惯性传感器以及惯性测量装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中，能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部，在开口部具有：第二可动体，能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动；第二支承梁，作为第二旋转轴来支承第二可动体(38)；第三可动体，能够绕沿着上述第二方向的第三旋转轴摆动；以及第三支承梁，作为上述第三旋转轴来支承上述第三可动体，具有突起，上述突起设置于与第二可动体以及第三可动体对置的面或者第二可动体(38)以及第三可动体，并朝向第二可动体以及第三可动体或者面突出。出。出。

【技术实现步骤摘要】
惯性传感器以及惯性测量装置


[0001]本专利技术涉及惯性传感器以及惯性测量装置。

技术介绍

[0002]近年来，正在开发使用MEMS(Micro Electro Mechanical Systems，微机电系统)技术制造的惯性传感器。作为这样的惯性传感器，例如专利文献1中记载了一种物理量传感器，其具有：支承基板；可动体，其配置在支承基板上，并具有第一、第二质量部，且绕旋转轴进行跷跷板式摆动；以及第一、第二固定电极，其设置在支承基板上，并与第一、第二质量部对置，基于可动体的绕旋转轴的转矩彼此不同的第一、第二质量部与分别配置于第一、第二质量部所对置的位置的第一、第二固定电极之间的静电电容的变化，能够检测铅垂方向的加速度。
[0003]另外，该物理量传感器中，为了防止在可动体过度地进行跷跷板式摆动时，可动体与第一、第二固定电极接触，在支承基板设置有朝向第一、第二质量部突出的突起。
[0004]专利文献1：日本特开2019
‑
45172号公报
[0005]然而，若专利文献1记载的物理量传感器从外部受到较强的振本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种惯性传感器，其特征在于，具备：基板；第一可动体，配置在所述基板上，并能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动；第一支承梁，作为所述第一旋转轴来支承所述第一可动体；以及盖，与所述基板接合，并覆盖所述第一可动体以及所述第一支承梁，所述第一可动体具有开口部，在所述开口部具有：第二可动体，能够绕沿着与所述第一方向交叉的第二方向的第二旋转轴摆动；第二支承梁，连接所述第一可动体与所述第二可动体，并作为所述第二旋转轴来支承所述第二可动体；第三可动体，能够绕沿着所述第二方向的第三旋转轴摆动；以及第三支承梁，连接所述第一可动体与所述第三可动体，并作为所述第三旋转轴来支承所述第三可动体，所述惯性传感器具有突起，所述突起设置于与所述第二可动体及所述第三可动体对置的所述基板或所述盖的面或者所述第二可动体及所述第三可动体，在俯视时，所述突起与所述第二可动体以及所述第三可动体重叠，所述突起朝向所述第二可动体及所述第三可动体或者所述面突出。2.根据权利要求1所述的惯性传感器，其特征在于，所述第二可动体和所述第三可动体以所述第一可动体的沿着所述第二方向的中心线为对称轴而线对称地配置，所述第二可动体的重心比所述中心线接近所述第二支承梁，所述第三可动体的重心比所述中心线接近所述第三支承梁。3.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，所述第二支承梁与所述第二可动体的所述中心线侧的端部一致，所述第三支承梁与所述第三可动体的所述中心线侧的端部一致。4.根据权利要求2所述的惯性传感器，其特征在于，所述第二可动体的所述中心线侧的端部比所述第二支承梁接近所述中心线，所述第三可动体的所述中心线侧的端部比所述第三支承梁接近所述中心线。5.根据权利要求1～4中任一项所述的惯性传感器，其特征在于，所述第二支承梁以及所述第三支承梁的扭转刚度比所述第一支承梁的扭转刚度高。6.根据权利要求1～4中任一项所述的惯性传感器，其特征在于，所述第二可动体的绕所述第二旋转轴的谐振频率为所述第一可动体的绕所述第一旋转轴的谐振频率的2倍以上，所述第三可动体的绕所述第三旋转轴的谐振频率为所述第一可动体的绕所述第一旋转轴的谐振频率的2倍以上。7.根据权利要求1～4中任一项所述的惯性传感器，其特征在于，所述第二可动体以及所述第三可动体的绕所述第二旋转轴或者绕所述第三旋转轴的同相模式下的谐振频率为所述第一可动体的绕所述第一旋转轴的谐振频率的2倍以上。8.根据权利要求1～4中任一项所述的惯性传感器，其特征在于，
所述惯性传感器具备：第...

【专利技术属性】
技术研发人员：泷泽照夫，永田和幸，田中悟，山崎成二，
申请(专利权)人：精工爱普生株式会社，
类型：发明
国别省市：