一种MBE源铝棒制备装置以及制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种MBE源铝棒制备装置以及制备方法，该MBE源铝棒制备装置包括石墨模具及熔铸装置，石墨模具包括装料腔以及成型腔，装料腔与成型腔连通，装料腔在石墨模具的顶部形成加料口；熔铸装置包括加热器及可抽真空的模具容器，模具容器与加热器可相互分离设置，加热器具有多个可独立控温的加热分区，至少一个加热分区与石墨模具的装料腔对应设置，其余加热分区与石墨模具的成型腔对应设置；上述MBE源铝棒制备装置通过具有多个独立控温的加热分区的加热器可以对石墨模具进行预热、保温，可以大大降低熔铸过程中铝与石墨模具的相互影响，简化铝棒制备前对石墨模具的处理步骤，节省时间，提高效率，并延长石墨模具的使用寿命。命。命。

【技术实现步骤摘要】
一种MBE源铝棒制备装置以及制备方法


[0001]本专利技术涉及MBE源铝棒制造
，特别涉及一种MBE源铝棒制备装置以及制备方法。

技术介绍

[0002]铝(Aluminium)是一种银白色轻金属。6.5N以上的铝主要用分子束外延生长技术(MBE)，而该技术需要棒状铝作为原料；
[0003]目前高纯铝棒的主要制备方法是以石墨为模具，将物料放入模具，然后熔铸成型。铝棒制备的难点是：制棒后如何顺利脱模，以及做到铝棒表面无缺陷；
[0004]中国专利技术专利CN113618022A提供的一种铝棒制备工艺，利用石英管真空熔铸制棒。该工艺每次制棒石墨模具都需要经过打磨、水淬、氢化，熏碳等处理工艺，并且石墨模具制备铝棒后，内表面会出现缺陷，需要打磨处理，模具尺寸会发生改变，重复使用3次左右，模具尺寸即会超过公差范围，进而导致模具报废，因此上述铝棒制备工艺存在步骤繁琐，单次工艺时间长，设备效率低，费用高等缺点。

技术实现思路

[0005]本专利技术的第一个目的在于提供一种MBE源铝棒制备装置，以简化MBE源铝棒制备步骤，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种MBE源铝棒制备装置，其特征在于，包括：石墨模具，所述石墨模具从上至下依次设置装料腔以及成型腔，所述装料腔与所述成型腔连通，所述装料腔在所述石墨模具的顶部形成加料口；熔铸装置，所述熔铸装置包括加热器以及可抽真空的模具容器，所述模具容器与所述加热器可相互分离设置，所述模具容器具有容纳所述石墨模具的容腔，所述加热器具有多个可独立控温的加热分区，至少一个所述加热分区与装入所述模具容器内的所述石墨模具的所述装料腔对应设置，其余所述加热分区与装入所述模具容器内的所述石墨模具的所述成型腔对应设置。2.根据权利要求1所述的MBE源铝棒制备装置，其特征在于，所述模具容器包括石英管以及真空封头，所述真空封头与所述石英管的开口端密封配合以围成所述容腔，所述真空封头设置有用于与抽真空设备连接的真空接口。3.根据权利要求1所述的MBE源铝棒制备装置，其特征在于，还包括升降装置，所述升降装置的升降端与所述模具容器配合以使所述模具容器相对于所述加热器升降。4.根据权利要求3所述的MBE源铝棒制备装置，其特征在于，所述升降装置的升降端设置托板，所述托板设置供所述模具容器通过的通孔，所述模具容器的周向外壁设置环状限位板，所述环状限位板在所述托板的上方与所述托板接触配合。5.根据权利要求1
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4任意一项所述的MBE源铝棒制备装置，其特征在于，所述石墨模具包括多个可拆卸连接的模胚，各所述模胚配合围成所述装料腔以及所述成型腔。6.根据权利要求5所述的MBE源铝棒制备装置，其特征在于，各所述模胚之间通过石墨螺栓可拆卸连接。7.根据权利要求1
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4及6任意一项所述的MBE源铝棒制备装置，其特征在于，所述石墨模具的顶部的周向侧壁设置环状凸起。8.一种MBE源铝棒制备方法，基于如权利要求1
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7任意一项所述的MBE源铝棒制备装置，其特征在于，包括步骤：将铝原料投入所述MBE源铝棒制备装置的石墨模具的装料腔中，并将石墨模具置于所述MBE源铝棒制备装置的熔铸装置的模具容器内；对所述模具容器抽真空至所述模具容器内的压力小于或等于预设压力；...

【专利技术属性】
技术研发人员：李清宇，吴广杰，林世源，黄杰杰，
申请(专利权)人：广东先导微电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：