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惯性传感器以及惯性测量装置制造方法及图纸
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下载惯性传感器以及惯性测量装置的技术资料
文档序号:31787527
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本发明涉及惯性传感器和惯性测量装置。惯性传感器中,能够绕沿着第一方向的第一旋转轴摆动的第一可动体具有开口部,在开口部具有:第二可动体,能够绕沿着第二方向的第二旋转轴摆动;第二支承梁,作为第二旋转轴来支承第二可动体(38);第三可动体,能够绕...
该专利属于精工爱普生株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。
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