一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机，具体涉及腐蚀机技术领域，包括箱体，所述箱体一侧设置有带阀排放管，所述带阀排放管一端贯穿箱体并延伸至箱体内部，所述箱体顶部设置有封盖，所述封盖顶部设置有把手，所述把手横截面形状设置为倒U形，所述箱体内壁一侧设置有支撑板，所述支撑板顶部设置有电机，所述电机输出端设置有腐蚀机构。本实用新型专利技术通过设置腐蚀机构，使得该装置在对晶圆本体进行边缘腐蚀时，可以根据晶圆本体需要进行腐蚀的程度，通过腐蚀机构调节挡板的位置从而实现对边缘腐蚀参数的调整来完成晶圆本体的边缘腐蚀要求，通过这样的设置，使得在对晶圆本体进行多种不同参数的边缘腐蚀时不在需要配置多个腐蚀装置。个腐蚀装置。个腐蚀装置。

【技术实现步骤摘要】
一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机


[0001]本技术涉及腐蚀机
，更具体地说，本技术涉及一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆，国内晶圆生产线以8英寸和12英寸为主，晶圆的主要加工方式为片加工和批加工，即同时加工1片或多片晶圆，随着半导体特征尺寸越来越小，加工及测量设备越来越先进，使得晶圆加工出现了新的数据特点，同时，特征尺寸的减小，使得晶圆加工时，空气中的颗粒数对晶圆加工后质量及可靠性的影响增大，而随着洁净的提高，颗粒数也出现了新的数据特点，在晶圆加工过程中有时需要对晶圆的边缘进行腐蚀，在进行腐蚀时需要使用到腐蚀机。
[0003]但是在实际使用时，现有的大部分腐蚀机在对晶圆进行腐蚀时晶圆的边缘腐蚀参数较为固定，不能够实现对晶圆腐蚀参数的改变，因此在需要对晶圆进行不同参数的边缘腐蚀时准备多个不同腐蚀参数的腐蚀机来对晶圆进行腐蚀，从而使得晶圆的腐蚀成本较高。

技术实现思路

[0004]为了克服现有技术的上述缺陷，本技术的实施例提供一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机，通过腐蚀机构的设置，使得该装置能够实现对晶圆本体进行不同边缘腐蚀参数的腐蚀，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机，包括箱体，所述箱体一侧设置有带阀排放管，所述带阀排放管一端贯穿箱体并延伸至箱体内部，所述箱体顶部设置有封盖，所述封盖顶部设置有把手，所述把手横截面形状设置为倒U形，所述箱体内壁一侧设置有支撑板，所述支撑板顶部设置有电机，所述电机输出端设置有腐蚀机构。
[0006]在一个优选地实施方式中，所述腐蚀机构包括轴杆，所述轴杆一端设置有第一连接板，所述第一连接板一侧设置有粘接板。
[0007]在一个优选地实施方式中，所述粘接板一侧设置有晶圆本体，所述晶圆本体底部设置有挡板，所述挡板接触晶圆本体的一面开设有第一通孔。
[0008]在一个优选地实施方式中，所述挡板顶部设置有第二连接板，所述第二连接板顶部设置有第一固定板，所述第一固定板一侧与箱体内壁一侧相连接。
[0009]在一个优选地实施方式中，所述第二连接板内部开设有第二通孔，所述第二通孔内部设置有连接块，所述连接块两侧均设置有连接杆。
[0010]在一个优选地实施方式中，两个所述连接杆顶部均与第一固定板底部相连接，两
个所述连接杆均呈倾斜状设置。
[0011]在一个优选地实施方式中，所述第一固定板内部开设有第三通孔，所述第三通孔内部设置有电动伸缩杆，所述电动伸缩杆底部与第二连接板顶部相连接。
[0012]在一个优选地实施方式中，所述电动伸缩杆顶部设置有第二固定板，所述第二固定板一侧与箱体内壁一侧相连接。
[0013]本技术的技术效果和优点：
[0014]通过设置腐蚀机构，使得该装置在对晶圆本体进行边缘腐蚀时，可以根据晶圆本体需要进行腐蚀的程度，通过腐蚀机构调节挡板的位置从而实现对边缘腐蚀参数的调整来完成晶圆本体的边缘腐蚀要求，通过这样的设置，使得在对晶圆本体进行多种不同参数的边缘腐蚀时不在需要配置多个腐蚀装置，只需通过该装置即可完成对晶圆本体进行多种不同参数的边缘腐蚀，因此使得该装置的实用性得到了明显的提升。
附图说明
[0015]图1为本技术的整体结构示意图。
[0016]图2为本技术的剖视结构示意图。
[0017]图3为本技术的腐蚀机构结构示意图。
[0018]附图标记为：1、箱体；2、带阀排放管；3、封盖；4、把手；5、支撑板；6、电机；7、轴杆；8、第一连接板；9、粘接板；10、晶圆本体；11、挡板；12、第二连接板；13、第一固定板；14、连接块；15、连接杆；16、电动伸缩杆；17、第二固定板。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]如附图1
‑
3所示的一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机，包括箱体1，箱体1一侧设置有带阀排放管2，带阀排放管2一端贯穿箱体1并延伸至箱体1内部，箱体1顶部设置有封盖3，封盖3顶部设置有把手4，把手4横截面形状设置为倒U形，箱体1内壁一侧设置有支撑板5，支撑板5顶部设置有电机6，电机6输出端设置有腐蚀机构，以便于通过带阀排放管2排放腐蚀液。
[0021]如附图2、3所示，腐蚀机构包括轴杆7，轴杆7一端设置有第一连接板8，第一连接板8一侧设置有粘接板9，粘接板9一侧设置有晶圆本体10，晶圆本体10底部设置有挡板11，挡板11接触晶圆本体10的一面开设有第一通孔，以便于通过粘接板9粘接晶圆本体10，通过挡板11阻挡腐蚀液溅起。
[0022]如附图2、3所示，挡板11顶部设置有第二连接板12，第二连接板12顶部设置有第一固定板13，第一固定板13一侧与箱体1内壁一侧相连接，第二连接板12内部开设有第二通孔，第二通孔内部设置有连接块14，连接块14两侧均设置有连接杆15，两个连接杆15顶部均与第一固定板13底部相连接，两个连接杆15均呈倾斜状设置，第一固定板13内部开设有第三通孔，第三通孔内部设置有电动伸缩杆16，所述电动伸缩杆16底部与第二连接板12顶部相连接，电动伸缩杆16顶部设置有第二固定板17，第二固定板17一侧与箱体1内壁一侧相连
接，以便于通过启动电动伸缩杆16带动第二连接板12与挡板11进行移动，通过挡板11的移动即可使得晶圆本体10的腐蚀参数得到调整。
[0023]本技术工作原理：在需要对晶圆本体10进行边缘腐蚀时，先将晶圆本体10粘接板9站粘接板9处，在粘接完成之后在根据晶圆本体10边缘需要进行腐蚀的程度调节挡板11的位置，在对挡板11的位置进行调节时，只需启动电动伸缩杆16即可使得第二连接板12带动挡板11进行移动，在挡板11移动到合适的位置上后即可关闭电动伸缩杆16，这时在启动电机6带动晶圆本体10进行转动，即可实现对晶圆本体10进行边缘腐蚀。
[0024]最后应说明的几点是：首先，在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，可以是机械连接或电连接，也可以是两个元件内部的连通，可以是直接相连，“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变，则相对位置关系可能发生改变；
[0025]其次：本技术公开实施例附图中，只涉及到与本公开实施例涉及到的结构，其他结构可参考通常设计，在不冲突情本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机，包括箱体(1)，其特征在于：所述箱体(1)一侧设置有带阀排放管(2)，所述带阀排放管(2)一端贯穿箱体(1)并延伸至箱体(1)内部，所述箱体(1)顶部设置有封盖(3)，所述封盖(3)顶部设置有把手(4)，所述把手(4)横截面形状设置为倒U形，所述箱体(1)内壁一侧设置有支撑板(5)，所述支撑板(5)顶部设置有电机(6)，所述电机(6)输出端设置有腐蚀机构。2.根据权利要求1所述的一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机，其特征在于：所述腐蚀机构包括轴杆(7)，所述轴杆(7)一端设置有第一连接板(8)，所述第一连接板(8)一侧设置有粘接板(9)。3.根据权利要求2所述的一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机，其特征在于：所述粘接板(9)一侧设置有晶圆本体(10)，所述晶圆本体(10)底部设置有挡板(11)，所述挡板(11)接触晶圆本体(10)的一面开设有第一通孔。4.根据权利要求3所述的一种基于晶圆加工的边缘腐蚀机，其特征在于：所述挡板(11)顶部设置有...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵刚，
申请(专利权)人：苏州瑞红集昕科技有限公司，
类型：新型
国别省市：