【技术实现步骤摘要】
MEMS陀螺仪的控制电路、MEMS陀螺仪及控制方法
[0001]本公开涉及一种MEMS陀螺仪的控制电路、涉及一种MEMS陀螺仪、并且涉及一种控制方法。
技术介绍
[0002]使用MEMS(“微机电系统”)技术制造的陀螺仪被形成在一个或多个半导体材料(例如，硅)的管芯中，其中形成了相互耦合的振荡系统、驱动电路和感测电路。
[0003]振荡系统由悬浮在衬底上的一个或多个可移动质量块形成，并且以一个或多个自由度相对于衬底自由振荡。振荡系统还包括：驱动结构，被耦合到驱动电路并被配置为引起一个或多个可移动质量块沿驱动方向振荡；以及感测结构，被耦合到感测电路并被配置为感测一个或多个可移动质量块沿垂直于驱动方向的感测方向的移动。
[0004]在一些MEMS陀螺仪中，驱动和感测可以是基于不同的操作原理，例如，电磁操作原理、压电操作原理或电容操作原理。
[0005]当MEMS陀螺仪绕旋转轴以角速度旋转时，以沿垂直于旋转轴的方向的线速度振荡的可移动质量块受到沿垂直于旋转轴并垂直于线速度方向的方向定向的科里奥利力。>[0006]在使用本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种用于MEMS陀螺仪的控制电路，被配置为从所述MEMS陀螺仪接收具有正交分量和感测分量的测量信号，所述控制电路包括：输入级，被配置为采集输入信号，并且响应于所述输入信号生成采集信号，所述输入信号是所述测量信号和正交抵消信号的函数；处理级，被配置为获得所述采集信号的第一分量，所述第一分量指示所述测量信号的所述感测分量并且具有感测频带；以及正交校正级，被配置为提取所述采集信号的第二分量，并且基于参考信号生成所述正交抵消信号，所述采集信号的所述第二分量指示所述测量信号的所述正交分量，其中所述正交抵消信号是以在所述感测频带之外的更新频率根据所述采集信号的所述第二分量而被调制的信号。2.根据权利要求1所述的控制电路，其中所述正交校正级是Sigma
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Delta调制器。3.根据权利要求1所述的控制电路，其中所述正交校正级包括：滤波级，被配置为对所述采集信号的所述第二分量进行滤波以生成滤波信号；量化器，被配置为接收具有所述更新频率的更新时钟信号，并且基于所述滤波信号生成数字校正信号，所述数字校正信号具有等于所述更新频率的数据速率；以及调制器，被配置为基于所述数字校正信号来调制所述正交抵消信号的幅度或相位中的一者或多者。4.根据权利要求3所述的控制电路，其中所述输入级具有被配置为接收所述测量信号的输入节点，并且其中所述调制器包括第一可变电容器，所述第一可变电容器具有第一端子和第二端子，所述第一端子被耦合到所述输入级的所述输入节点，所述第二端子被配置为接收是所述参考信号的函数的输入电压，所述数字校正信号被配置为修改所述第一可变电容器的电容，以调制所述正交抵消信号的幅度。5.根据权利要求3所述的控制电路，其中所述数字校正信号包括符号信号，所述符号信号指示所述滤波信号的相移符号，并且其中所述调制器还包括相移块，所述相移块被配置为根据所述符号信号来反转所述正交抵消信号的相位。6.根据权利要求3所述的控制电路，其中所述更新时钟信号与所述参考信号的过零同步。7.根据权利要求1所述的控制电路，其中所述参考信号具有第一频率并且所述更新频率等于所述第一频率的大约两倍。8.根据权利要求1所述的控制电路，被配置为从所述MEMS陀螺仪的振荡系统接收所述参考信号，其中所述控制电路还包括驱动模块，所述驱动模块被配置为生成具有第一频率的驱动信号、并且被配置为引起所述振荡系统的驱动振荡，所述参考信号指示所述振荡系统的驱动振荡。9.根据权利要求8所述的控制电路，其中所述驱动模块被配置为生成第一解调信号和第二解调信号，所述第一解调信号具有所述第一频率并且相对于所述参考信号正交，所述第二解调信号具有所述第一频率并且相对于所述参考信号同相，所述处理级被配置为使用
所述第一解调信号来提取所述采集信号的所述第一分量，所述正交校正级被配置为使用所述第二解调信号来提取所述采集信号的所述第二分量。10.根据权利要求4所述的控制电路，其中所述调制器还包括第二可变电容器和寄存器，所述第二可变电容器具有第一端子和第二端...
【专利技术属性】
技术研发人员：A，
申请(专利权)人：意法半导体股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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