一种高功率脉冲磁控溅射电源及真空镀膜设备制造技术

本实用新型专利技术涉及一种高功率脉冲磁控溅射电源及真空镀膜设备，高功率脉冲磁控溅射电源包括高功率元器件和冷却装置，其中：冷却装置包括板体、进水口及出水口，板体上设置有承载面，且内部设置有第一槽体、第二槽体及第三槽体，第一槽体和第二槽体间隔开口于板体侧面，第三槽体连通第一槽体及第二槽体；进水口安装于第一槽体的第一开口部并与第一开口部连通，用于外部冷却水的流入；出水口安装于第二槽体的第二开口部并与第二开口部连通，用于排出循环后的冷却水；高功率元器件设于承载面上，外部冷却水流经上述槽体会带走高功率元器件热量，保证高功率元器件的正常使用，延长高功率元器件的使用寿命，提高高功率脉冲磁控溅射电源的稳定性和可靠性。源的稳定性和可靠性。源的稳定性和可靠性。

【技术实现步骤摘要】
一种高功率脉冲磁控溅射电源及真空镀膜设备


[0001]本技术涉及磁控溅射
，特别是涉及一种高功率脉冲磁控溅射电源及真空镀膜设备。

技术介绍

[0002]磁控溅射技术根据磁控溅射电源输出电压方式的不同分为直流磁控溅射和高功率脉冲磁控溅射(HiPIMS)，其中HiPIMS电源的输出电压达到2000伏以上，输出电流1000A以上，峰值功率达到兆瓦级，可对复杂型体的工件进行溅镀，已成为目前研究的热点。
[0003]但是，例如高功率二极管等高功率元器件作为HiPIMS电源中重要的组成器件之一，发热量大，在瞬间大电流和持续大电流情况下，高功率元器件很容易过温烧坏，从而影响HiPIMS电源的稳定性和可靠性。
[0004]因此，要保持HiPIMS电源的稳定性，必须对高功率元器件的工作温度保持稳定，进而对高功率元器件进行散热处理，目前对高功率元器件的散热主要还是依靠自然冷却，其冷却速度慢，受环境影响大，冷却效果差，难以满足高精度HiPIMS电源的使用要求，从而影响HiPIMS电源的正常工作，导致HiPIMS电源的稳定性和可靠性降低。

技术实现思路

[0005]基于此，有必要针对高功率脉冲磁控溅射电源的稳定性和可靠性较低的问题，提供一种高功率脉冲磁控溅射电源及真空镀膜设备。
[0006]一种高功率脉冲磁控溅射电源，包括高功率元器件和冷却装置，其中：
[0007]所述冷却装置包括板体、进水口及出水口，所述板体上设置有承载面，且内部设置有第一槽体、第二槽体及第三槽体，所述第一槽体和所述第二槽体间隔开口于所述板体侧面，所述第三槽体连通所述第一槽体及所述第二槽体；
[0008]所述进水口安装于所述第一槽体的第一开口部并与所述第一开口部连通，用于外部冷却水的流入；
[0009]所述出水口安装于所述第二槽体的第二开口部并与所述第二开口部连通，用于排出循环后的冷却水；
[0010]所述高功率元器件设于所述承载面上。
[0011]上述高功率脉冲磁控溅射电源，通过在板体内部设置供外部冷却水流经的第一槽体、第二槽体及第三槽体，当外部冷却水流经上述槽体进行循环时，可以快速地对高功率元器件进行冷却，且在第一槽体开口部安装进水口，外部冷却水可以便捷地通过进水口流入第一槽体开始进行循环，在第二槽体开口部安装出水口，利于将带着热量的冷却水排出冷却装置外，相对目前依靠自然冷却对高功率元器件进行散热的方式，本技术设置的第一槽体、第二槽体及第三槽体提高了冷热交换效率，不会使高功率元器件一直处于高温状态，一方面保证了高功率元器件的正常使用，另一方面也延长了高功率元器件的使用寿命，继而提高了高功率脉冲磁控溅射电源的稳定性和可靠性。
[0012]在其中一个实施例中，所述冷却装置还包括第一接头和第二接头，所述第一接头安装于所述进水口，用于连接外部水管，所述第二接头安装于所述出水口，用于排出循环后的冷却水。
[0013]在其中一个实施例中，所述冷却装置还包括堵盖，所述第一槽体、所述第二槽体及所述第三槽体围成U型槽，所述第三槽体的第一端延伸至所述板体的外侧，所述堵盖安装于所述第一端。
[0014]在其中一个实施例中，所述U型槽内的水流通道截面形状为圆形，且直径为9mm
‑
11mm。
[0015]在其中一个实施例中，所述U型槽靠近所述高功率元器件的一侧距离所述板体上表面5mm
‑
6mm。
[0016]在其中一个实施例中，所述板体为铝板。
[0017]在其中一个实施例中，所述板体靠近所述高功率元器件的一侧表面涂覆有散热膏。
[0018]在其中一个实施例中，所述板体与所述高功率元器件可拆卸连接。
[0019]在其中一个实施例中，还包括多个安装孔，多个所述安装孔间隔设置，所述安装孔贯穿所述高功率元器件和部分所述板体，且与所述第一槽体、所述第二槽体及所述第三槽体错位设置，第一紧固件与所述安装孔配合将所述板体与所述高功率元器件固定为一体。
[0020]本技术还公开了一种真空镀膜设备，包括如上述任一实施例所述的高功率脉冲磁控溅射电源。
[0021]上述真空镀膜设备，包括高功率脉冲磁控溅射电源，该高功率脉冲磁控溅射电源通过在板体内部设置供外部冷却水流经的第一槽体、第二槽体及第三槽体，当外部冷却水流经上述槽体进行循环时，可以快速地对高功率元器件进行冷却，且在第一槽体开口部安装进水口，外部冷却水可以便捷地通过进水口流入第一槽体开始进行循环，在第二槽体开口部安装出水口，利于将带着热量的冷却水排出冷却装置外，相对目前依靠自然冷却对高功率元器件进行散热的方式，本技术设置的第一槽体、第二槽体及第三槽体提高了冷热交换效率，不会使高功率元器件一直处于高温状态，一方面保证了高功率元器件的正常使用，另一方面也延长了高功率元器件的使用寿命，在提高高功率脉冲磁控溅射电源稳定性和可靠性的同时也提高了真空镀膜设备的使用寿命及镀膜质量。
附图说明
[0022]图1为本技术提供的一种高功率脉冲磁控溅射电源示意图；
[0023]图2为图1中的一种冷却装置示意图；
[0024]图3为图2中冷却装置内的冷却水流动示意图；
[0025]图4为图1中的一种高功率元器件与板体结构爆炸示意图。
[0026]其中：
[0027]10、高功率脉冲磁控溅射电源；
[0028]100、高功率元器件；
[0029]200、冷却装置；210、板体；211、第一槽体；212、第二槽体；213、第三槽体；220、进水口；230、出水口；240、第一接头；250、第二接头；260、堵盖；
[0030]300、安装板；
[0031]400、底板；
[0032]500、安装孔。
具体实施方式
[0033]为使本技术的上述目的、特征和优点能够更加明显易懂，下面结合附图对本技术的具体实施方式做详细的说明。在下面的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，本领域技术人员可以在不违背本技术内涵的情况下做类似改进，因此本技术不受下面公开的具体实施例的限制。
[0034]在本技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本技术的限制。
[0035]此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高功率脉冲磁控溅射电源，其特征在于，包括高功率元器件和冷却装置，其中：所述冷却装置包括板体、进水口及出水口，所述板体上设置有承载面，且内部设置有第一槽体、第二槽体及第三槽体，所述第一槽体和所述第二槽体间隔开口于所述板体侧面，所述第三槽体连通所述第一槽体及所述第二槽体；所述进水口安装于所述第一槽体的第一开口部并与所述第一开口部连通，用于外部冷却水的流入；所述出水口安装于所述第二槽体的第二开口部并与所述第二开口部连通，用于排出循环后的冷却水；所述高功率元器件设于所述承载面上。2.根据权利要求1所述的高功率脉冲磁控溅射电源，其特征在于，所述冷却装置还包括第一接头和第二接头，所述第一接头安装于所述进水口，用于连接外部水管，所述第二接头安装于所述出水口，用于排出循环后的冷却水。3.根据权利要求1所述的高功率脉冲磁控溅射电源，其特征在于，所述冷却装置还包括堵盖，所述第一槽体、所述第二槽体及所述第三槽体围成U型槽，所述第三槽体的第一端延伸至所述板体的外侧，所述堵盖安装于所述第一端。4.根据权利要求3所述的高功率脉冲磁控溅射电源，其特征...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨恺，林海天，李立升，岑洪师，
申请(专利权)人：广东华升纳米科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：