教设备的基板对准设备。

技术介绍

[0004]由于半导体装置的诸如与小型化、多功能和/或低制造成本有关的特性，半导体装置广泛用在电子行业中。半导体装置可通过诸如光刻工艺、蚀刻工艺、沉积工艺、离子注入工艺和清洁工艺的各种制造工艺来制造。
[0005]这些制造工艺可通过将基板设置在工艺腔室中来执行。然而，在准备工艺腔室的过程中(例如，在执行制造工艺之前)工艺腔室内的部件的位置可能改变。部件位置的变化可能影响制造工艺的工艺条件。因此，正在进行各种研究以用于精确地检查工艺腔室中的部件的微小位置改变并反映检查结果，以便将基板安装在工艺腔室中的目标位置处。

技术实现思路

[0006]一些示例实施例提供了一种示教设备，其被配置为通过反映工艺腔室中零件的位置的微小改变来重新调节传送机器人的参考位置。
[0007]一些示例实施例提供了一种基板对准设备，其被配置为将基板安置在工艺腔室中的目标位置。
[0008]根据一些示例实施例，一种示教设备包括：腔室；在腔室中的静电卡盘，该静电卡盘包括围绕装载区域的侧壁；对准器，其被配置为被装载到静电卡盘的装载区域上；视觉传感器，其被配置为通过测量对准器与静电卡盘的侧壁之间的多个分离区域的多个分离距离来获得测量数据并发送该测量数据；传送机器人，其被配置为将对准器装载到装载区域的参考位置上并将视觉传感器定位在静电卡盘上方；以及控制器，其被配置为基于从视觉传感器发送的测量数据重置参考位置并使各分离距离相等。
[0009]根据一些示例实施例，一种示教设备包括：基板支撑组件，该基板支撑组件包括围绕装载区域的侧壁；对准器，其被配置为被装载到装载区域上；视觉传感器，其被配置为通过测量对准器与基板支撑组件的侧壁之间的分离距离来获得测量数据并发送该测量数据；传送机器人，其被配置为将对准器装载到装载区域中并将视觉传感器定位在装载区域上方；以及控制器，其被配置为基于从视觉传感器发送的测量数据校正传送机器人的参考位置。
[0010]根据示例实施例，一种基板对准设备包括：包括内部空间的腔室，该腔室被配置为处理内部空间中的基板；在内部空间中的基板支撑组件，该基板支撑组件包括围绕装载区域的侧壁；对准器，其被配置为被装载到装载区域上；视觉传感器，其被配置为通过测量对
准器和侧壁之间的分离距离来获得测量数据并发送该测量数据；传送机器人，其被配置为将对准器、视觉传感器和基板装载到内部空间中以及从内部空间卸载；以及控制器，其被配置为通过基于从视觉传感器发送的测量数据示教传送机器人来校正用于将基板装载到装载区域中的参考位置。
附图说明
[0011]本专利技术构思的以上和其它方面、特征和优点将从以下结合附图进行的详细描述更清楚地理解，在附图中：
[0012]图1是根据一些示例实施例的示教设备的示意性侧视图；
[0013]图2是在图1的方向I上看时视觉传感器被装载在图1的传送装置中的平面图；
[0014]图3是图2的视觉传感器的正视图；
[0015]图4是图2的视觉传感器的后视图；
[0016]图5是沿着图3的线II
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II'截取的截面图；
[0017]图6提供图3的电路单元和图2的控制单元的概念图；
[0018]图7A至图7C示出图1的对准器的一些示例实施例；
[0019]图8是示出图像扫描模块的操作的概念图；
[0020]图9是示出视觉传感器获取目标的目标图像的方法的概念图；
[0021]图10是图9中的视觉传感器所获取的目标图像；
[0022]图11是示出根据示例实施例的使用基板对准设备将基板对准的工艺的流程图；
[0023]图12是详细示出图11的操作S40和S50的流程图；
[0024]图13是示出在其中采用了图1的示教设备的基板对准设备的示例的示意性侧视图；
[0025]图14至图19是示出通过图13的基板对准设备将基板对准的工艺的示意性平面图。
具体实施方式
[0026]以下，将参照附图描述一些示例实施例，其中，相似的标号始终表示相似的元件。
[0027]当在本说明书中结合数值使用术语“约”或“基本上”时，其意指的是，关联的数值包括所述数值左右的制造或操作公差(例如，
±
10％)。此外，当结合几何形状使用“基本上”时，旨在不要求几何形状的精度，但该形状的自由度在本公开的范围内。此外，不管数值或形状是否以“约”或“基本上”修饰，将理解，这些值和形状应该被解释为包括所述数值或形状左右的制造或操作公差(例如，
±
10％)。
[0028]图1是根据一些示例实施例的示教设备的示意性侧视图，图2是在图1的方向I上看时视觉传感器被装载在图1的传送设备中的平面图。图3是图2的视觉传感器的正视图，图4是图2的视觉传感器的后视图。图5是沿着图3的线II
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II'截取的截面图，图6提供图3的电路单元和图2的控制单元的概念图。图7A至图7C示出图1的对准器20的各种实施例。在图3中，省略了图5所示的盖构件500的例示。
[0029]参照图1，根据一些示例实施例的示教设备1可包括静电卡盘970、传送机器人950、对准器20、视觉传感器10和控制单元800。如下面将描述的，对准器20可被装载到静电卡盘970上。视觉传感器10可被配置为设置在装载在静电卡盘970上的对准器20上方，并且可通
过视觉传感器10测量静电卡盘970的侧壁与对准器20的边缘之间的分离距离。如下面将描述的，可基于所测量的分离距离来校正传送机器人950的操作，因此，传送机器人950可例如在后续工艺中使得半导体基板能够设置在静电卡盘970的目标位置上。
[0030]静电卡盘970可包括用作下电极的基体972、附接到基体972的上表面并且在其中包括电极的板974、围绕板974的外周表面的边缘环975、设置在边缘环975上的聚焦环976以及围绕聚焦环976的绝缘环977。
[0031]板974包括可安置对准器20的装载区域LA。装载区域LA可例如在板的上表面上，并且板974的装载区域LA可形成为具有圆形形状。板974的上部974A和下部974B的形状可彼此不同。例如，板974的下部974B的直径可大于上部974A的直径。在这种情况下，板974的侧表面可具有阶梯差。然而，示例实施例不限于此，例如，板974的上部974A和下部974B的直径可相同。
[0032]聚焦环976可具有围绕板974的上部974A的环形状。聚焦环976的一部分可围绕设置有对准器20的板974的上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种示教设备，包括：腔室；在所述腔室中的静电卡盘，所述静电卡盘包括围绕装载区域的侧壁；对准器，其被配置为被装载到所述静电卡盘的所述装载区域上；视觉传感器，其被配置为通过测量所述对准器与所述静电卡盘的侧壁之间的分离区域的分离距离来获得测量数据并发送所述测量数据；传送机器人，其被配置为将所述对准器装载到所述装载区域的参考位置上并将所述视觉传感器定位在所述静电卡盘上方；以及控制器，其被配置为基于从所述视觉传感器发送的测量数据重置所述参考位置并使所述分离距离相等。2.根据权利要求1所述的示教设备，其中，所述视觉传感器还被配置为分别将图案投影到所述分离区域，基于所投影的图案获取目标图像，并且基于所述目标图像计算所述分离距离。3.根据权利要求2所述的示教设备，其中，所述视觉传感器包括：支撑构件；在支撑构件上的多个图像扫描组件，所述多个图像扫描组件被配置为获取所述目标图像；以及在所述支撑构件上的控制系统。4.根据权利要求3所述的示教设备，其中，所述控制系统包括：处理器，其被配置为从所述多个图像扫描组件接收所述目标图像并且基于所述目标图像生成所述测量数据；以及无线通信接口，其被配置为将所述处理器所生成的测量数据发送至所述控制器。5.根据权利要求3所述的示教设备，其中，所述多个图像扫描组件各自包括：第一照明器，其被配置为将所述图案投影到目标上；以及相机，其被配置为通过扫描其上投影有所述图案的目标来获取所述目标图像。6.根据权利要求5所述的示教设备，其中，所述第一照明器包括：激光源，其被配置为发射激光；以及光学构件，其被配置为控制所述激光的光路，并且其中，通过所述激光将所述图案投影到所述目标上。7.根据权利要求3所述的示教设备，还包括：第二照明器，其被配置为将光照射到目标上。8.根据权利要求1所述的示教设备，其中，所述对准器具有晶圆形状。9.根据权利要求8所述的示教设备，其中，所述对准器的上表面被喷砂处理。10.根据权利要求8所述的示教设备，其中，所述对准器的上表面包括标记，并且所述标记具有比所述上表面的反射率更低的反射率。11.根据权利要求1所述的示教设备，其中，所述控制器还被配置为基于从所述视觉传感器发送的测量数据计算偏移值，并且其中，所述传送机器人的所述参考位置的重置基于所述偏移值。
12.一种示...

【专利技术属性】
技术研发人员：李镐铉，李泰衡，宋钟民，尹镛，崔载武，
申请(专利权)人：三星电子株式会社，
类型：发明
国别省市：