本实用新型专利技术提供一种倒装贴片机基板自动清洁装置，包括气体阀门，气体阀门的一端连接气源控制气体的进入，另一端通过管路分别与吹气单元和吸气单元连接；吹气单元的出气端上通过管路与清洁头的吹气进气口连接；吸气单元的一端入气口连接在气体阀门上，另一端通过管路连接在清洁头的真空吸气口上，吸气单元的出气口远离清洁头设置，排出倒装贴片机外侧；清洁头设置在基板的正上方，开设有吹气进气口和真空吸气口，真空吸气口位于吹气进气口的两侧布置。本实用新型专利技术通过吹气和双侧真空吸尘，以及清洁头布置，提升基板清洁效率和清洁效果，减少基板异物质导致焊接不良发生，避免异物质二次污染。次污染。次污染。
【技术实现步骤摘要】
一种倒装贴片机基板自动清洁装置
[0001]本技术涉及半导体设备领域，尤其是涉及基板清洁
，具体为一种倒装贴片机基板自动清洁装置。
技术介绍
[0002]倒装贴片机基板的清洁部位，在使用时，通过向基板表面吹气，对基板进行清洁的结构，然而在使用时，存在现有问题：
[0003]1)吹气量小，基板表面异物质无法全部吹离，吹气效果差；
[0004]2)基板表面吹离的异物质，无法回收，随意散落，存在二次污染风险；
[0005]3)吹气装置端口的清洁头设计不合理，采用直吹式，且只有一个出气口，集中出气，与基板的面积、形状不匹配；
[0006]4)只有简单的吹气阀门和单一式清洁头的配合，只是一昧的吹气，无法达到自动化控制后的清洁效果。
技术实现思路
[0007]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种倒装贴片机基板自动清洁装置，用于解决现有技术的难点。
[0008]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种倒装贴片机基板自动清洁装置，包括：
[0009]气体阀门1，所述气体阀门1的一端连接气源控制气体的进入，另一端通过管路分别与吹气单元和吸气单元连接；
[0010]吹气单元，所述吹气单元的出气端上通过管路与清洁头2的吹气进气口202连接；
[0011]吸气单元，所述吸气单元的一端入气口连接在气体阀门1上，另一端通过管路连接在清洁头2的真空吸气口203上，所述吸气单元的出气口远离清洁头2设置，排出倒装贴片机外侧；
[0012]清洁头2，所述清洁头2设置在基板的正上方，开设有吹气进气口202和真空吸气口203，所述真空吸气口203位于吹气进气口202的两侧布置。
[0013]根据优选方案，气体阀门1入气端的管路直径大于出气端的管路直径。
[0014]根据优选方案，吹气单元内沿着吹气的路径依次设置有过滤调节器压力表3、吹气数字流量开关4和脉冲控制单元5，所述过滤调节器压力表3、吹气数字流量开关4和脉冲控制单元5之间通过管路连接。
[0015]根据优选方案，吹气单元内管路的直径相同。
[0016]根据优选方案，吸气单元内包括：
[0017]真空数字流量开关6，所述真空数字流量开关6通过管路连接在清洁头2上控制吸收基板上产生的污染物的流量；
[0018]真空喷射器7，所述真空喷射器7的一端连接有真空数字流量开关6，另一端连接有
气体阀门1，两者之间均产生通入的气体朝向真空喷射器7底部的排气口输送；
[0019]真空过滤器8，所述真空过滤器8的入口连接在真空喷射器7的排气口上对污染物气体进行过滤。
[0020]根据优选方案，真空喷射器7和真空过滤器8之间的管路直径大于吸气单元内其余管路之间的直径；
[0021]真空喷射器7和真空过滤器8之间的管路直径和两组清洁头2上真空吸气口203的吸气管路直径之和。
[0022]根据优选方案，清洁头2包括：
[0023]清洁头本体201，所述清洁头本体201上表面水平，底部设置有向上凹入的梯形槽204；
[0024]吹气进气口202，所述吹气进气口202开设在清洁头本体201位于梯形槽204的部分；
[0025]真空吸气口203，所述真空吸气口203开设在清洁头本体201位于梯形槽204两侧的支撑结构。
[0026]根据优选方案，真空吸气口203的口径大于吹气进气口202中的每个小吹气口的口径。
[0027]根据优选方案，两侧的真空吸气口203以吹气进气口202的水平中轴线为对称轴对称设置。
[0028]根据优选方案，吹气进气口202包括：
[0029]顶部进气口2021，所述顶部进气口2021前后设置有一组；
[0030]底部进气口2022，所述底部进气口2022开设在清洁头本体201的底部形成长条形的出气结构，所述底部进气口2022连接前后设置有一组的顶部进气口2021排出压缩空气。
[0031]根据优选方案，每组所述顶部进气口2021内均布置有三个通孔形成等腰三角形的结构，对应的底部进气口2022沿着一侧真空吸气口203朝向另一侧的方向布置有三条长条形的出气孔连接顶部前后设置的三个通孔。
[0032]根据优选方案，顶部进气口2021和底部进气口2022之间通过总支管路连接。
[0033]根据优选方案，真空吸气口203在同一侧设置有前后两个，两个所述真空吸气口203之间的间距不小于两组吹气进气口202之间的间距；
[0034]真空吸气口203位于清洁头本体201本体的底部两侧开设有长条形吸气口2031。
[0035]根据优选方案，真空吸气口203和长条形吸气口2031之间通过总支管路连接。
[0036]根据优选方案，长条形吸气口2031的宽度大于底部进气口2022的宽度。
[0037]本技术具有以下有益效果：
[0038]1、吹气和真空吸附增加控制开关，有效改善吹气和真空的控制；
[0039]2、对管路的尺寸大小控制，将进气和出气进行改善，增大吹气量；
[0040]3、增加流量开关和脉冲控制器，添加吹气频率控制，增大吹气力度；
[0041]4、通过吹气和双侧真空吸尘，以及清洁头的结构布置，将原先吹气口单一式且无真空回收装置，改善为吹气口多通道模式，增大吹气量，并增加吹离异物质真空回收装置；
[0042]5、提升基板清洁效率和清洁效果，减少基板异物质导致焊接不良发生，避免异物质二次污染。
[0043]下文中将结合附图对实施本技术的最优实施例进行更详尽的描述，以便能容易地理解本技术的特征和优点。
附图说明
[0044]图1显示为本技术的结构示意图；
[0045]图2显示为本技术中关于清洁头的立体结构放大示意图；
[0046]图3显示为本技术中关于清洁头另一视角的立体结构放大示意图；
[0047]图4显示为本技术中关于吹气进气口的内部结构图；
[0048]图5显示为本技术中关于真空吸气口的内部结构图；
[0049]图6显示为现有技术背景中关于吹气结构的示意图；
[0050]标号说明
[0051]1、气体阀门；2、清洁头，201、清洁头本体，202、吹气进气口，2021、顶部进气口，2022、底部进气口，203、真空吸气口，2031、长条形吸气口，204、梯形槽；3、过滤调节器压力表；4、吹气数字流量开关；5、脉冲控制单元；6、真空数字流量开关；7、真空喷射器；8、真空过滤器。
具体实施方式
[0052]为了使得本技术的技术方案的目的、技术方案和优点更加清楚，下文中将结合本技术具体实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整的描述。附图中相同的附图标记代表相同的部件。需要说明的是，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种倒装贴片机基板自动清洁装置，其特征在于，包括：气体阀门(1)，所述气体阀门(1)的一端连接气源控制气体的进入，另一端通过管路分别与吹气单元和吸气单元连接；吹气单元，所述吹气单元的出气端上通过管路与清洁头(2)的吹气进气口(202)连接；吸气单元，所述吸气单元的一端入气口连接在气体阀门(1)上，另一端通过管路连接在清洁头(2)的真空吸气口(203)上，所述吸气单元的出气口远离清洁头(2)设置，排出倒装贴片机外侧；清洁头(2)，所述清洁头(2)设置在基板的正上方，开设有吹气进气口(202)和真空吸气口(203)，所述真空吸气口(203)位于吹气进气口(202)的两侧布置。2.根据权利要求1所述的倒装贴片机基板自动清洁装置，其特征在于，所述吹气单元内沿着吹气的路径依次设置有过滤调节器压力表(3)、吹气数字流量开关(4)和脉冲控制单元(5)，所述过滤调节器压力表(3)、吹气数字流量开关(4)和脉冲控制单元(5)之间通过管路连接。3.根据权利要求2所述的倒装贴片机基板自动清洁装置，其特征在于，所述吸气单元内包括：真空数字流量开关(6)，所述真空数字流量开关(6)通过管路连接在清洁头(2)上控制吸收基板上产生的污染物的流量；真空喷射器(7)，所述真空喷射器(7)的一端连接有真空数字流量开关(6)，另一端连接有气体阀门(1)，两者之间均产生通入的气体朝向真空喷射器(7)底部的排气口输送；真空过滤器(8)，所述真空过滤器(8)的入口连接在真空喷射器(7)的排气口上对污染物气体进行过滤。4...
【专利技术属性】
技术研发人员：邵龙，边毅，
申请(专利权)人：海太半导体无锡有限公司，
类型：新型
国别省市：
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