一种晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移设备制造技术

本实用新型专利技术属于转移设备技术领域，尤其是一种晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移设备，现提出如下方案，其包括底板，所述底板的顶部安装有放置板，放置板的顶部设有收纳槽，收纳槽内放置有晶圆，所述底板的顶部安装有连接板，两个连接板相互靠近的一侧均开设有固定槽，固定槽的顶部内壁和底部内壁上安装有同一个固定杆，两个固定杆上滑动安装有同一个升降板，升降板的底部安装有弹簧的一端，弹簧的另一端安装在固定槽的底部内壁上，所述升降板的底部安装有方板，方板的底部安装有连接座。通过启动抽风机，抽风机带动吸管进行抽风，从而吸管能够很好的对晶圆进行抽取，完成对晶圆进行很好的转移。完成对晶圆进行很好的转移。完成对晶圆进行很好的转移。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移设备


[0001]本技术涉及转移设备
，具体公开一种晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移设备。

技术介绍

[0002]晶圆生产主要包括蚀刻、显影、沟槽蚀刻、玻璃钝化、金属化、清洗及划片等工艺。其中玻璃钝化工艺需要在晶圆表面的沟槽内涂覆填充玻璃粉。现有的涂覆方式主要有两种。其中一种是采用手工刮涂的方式，使沟槽内填充玻璃粉，另一种方式是利用自动化设备对晶圆表面涂覆玻璃粉，其原理是利用料框将晶圆放置于装有玻璃粉混合液的溶液池内，并对溶液池的两端分别通上正极和负极的电流，使玻璃粉形成带电离子状态，从而吸附在晶圆表面，使晶圆的表面及沟槽内整体均涂覆有玻璃粉。
[0003]现有的自动化设备通常利用人工将晶圆取出，不可避免的会对晶圆表面及沟槽内形成的玻璃粉涂层造成擦拭、磨损，影响后续玻璃钝化的效果，为此我们提出一种晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移设备用于解决上述问题。

技术实现思路

[0004]鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，本申请旨在提供一种晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移设备，包括底板，所述底板的顶部安装有放置板，放置板的顶部设本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆涂覆玻璃粉的盛料转移设备，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)的顶部安装有放置板(2)，放置板(2)的顶部设有收纳槽，收纳槽内放置有晶圆(3)，所述底板(1)的顶部安装有连接板(4)，两个连接板(4)相互靠近的一侧均开设有固定槽(5)，固定槽(5)的顶部内壁和底部内壁上安装有同一个固定杆(6)，两个固定杆(6)上滑动安装有同一个升降板(8)，升降板(8)的底部安装有弹簧(7)的一端，弹簧(7)的另一端安装在固定槽(5)的底部内壁上，所述升降板(8)的底部安装有方板(9)，方板(9)的底部安装有连接座，连接座的底部开设有弧形槽(10)，所述方板(9)上开设有固定腔，两个连接板(4)的顶部安装有同一个顶板(12)，顶板(12)的一侧安装有伺服电机(16)，伺服电机(16)的输出轴上安装有转柱(17)，所述顶板(12)的底部开设有凹槽(13)，转柱(17)的一端延伸至凹槽(13)内。2.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐竹林，
申请(专利权)人：华林科纳江苏半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：