温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本设计揭示一种有机电致发光显示器制程的基板传送装置，包括一设于制程机台前侧，具有缓冲效果的基板定位转换腔。本设计于传送过程中因保持真空或充满可保护基板的气体，可使基板免遭外界大气污染，且由于各模组的制程可独立操作、增加制程操作弹性，使各制程...
该专利属于铼宝科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过铼宝科技股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。