本实用新型专利技术公开了一种可承载隔热型炉门机构及工艺炉，炉门机构包括炉门、石英舟和隔热包，隔热包一端与炉门可拆卸连接，另一端与石英舟可拆卸连接，隔热包靠近石英舟一端设有多个支撑柱，多个支撑柱上同时固定有支撑板，石英舟靠近隔热包的一端设有定位柱，支撑板上设有第一定位孔，支撑板与隔热包之间设有加强板，加强板上设有第二定位孔，定位柱同时与第一定位孔和第二定位孔连接。工艺炉包括立式反应室和上述的可承载隔热型炉门机构。本实用新型专利技术将隔热包与石英舟支承部件一体化，同时将隔热包与下方的炉门本体分割开采用可拆卸连接固定，这样既提高了炉门承载的稳定性，减少石英舟运载时的晃动，又便于后期检修维护。又便于后期检修维护。又便于后期检修维护。
【技术实现步骤摘要】
一种可承载隔热型炉门机构及工艺炉
[0001]本技术涉及工艺炉领域，尤其涉及一种可承载隔热型炉门机构及工艺炉。
技术介绍
[0002]目前工艺炉中扩散炉的石英舟(或石墨舟)是由炉门机构支撑，由于取放舟次数频繁，而且石英舟重量大不容易定位，这对炉门如何在重载荷下长时间保持良好定位和承载能力提出了很高的要求。设计炉口的炉门机构支撑时一般会安装支撑杆、隔热板、导向和密封装置等。但这种结构对取放舟的稳定效果有一定局限性，由于石英舟在炉管内的行程长，这就要求支撑杆和导向装置设置过长，从而会降低炉门承载的稳定性。此外，也会对炉门承重机构和设备总体高度尺寸有更高的要求，这样会产生较高的设备生产成本和占用更大的厂房占地空间。
技术实现思路
[0003]本技术要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种提高炉门承载稳定性和隔热性能的可承载隔热型炉门机构及工艺炉。
[0004]为解决上述技术问题，本技术采用以下技术方案：
[0005]一种可承载隔热型炉门机构，包括炉门本体、石英舟和隔热包，所述隔热包一端与炉门本体可拆卸连接，另一端与石英舟可拆卸连接，所述隔热包靠近石英舟一端设有多个支撑柱，多个支撑柱上同时固定有支撑板，所述石英舟靠近隔热包的一端设有定位柱，所述支撑板上设有第一定位孔，所述支撑板与隔热包之间设有加强板，所述加强板上设有第二定位孔，所述定位柱同时与第一定位孔和第二定位孔连接。
[0006]作为上述技术方案的进一步改进，所述石英舟上设有固定板，所述定位柱固定在固定板上，所述支撑板位于固定板与加强板之间。
[0007]作为上述技术方案的进一步改进，所述隔热包包括石英圆筒和设于石英圆筒内的隔热填充层。
[0008]作为上述技术方案的进一步改进，所述隔热包与炉门本体连接的一端设有连接法兰一，所述连接法兰一通过多个加强筋与隔热包连接，所述炉门本体内侧设有连接法兰二，所述连接法兰二通过多个加强筋与炉门本体连接，所述连接法兰一与连接法兰二通过紧固件连接。
[0009]作为上述技术方案的进一步改进，所述紧固件为紧固螺钉，所述紧固螺钉设有特氟龙涂层。
[0010]作为上述技术方案的进一步改进，所述加强板固定在支撑柱上。
[0011]一种工艺炉，包括反应腔体和传送模组，还包括上述的可承载隔热型炉门机构，所述传送模组用于将炉门本体、石英舟和隔热包三者送入或送出立式反应腔体。
[0012]作为上述技术方案的进一步改进：
[0013]所述传送模组直线电缸，所述炉门本体通过连接座与直线电缸的移动块固定连
接。
[0014]与现有技术相比，本技术的优点在于：
[0015]本技术的可承载隔热型炉门机构，将隔热包与石英舟支承部件一体化，同时增加定位柱的支撑，由单点支撑变成双点支撑，每根定位柱有两个受力点，提高了炉门承载的稳定性，定位柱相对现有技术进行了缩短，对炉门承重机构和设备总体高度尺寸的要求降低，降低了设备生产成本和节约了占地空间。该结构中采用石英舟自身重力作用在隔热包整体上，以起到隔热和支撑定位作用；由于炉门本体、石英舟、隔热包为可拆卸连接，当隔热包损坏或定位有偏差需要更换时，分离炉门本体与隔热包，从而实现分体式可拆卸。
附图说明
[0016]图1是本技术实施例1的可承载隔热型炉门机构的结构示意图。
[0017]图2是本技术实施例1中隔热包的结构示意图。
[0018]图3是本技术实施例2中传送模组与炉门、隔热包、石英舟部分的立体结构示意图。
[0019]图4是本技术实施例2中传送模组与炉门、隔热包、石英舟部分的主视结构示意图。
[0020]图中各标号表示：
[0021]1、炉门本体；11、连接法兰二；2、石英舟；21、定位柱；22、固定板；3、隔热包；31、支撑柱；32、支撑板；33、方孔；34、第一定位孔；35、加强板；36、第二定位孔；37、连接法兰一；4、传送模组；5、加强筋；6、紧固螺钉；7、连接座；8、立式反应腔体。
具体实施方式
[0022]以下结合说明书附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。
[0023]实施例1
[0024]如图1至图4所示，本实施例的可承载隔热型炉门机构，包括炉门本体1、石英舟2和隔热包3，隔热包3一端与炉门本体1可拆卸连接，另一端与石英舟2可拆卸快速连接。其中，隔热包3靠近石英舟2一端设有四个支撑柱31，四个支撑柱31上同时固定有支撑板32，石英舟2靠近隔热包3的一端设有定位柱21，支撑板32上设有第一定位孔34，支撑板32与隔热包3之间设有加强板35，加强板35上设有第二定位孔36，定位柱21同时穿设于第一定位孔34和第二定位孔36内，三者形成连接。
[0025]该炉门机构为立式安装，炉门本体1在下方，隔热包3在中间，石英舟2在上方。在石英舟2安装前，先将炉门本体1与隔热包3固定连接，隔热包3支撑在炉门本体1上，当石英舟2安装时，石英舟2上的定位柱21依次穿过第一定位孔34和第二定位孔36，同时石英舟2的端部抵靠支撑板32，石英舟2自身重力作用在隔热包3上，定位柱21穿过与第一定位孔34和第二定位孔36并进行连接，进而实现石英舟2支撑并连接在隔热包3上。
[0026]工作时，将炉门本体1、隔热包3和石英舟2依次连接，之后，通过一传送模组4将炉门机构送入立式反应腔体8内，进行工艺，工艺之后，传送模组4将炉门机构从立式反应腔体8内托出，机械手对石英舟2进行取换舟。
[0027]该可承载隔热型炉门机构，将隔热包3与石英舟2支承部件一体化，同时增加定位
柱21的支撑，由单点支撑变成双点支撑，每根定位柱21有两个受力点，提高了炉门承载的稳定性，定位柱21相对现有技术进行了缩短，对炉门机构和设备总体高度尺寸的要求降低，降低了设备生产成本和节约了占地空间。该结构中采用石英舟2自身重力作用在隔热包3整体上，以起到隔热和支撑定位作用。由于炉门本体1、石英舟2、隔热包3为可拆卸连接，当隔热包3损坏或定位有偏差需要更换时，分离炉门本体1与隔热包3，从而实现分体式可拆卸。
[0028]需要说明的是，本实施例中，定位柱21优选为两根，支撑柱31优选为四根。加强板35优选为两个。除了本实施例外，定位柱21、支撑柱31和加强板35的数量也可以进行增减。
[0029]本实施例中，石英舟2上设有固定板22，定位柱21固定在固定板22上，支撑板32位于固定板22与加强板35之间。通过固定板22对定位柱21进行安装，固定板22、支撑板32、加强板35对定位柱21形成三点支撑，定位柱21不仅可以对石英舟2进行定位还辅助起到支撑石英舟2的作用。支撑板32上设有方孔33，方孔33的设置，减少石英舟2端板与支撑板32的接触面积，减少石英舟2端板的遮挡，提高加热效果。
[0030]本实施例中，隔热包3包括石英圆筒和设于石英圆筒内的隔热填充层。隔热包3用于对炉门本体1进行隔热阻挡，降低立本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种可承载隔热型炉门机构，其特征在于：包括炉门本体(1)、石英舟(2)和隔热包(3)，所述隔热包(3)一端与炉门本体(1)可拆卸连接，另一端与石英舟(2)可拆卸连接，所述隔热包(3)靠近石英舟(2)一端设有多个支撑柱(31)，多个支撑柱(31)上同时固定有支撑板(32)，所述石英舟(2)靠近隔热包(3)的一端设有定位柱(21)，所述支撑板(32)上设有第一定位孔(34)，所述支撑板(32)与隔热包(3)之间设有加强板(35)，所述加强板(35)上设有第二定位孔(36)，所述定位柱(21)同时与第一定位孔(34)和第二定位孔(36)连接。2.根据权利要求1所述的可承载隔热型炉门机构，其特征在于：所述石英舟(2)上设有固定板(22)，所述定位柱(21)固定在固定板(22)上，所述支撑板(32)位于固定板(22)与加强板(35)之间。3.根据权利要求1所述的可承载隔热型炉门机构，其特征在于：所述隔热包(3)包括石英圆筒和设于石英圆筒内的隔热填充层。4.根据权利要求1至3任意一项所述的可承载隔热型炉门...
【专利技术属性】
技术研发人员：梁浩，刘思源，吴云，
申请(专利权)人：湖南红太阳光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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