一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统制造方法及图纸

本发明专利技术公开一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，属于引信安全系统领域。主要由硅基MOEMS光开关装置，磁阻传感器，控制电路等组成。MOEMS光开关装置由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、硅基后坐保险装置、电热拔销器、电热执行器组成。系统的开关通和断通过控制输入光纤、输出光纤和可动式微镜组成的侧壁反射光纤光路通和断实现，系统设计两道保险，第一道保险激励来自后坐过载环境，第二道保险激励来自地磁环境。本发明专利技术要解决的技术问题为：进一步提高微光机电安全系统的集成度并实现尺寸微小型化，解决引信系统的电磁干扰，提高电磁兼容性。具有以下优点：(1)结构尺寸微小；(2)电磁兼容性强。(3)抗过载能力强。(2)电磁兼容性强。(3)抗过载能力强。(2)电磁兼容性强。(3)抗过载能力强。

【技术实现步骤摘要】
一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统


[0001]本专利技术涉及引信微光机电系统，具体涉及一种引信微光机电安全系统。

技术介绍

[0002]引信是弹药终端毁伤控制子系统，对各类目标要能够实时快速精确探测、识别。随着电磁脉冲弹等电子战装备的广泛应用，引信所处的电磁环境在未来战场中面临越来越恶劣的战场环境。传统的引信电子安全系统的抗电磁干扰能力较差，抗过载能力弱，无法在日益恶劣的战场上发挥作用。
[0003]微光机电系统(MOEMS)技术作为一门新兴的技术，能将微尺度的机械、光学以及其他一些器件与微电子电路集成在一起完成传感、信号处理、计算和执行等功能。基于MOEMS技术的器件具有体积小、重量轻、功能全、抗过载能力强和批量生产成本低等特点，在引信中有较好的应用前景。利用MOEMS技术实现引信安全与起爆控制的MOEMS引信安全系统，能量隔离方式由隔爆替换为隔“光”，隔离对准由微执行器驱动实现，并利用激光能量直接起爆火工品。由于激光起爆的能量形式为激光、能量传输采用绝缘光纤而非电导线,能量信号的传输形式与其他的能量信号不兼容，实现了电本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，包括控制电路，磁阻传感器和硅基MOEMS光开关装置，其特征在于：后坐保险机构(6)作为系统第一道保险，利用后坐过载激励完成解保动作，同时电热拔销器(4)作为微光机电系统的第二道保险，利用磁阻传感器监测地磁场强度，当地磁场强度发生变化后，电热拔销器(4)完成解保动作，光纤光路打开，完成信号的传输。2.如权利要求1中所述的一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，其特征在于：后坐保险机构包括配重块(2
‑
1)，后坐弹簧(2
‑
2)卡扣(2
‑
3)，当硅基后坐保险机构(6)获得惯性后坐过载激励时，配重块(2
‑
1)带动卡扣运动到位与另一卡扣互锁，完成解保动作，配重块(2
‑
1)用于保持硅基后坐保险机构(6)在勤务处理时的整体结构的平衡，确保硅基后坐保险机构(6)在解除保险过程的可靠性，后坐弹簧(2
‑
2)用于防止配重块(2
...

【专利技术属性】
技术研发人员：代俊，何涛，廉政，谢晋，华泽，张崇飞，熊壮，赵瑞，
申请(专利权)人：北京理工大学，
类型：新型
国别省市：