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本发明公开一种基于硅基MOEMS光开关装置的微光机电系统，属于引信安全系统领域。主要由硅基MOEMS光开关装置，磁阻传感器，控制电路等组成。MOEMS光开关装置由输入光纤、输出光纤、可动式微镜、硅基后坐保险装置、电热拔销器、电热执行器组成。...
该专利属于北京理工大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京理工大学授权不得商用。

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