【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及石英基板涂蜡，具体为一种石英基板全自动涂蜡工艺及其装置。
技术介绍
1、石英基板是光掩膜的核心材料之一，是一种以石英为主要成分的材料，具有高透光率、低热膨胀系数和高平整度等特性，广泛应用于电子信息、航空航天、新能源等领域，在石英基板生产加工的过程中，会对其进行涂蜡，而涂蜡可在石英基板的外部形成一层保护膜，可对石英基板进行有效的保护；
2、但结合现有方案以及实际生产加工的使用，目前是通过人工对石英基板进行涂蜡，人工操作周期长，会导致涂蜡厚度不一致以及高温环境下重复操作易导致工人疲劳，存在烫伤风险等问题，同时对石英基板进行涂蜡需要一块一块进行操作，会导致涂蜡的效率低下等问题，因此，我们提出一种石英基板全自动涂蜡工艺及其装置，以便于解决上述中提出的问题。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种石英基板全自动涂蜡工艺及其装置，以解决上述
技术介绍
提出的石英基板全自动涂蜡工艺及其装置，结合现有方案以及实际生产加工的使用，目前是通过人工对石英基板进行涂蜡，人工操作周期长...
【技术保护点】
1.一种石英基板全自动涂蜡装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种石英基板全自动涂蜡装置，其特征在于：所述机床(1)的上侧后方设置的自动化加工机构包括支撑板(9)、电动伸缩杆(10)、移动夹爪(11)、固定槽(12)、固定夹爪(13)和机械臂(25)，所述机床(1)的上侧设置有支撑板(9)，且支撑板(9)的下方内部开设有固定槽(12)，并且固定槽(12)的内部滑动设置有移动夹爪(11)，而且移动夹爪(11)的外部左侧固定连接有电动伸缩杆(10)，所述电动伸缩杆(10)的左侧固定连接有支撑板(9)，且移动夹爪(11)的右侧设置有固定夹爪(13)，并且固定夹...
【技术特征摘要】
1.一种石英基板全自动涂蜡装置，包括：
2.根据权利要求1所述的一种石英基板全自动涂蜡装置，其特征在于：所述机床(1)的上侧后方设置的自动化加工机构包括支撑板(9)、电动伸缩杆(10)、移动夹爪(11)、固定槽(12)、固定夹爪(13)和机械臂(25)，所述机床(1)的上侧设置有支撑板(9)，且支撑板(9)的下方内部开设有固定槽(12)，并且固定槽(12)的内部滑动设置有移动夹爪(11)，而且移动夹爪(11)的外部左侧固定连接有电动伸缩杆(10)，所述电动伸缩杆(10)的左侧固定连接有支撑板(9)，且移动夹爪(11)的右侧设置有固定夹爪(13)，并且固定夹爪(13)的上侧固定连接有支撑板(9)，而且支撑板(9)的上方右侧固定连接有机械臂(25)。
3.根据权利要求1所述的一种石英基板全自动涂蜡装置，其特征在于：所述机床(1)的上侧设置的多工件同时加工机构包括电热丝(2)、加热平台(3)、加热腔(4)和基板本体(5)，所述机床(1)的上方设置有加热平台(3)，且加热平台(3)的内部阵列式设置有加热腔(4)，并且加热腔(4)的内部放置有基板本体(5)。
4.根据权利要求1或3所述的一种石英基板全自动涂蜡装置，其特征在于：所述机床(1)的上方右侧前后对称固定安装有限位块(6)，且限位块(6)的左侧紧密贴合有加热平台(3)，并且加热平台(3)的左侧紧密贴合有限位板(7)，而且限位板(7)的下方等...
【专利技术属性】
技术研发人员：季顺成，陈海源，杨军，张月清，
申请(专利权)人：江苏富乐德石英科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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