有机电致发光元件制程的基板传送装置制造方法及图纸

本设计揭示一种有机电致发光显示器制程的基板传送装置，包括一设于制程机台前侧，具有缓冲效果的基板定位转换腔。本设计于传送过程中因保持真空或充满可保护基板的气体，可使基板免遭外界大气污染，且由于各模组的制程可独立操作、增加制程操作弹性，使各制程设备的厂房配置更具空间效益。（*该技术在2011年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本设计属于一种传送装置，特别是指一种有机电致发光显示器制程的基板传送装置。已知的有机电致发光显示器制程设施配置如附图说明图1所示，于一带状基板传送区91的两侧分设有预处理单元921，921＇、显示面板制备单元922，922＇、发光材料镀膜单元923，923＇、阴极镀膜单元924，924＇及封装单元925，925＇等独立的密封区域。基板由入口93送入前，需将整个基板传送区91抽至真空状态，然后推入预处理单元921，并配合该单元的气体环境而调整其真空度，或喷入保护性的纯化气体如氮气或氩气，进行如清洗等程序；预处理完毕后，需再使整个基板传送区91呈现真空状态，才将基板推出预处理单元921，及送至显示面板制备单元922；如此依序完成整个制程。此等设施的主要缺点在于基板由一单元移至另一单元时，往往需将整个基板传送区抽至真空状态，而后可能需调整其真空度或再破真空而曝大气，不仅容易造成基板受空气污染且耗费动力，各单元的空间配置亦受限于流程，且对于不同操作时间的单元可能造成延宕或累积，且对设备的维修保养不易。本设计的另一目的在提供一种有机电致发光显示器(OEDL)制程的基板传送装置，可使基板于本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种有机电致发光显示器制程的基板传送装置，其特征在于，该装置主要包括： 一基板传动腔，该基板传动腔由一壳体形成一密闭空间，其内部可容置基板，该壳体另一设有开口，而该开口具有一闸门； 至少一制程区，该制程区由一壳体形成一密闭空间，该壳体另设有一开口，而该开口具有一闸门，该制程区内部尚包括一制程机台；及 一用以将该基板传动腔移至该制程机台的移动单元，该基板传动腔移动开口对应于该制程机台开口位置； 一用以衔接该基板传动腔移动开口与该制程机台开口的衔接单元；及 一用以控制该基板传动腔密闭空间及／或该制程区密闭空间内部环境的环境控制单元。

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】

【专利技术属性】
技术研发人员：张毅，刘荣隆，杨志仁，郭志明，王智益，卢添荣，
申请(专利权)人：铼宝科技股份有限公司，
类型：实用新型
国别省市：71[中国|台湾]