【技术实现步骤摘要】
本技术涉及电流流过电热元件,利用其产生的热量加热工件的电阻炉。目前市场上加热电阻炉炉管通常只有一层(一组)加热炉丝,或者是内加热式,或者是外加热式。当用于晶体生长、区域熔炼等不同场合,需要提供不同的温场时,这种炉管的工作温度和控制调节功能则不能适应。本技术的目的是提供一种有双层加热炉丝的电阻炉炉管,以满足不同的工作温度和温场要求。本技术电阻炉炉管包括陶瓷炉管体和炉丝。陶瓷炉管体外侧为螺纹状,其上缠绕外加热炉丝,陶瓷炉管体内侧有与其轴线平行的沟槽,在沟槽内缠绕内加热炉丝。本技术电阻炉炉管中,绕在陶瓷炉管体外侧螺纹上的外加热炉丝,根据不同的功率要求用不同的材质的炉丝绕制,并根据不同的温场需要,不同的晶体生长方法或熔炼炼制不同材料,而绕制不同圈数和不同组数的炉丝。本技术电阻炉炉管中,所述陶瓷炉管体内侧上的沟槽,是与其轴线平行的,内加热炉丝以Z字型的形式缠绕其中,并且不超出陶瓷炉管体内侧表面。本技术电阻炉陶瓷炉管体中有电偶,用来监测电阻炉温场的变化,炉管体上有孔,热电偶的一端插入该孔中。根据不同的需要可在炉管体中放置1-N副热电偶,它们与外加热炉丝的组数相对应。根据 ...
【技术保护点】
一种电阻炉炉管,包括陶瓷炉管体和炉丝,其特征是陶瓷炉管体外侧为螺纹状,其上缠绕外加热炉丝;陶瓷炉管体内侧有与其轴线平行的沟槽,在该沟槽内缠绕内加热炉丝。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:李超荣,翟永亮,葛培文,霍崇儒,
申请(专利权)人:中国科学院物理研究所,
类型:实用新型
国别省市:11[中国|北京]
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