一种用于石英产品的自动退火装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种用于石英产品的自动退火装置，包括退火炉、退火炉门、定位小车、直线模组、石墨板、石英退火板和退火板挂钩；一种用于石英产品的自动退火方法，包括用于石英产品的自动退火装置，还包括以下步骤：1)操作人员将石英产品放置石英退火板上，将石英产品和石英退火板整体放置在定位小车的石墨板上，按下启动开关，定位小车与退火炉门通过感应开关关联，前进至指定位置；2)直线模组上的退火板挂钩勾住石英退火板。该用于石英产品的自动退火装置及方法，采用定位小车，弯钩推拉方式实现自动退火，无需人工在高温环境下拿取产品，降低操作人员的劳动强度，提高安全，自动化程度高，降低生产工时，提高效率。提高效率。提高效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于石英产品的自动退火装置及方法


[0001]本专利技术涉及半导体加工设备
，具体为一种用于石英产品的自动退火装置及方法。

技术介绍

[0002]石英材料及制品广泛应用于半导体芯片制程中，是半导体蚀刻、扩散、氧化等工序所需的承载器件与腔体耗材。
[0003]目前石英腔体采用切割后的石英板材组立后焊接，用高温火焰(3000度以上的氢氧火焰)加热使石英玻璃焊棒和需要焊接的石英板两端同时熔融，石英玻璃焊棒填充焊缝，使焊接部位达到粘连，焊完后退火，退火主要用于去除应力，但退火对操作人员的要求比较高，尤其有一定的安全隐患，员工在操作时需要配戴防火罩等，拿取全凭借人力，作业环境高温，且需人工根据定时器拿取，生产效率低。

技术实现思路

[0004](一)解决的技术问题
[0005]针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种用于石英产品的自动退火装置及方法，具备减少人员安全隐患、提升效率的优点，解决了退火操作需要人为操作，人员操作时需要配戴安全防护用具，在退火炉前用，作业环境高温，且需人工根据定时器拿取，生产效率低的问题本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于石英产品的自动退火装置，包括退火炉(1)、退火炉门(2)、定位小车(4)、直线模组(5)、石墨板(6)、石英退火板(7)和退火板挂钩(9)，其特征在于：所述退火炉(1)位于定位小车(4)的右侧，所述退火炉(1)的左侧滑动连接有退火炉门(2)，所述定位小车(4)的顶部装配有直线模组(5)，所述定位小车(4)的顶部还装配有位于直线模组(5)右侧的石墨板(6)，所述石墨板(6)上放置有石英退火板(7)，所述直线模组(5)的右侧转动连接有退火板挂钩(9)。2.根据权利要求1所述的一种用于石英产品的自动退火装置，其特征在于：所述退火炉(1)的顶部左侧装配有报警器(3)。3.根据权利要求1所述的一种用于石英产品的自动退火装置，其特征在于：所述直线模组(5)可为电推杆，其中退火板挂钩(9)装配于电推杆的活塞端部，所述电推杆活塞端固定有耐热电机，耐热电机的输出轴与退火板挂钩(9)固定。4.根据权利要求1所述的一种用于石英产品的自动退火装置，其特征在于：所述石英退火板(7)上设置有退火板把手(10)，所述退火板挂钩(9)可与退火板把手(10)挂接。5.根据权利要求1所述的一种用于石英产品的自动退火装置，其特征在于：所述石英退火板(7)上可放置石英产品(8)。6.根据权利要求1所述的一种用于石英产品的自动退火装置，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：邹琴，陈海源，杨军，张月清，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：