一种制备高导热石墨烯散热膜的方法技术

技术编号:37086730 阅读:43 留言:0更新日期:2023-03-29 20:01
本发明专利技术公开了一种制备高导热石墨烯散热膜的方法,采用连续微波处理及光致还原工艺进行制备,具体步骤如下:(1)将待处理氧化石墨烯膜放入连续微波处理设备腔体中;(2)对腔体抽真空后通入惰性气体,调整微波功率至800~1000W,使得薄膜在1000℃~1500℃下进行预处理反应,得到预处理薄膜;(3)将预处理薄膜放入准分子激光加工设备中,采用激光波对预处理薄膜进行光致还原及高温结构重整加工操作,得到高导热石墨烯散热膜。本发明专利技术协同上述两种工艺的高效、精准还原效果,可大幅提升高导热石墨烯膜的制备效率,并降低所需能耗,推动并实现大尺寸石墨烯散热膜的规模化生产。大尺寸石墨烯散热膜的规模化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种制备高导热石墨烯散热膜的方法


[0001]本专利技术属于散热膜
,涉及一种制备高导热石墨烯散热膜的方法,更具体涉及采用连续微波处理及光致还原工艺制备高导热石墨烯散热膜的方法。

技术介绍

[0002]散热膜作为一种新型快速有效的散热材料,可满足新一代工业、电子通信、航空航天等领域对微纳电子元器件集功能化、微型化和轻薄化于一体的运行和发展要求,对高技术发展具有重要的战略意义。
[0003]现有的人造石墨散热膜产品的生产通常采用聚酰亚胺膜作为原材料,先进行1400℃的烧结,使其碳化;碳化完成并降温后,再转移至高温石墨化炉中,将石墨化炉抽真空后进行2900℃的烧结,使之高温石墨化;石墨化后降温取出,用压延机进行压延后最终形成石墨散热片产品。
[0004]上述工艺过程存在如下缺陷:(1)工艺过程受制于聚酰亚胺膜材料的厚度、尺寸,使得产品最终厚度也受限,当产品需求厚度大于100μm时,通常采用胶黏剂叠层粘结形式,最终导热系数大幅降低,严重影响散热性能;(2)由聚酰亚胺膜作为原材料难以进行改性或复合,制备所得的石墨散热膜导热系数提升本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种制备高导热石墨烯散热膜的方法,其特征在于,采用连续微波处理及光致还原工艺进行制备,具体步骤如下:步骤1、将待处理氧化石墨烯膜放入连续微波处理设备腔体中;步骤2、对腔体抽真空后通入惰性气体,调整微波功率至800~1000W,使得薄膜在1000℃~1500℃下进行预处理反应,得到预处理薄膜;步骤3、将步骤2制备得到的预处理薄膜放入准分子激光加工设备中,采用激光波对预处理薄膜进行光致还原及高温结构重整加工操作,得到高导热石墨烯散热膜。2.根据权利要求1所述的制备高导热石墨烯散热膜的方法,其特征在于:其中,所述氧化石墨烯膜的厚度为20μm~500μm。3.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员:张燕萍张逸瑾赵志国
申请(专利权)人:上海利物盛纳米科技有限公司
类型:发明
国别省市:

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