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本发明涉及一种MBE源铝棒制备装置以及制备方法，该MBE源铝棒制备装置包括石墨模具及熔铸装置，石墨模具包括装料腔以及成型腔，装料腔与成型腔连通，装料腔在石墨模具的顶部形成加料口；熔铸装置包括加热器及可抽真空的模具容器，模具容器与加热器可相互...
该专利属于广东先导微电子科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东先导微电子科技有限公司授权不得商用。

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