一种半导体用湿法剥离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种半导体用湿法剥离装置，包括箱体，所述箱体的内腔设置有剥离机构，剥离机构包括剥离箱，剥离箱靠近箱体内壁的一侧与箱体的内壁固定连接，箱体右侧的顶部固定连接有水泵，水泵的顶部连通有第一连接管，第一连接管远离水泵的一侧延伸至剥离箱的内腔。本实用新型专利技术通过设置箱体、剥离机构、剥离箱、超声波组件、出水管、第三电磁阀、限位壳、限位杆、剥离盒、水泵、第一连接管、第二连接管、第一电磁阀、第二电磁阀、第三连接管、过滤机构、过滤盒、密封板、过滤板、第五连接管、拉环、限位条和四连接管的配合使用，解决了现有的湿法剥离装置在对半导体进行湿法剥离时不能进行资源重复利用的问题。源重复利用的问题。源重复利用的问题。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体用湿法剥离装置


[0001]本技术属于半导体
，尤其涉及一种半导体用湿法剥离装置。

技术介绍

[0002]半导体指常温下导电性能介于导体与绝缘体之间的材料。半导体在集成电路、消费电子、通信系统、光伏发电、照明、大功率电源转换等领域都有应用。
[0003]例如申请号：CN202123456413.5，本技术提供了一种湿法剥离导流机构和湿法剥离装置，涉及半导体
，该湿法剥离导流机构包括导流盘和导流管道，导流盘用于设置在填充有溶解液的液槽中，并位于圆片的一侧，且导流盘上开设有多个导流孔，导流管道与多个导流孔连接，并用于部分伸出液槽，以使圆片和导流盘之间的溶解液经由导流管道排出。在实际进行湿法剥离时，圆片放置在液槽中，同时导流盘设置在圆片的一侧，圆片周围的溶解液朝向导流盘的方向加速流动，使得溶解液与光刻胶的混合溶解速度加快，加快湿法剥离进程，同时由于溶解液的流动有方向性，金属薄膜被剥离后会往导流盘上靠近，不会反向粘至圆片表面，避免造成金属残留缺陷。
[0004]基于上述专利的检索，以及结合现有技术中的设备发现，上述设备在应用时，金属薄膜被剥离后会往导流盘上靠近，不会反向粘至圆片表面，避免造成金属残留缺陷，但是在对半导体进行湿法剥离的时候需要用到的机溶液属于化学品，需要最大程度的进行利用才能保证使用者的经济利用，而且可对环境起到保护作用。
[0005]因此本技术中专利技术了一种半导体用湿法剥离装置，解决了现有的湿法剥离装置在对半导体进行湿法剥离时不能进行资源重复利用的问题。
>
技术实现思路

[0006]针对现有技术存在的问题，本技术提供了一种半导体用湿法剥离装置，具备便于对半导体进行湿法分离的同时进行资源重复利用的优点，解决了现有的湿法剥离装置在对半导体进行湿法剥离时不能进行资源重复利用的问题。
[0007]本技术是这样实现的，一种半导体用湿法剥离装置，包括箱体，所述箱体的内腔设置有剥离机构，所述剥离机构包括剥离箱，所述剥离箱靠近箱体内壁的一侧与箱体的内壁固定连接，所述箱体右侧的顶部固定连接有水泵，所述水泵的顶部连通有第一连接管，所述第一连接管远离水泵的一侧延伸至剥离箱的内腔，所述水泵的底部连通有第二连接管，所述第二连接管的表面套设有第一电磁阀，所述第二连接管的后侧连通有第三连接管，所述第三连接管的表面套设有第二电磁阀，所述第三连接管的底部连通有第四连接管，所述箱体内腔的底部设置有过滤机构。
[0008]作为本技术优选的，所述剥离箱底部的两侧均固定连接有超声波组件，所述超声波组件的顶部延伸至剥离箱的内腔，所述剥离箱的底部连通有出水管，所述出水管的表面套设有第三电磁阀，所述剥离箱内腔前侧和后侧顶部的两侧均固定连接有限位壳，所述限位壳的内腔活动连接有限位杆，四个限位杆的顶部之间固定连接有剥离盒。
[0009]作为本技术优选的，所述剥离盒顶部的两侧均固定连接有连接块，连接块的顶部固定连接有拉手。
[0010]作为本技术优选的，所述过滤机构包括过滤盒，所述过滤盒的右侧延伸至箱体的外侧并固定连接有密封板，所述密封板的左侧与箱体通过螺栓固定连接，所述密封板的右侧连通有第五连接管，所述第五连接管的顶部与第四连接管连通，所述过滤盒的内腔活动连接有过滤板，所述过滤板的顶部延伸至过滤盒的外侧。
[0011]作为本技术优选的，所述过滤板顶部的两侧均固定连接有拉环，所述拉环底部的两侧均通过螺栓与过滤盒固定连接。
[0012]作为本技术优选的，所述过滤板两侧的前侧和后侧均固定连接有限位条，所述限位条靠近过滤盒内壁的一侧与过滤盒的内壁固定连接。
[0013]作为本技术优选的，所述密封板的右侧开设有通孔，所述密封板右侧的前侧和后侧均固定连接有定位条。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果如下：
[0015]1、本技术通过设置箱体、剥离机构、剥离箱、超声波组件、出水管、第三电磁阀、限位壳、限位杆、剥离盒、水泵、第一连接管、第二连接管、第一电磁阀、第二电磁阀、第三连接管、过滤机构、过滤盒、密封板、过滤板、第五连接管、拉环、限位条和四连接管的配合使用，解决了现有的湿法剥离装置在对半导体进行湿法剥离时不能进行资源重复利用的问题。
[0016]2、本技术将半导体放置在剥离盒的内腔中，随后向剥离箱的内腔中加入有机溶液，此时超声波组件通过声波震动，使浸泡在有机溶液中的半导体表面的粘合剂溶解，随后粘合剂通过剥离盒底部的金属过滤网进入到剥离盒的底部，当半导体表面的粘合剂全部剥离之后，第三电磁阀打开，随后有机溶液将通过出水管流入过滤机构的内腔进行粘合剂和有机溶液的分离，通过设置连接块和拉手的配合使用，便于使用者将剥离盒从剥离箱的内腔中取出，通过设置限位壳和限位杆的配合使用，起到了对剥离盒的限位作用。
[0017]3、本技术通过密封板对过滤盒与箱体的开口处进行密封，随后，当有机溶液将通过出水管流入过滤盒中时，粘合剂经过过滤板的过滤留在了过滤盒内腔的左侧，有机溶液通过过滤板进入过滤盒内腔的右侧，从而达到了有机溶液和粘合剂分离的作用，通过设置拉环，起到了对过滤板的固定作用，当使用者将拉环上的螺栓取下时，使用者可以通过拉环将过滤板拉出过滤盒，通过设置限位条，起到了对过滤板进行限位的作用，通过设置定位条，当使用者需要将过滤盒内部的过滤板取出时，使用者将密封板上的螺栓取下，随后通过定位条配合密封板将过滤盒取出至箱体的外侧，通过设置通孔，便于第五连接管的安装。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例提供的结构示意图；
[0019]图2是本技术实施例提供的主视剖视图；
[0020]图3是本技术实施例提供的局部结构拆分图；
[0021]图4是本技术实施例提供的局部结构剖视图；
[0022]图5是本技术实施例提供的局部结构右视图。
[0023]图中：1、箱体；2、剥离机构；201、剥离箱；202、超声波组件；203、出水管；204、第三
电磁阀；205、限位壳；206、限位杆；207、剥离盒；3、水泵；4、第一连接管；5、第二连接管；6、第一电磁阀；7、第二电磁阀；8、第三连接管；9、过滤机构；901、过滤盒；902、密封板；903、过滤板；904、第五连接管；905、拉环；906、限位条；10、四连接管。
具体实施方式
[0024]为能进一步了解本技术的
技术实现思路
、特点及功效，兹例举以下实施例，并配合附图详细说明如下。
[0025]下面结合附图对本技术的结构作详细的描述。
[0026]如图1至图5所示，本技术实施例提供的一种半导体用湿法剥离装置，包括箱体1，箱体1的内腔设置有剥离机构2，剥离机构2包括剥离箱201，剥离箱201靠近箱体1内壁的一侧与箱体1的内壁固定连接，箱体1右侧的顶部固定连接有水泵3，水泵3的顶部连通有第一连接管4，第一连接管4远离水泵3的一侧延伸至剥离箱201的内腔，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体用湿法剥离装置，包括箱体（1），其特征在于：所述箱体（1）的内腔设置有剥离机构（2），所述剥离机构（2）包括剥离箱（201），所述剥离箱（201）靠近箱体（1）内壁的一侧与箱体（1）的内壁固定连接，所述箱体（1）右侧的顶部固定连接有水泵（3），所述水泵（3）的顶部连通有第一连接管（4），所述第一连接管（4）远离水泵（3）的一侧延伸至剥离箱（201）的内腔，所述水泵（3）的底部连通有第二连接管（5），所述第二连接管（5）的表面套设有第一电磁阀（6），所述第二连接管（5）的后侧连通有第三连接管（8），所述第三连接管（8）的表面套设有第二电磁阀（7），所述第三连接管（8）的底部连通有第四连接管（10），所述箱体（1）内腔的底部设置有过滤机构（9）。2.如权利要求1所述的一种半导体用湿法剥离装置，其特征在于：所述剥离箱（201）底部的两侧均固定连接有超声波组件（202），所述超声波组件（202）的顶部延伸至剥离箱（201）的内腔，所述剥离箱（201）的底部连通有出水管（203），所述出水管（203）的表面套设有第三电磁阀（204），所述剥离箱（201）内腔前侧和后侧顶部的两侧均固定连接有限位壳（205），所述限位壳（205）的内腔活动连接有限位杆（206），四个限位杆（206）的顶部之间固定连接有剥离盒（207）。3.如权...

【专利技术属性】
技术研发人员：任景超，
申请(专利权)人：山东龙晶半导体新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：