一种用于晶圆加工的双机械手装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于晶圆加工的双机械手装置，包括旋转底座，旋转底座上方固定有安装板，安装板上对称安装第一旋转单元和第二旋转单元，每组旋转单元均包括三轴旋转臂、支撑架和承载片，支撑架安装在三轴旋转臂顶部，支撑架端部固定有安装块，且安装块上设有安装槽，承载片固定在安装槽内；所述第一旋转单元的安装块高于第二旋转单元的安装块。本实用新型专利技术的设置了两个独立的旋转单元，其中一个旋转单元取料后，另一个旋转单元马上可以送料，缩短加工工位的闲置时间，提高晶圆加工效率。率。率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆加工的双机械手装置


[0001]本技术涉及晶圆设备
，特别涉及一种用于晶圆加工的双机械手装置。

技术介绍

[0002]在半导体器件的生产过程中，晶圆通常由机械手进行取料、送料等操作，有些加工工位，例如清洗工位、解键合工位等，送料、取料均由同一机械手操作。通常机械手将晶圆送入加工工位内，等完成这一工序后，机械手将加工后的晶圆取出，放入下料盘内，再从上料盘内取出未加工的晶圆，将其送入加工工位内。这一过程中，机械手的搬送效率低，搬送时间长，在取料到送料的间隔时间内，加工工位为闲置状态，造成了晶圆的加工效率低下。

技术实现思路

[0003]为了解决上述问题，本技术提供了一种用于晶圆加工的双机械手装置，可以交替取料、放料，缩短加工工位的闲置时间，提高加工效率。
[0004]为此，本技术的技术方案是：一种用于晶圆加工的双机械手装置，包括旋转底座，旋转底座上方固定有安装板，安装板上对称安装第一旋转单元和第二旋转单元，每组旋转单元均包括三轴旋转臂、支撑架和承载片，支撑架安装在三轴旋转臂顶部，支撑架端部固定有安装块，且安装块本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆加工的双机械手装置，包括旋转底座，旋转底座上方固定有安装板，其特征在于：安装板上对称安装第一旋转单元和第二旋转单元，每组旋转单元均包括三轴旋转臂、支撑架和承载片，支撑架安装在三轴旋转臂顶部，支撑架端部固定有安装块，且安装块上设有安装槽，承载片固定在安装槽内；所述第一旋转单元的安装块高于第二旋转单元的安装块。2.如权利要求1所述的一种用于晶圆加工的双机械手装置，其特征在于：所述第一旋转单元和第二旋转单元上的三轴旋转臂结构相同、高度一致；第一三轴旋转臂顶部转动安装第一支撑底座，第一支撑底座上安装一垫块，第一支撑架安装在垫块上；第二三轴旋转臂顶部转动安装第二支撑底座，第二支撑底座上安装有第二支撑架。3.如权利要求2所述的一种用于晶圆加工的双机械手装置...

【专利技术属性】
技术研发人员：范亚飞，陈志平，王孝军，
申请(专利权)人：允哲半导体科技浙江有限公司，
类型：新型
国别省市：