一种硅液抽取装置制造方法及图纸

技术编号:37020452 阅读:19 留言:0更新日期:2023-03-25 18:53
本实用新型专利技术涉及单晶硅拉制生产技术领域,提供一种硅液抽取装置,包括依次连接的抽取管、真空腔、连接管及真空泵,抽取管包括内外依次设置的第一内衬、第二内衬、加热器及第一外衬。利用压力差并通过多层且带加热功能的抽取管,可以快速地将硅液从石英坩埚中抽到真空腔内而不发生凝固,实现快速停炉并节省操作时间,从而降低在单晶制造过程中因石英坩埚鼓包、加热器打火等异常事故导致的已熔融硅液无法继续生长为单晶而发生的原辅材料、时间、能源的成本损失。源的成本损失。源的成本损失。

【技术实现步骤摘要】
一种硅液抽取装置


[0001]本技术涉及单晶硅拉制生产
,具体涉及一种硅液抽取装置。

技术介绍

[0002]硅基电池作为一种太阳能电池,因其转化效率稳定占据着太阳能电池应用的主要市场。而制造硅基电池的重要材料——单晶硅片,其成本的高低影响着整个太阳能电池行业的利润率,所以降低单晶硅片的制造成本越来越重要。
[0003]目前,行业内主要通过直拉法工艺生产单晶硅,直拉法生产成本包括基础设施、设备厂房、能耗(电力)成本、原辅材料、人工成本等,其中基础设施、设备厂房为前期一次性投入成本、在后期生产成本中占固定额,能耗成本、原辅材料、人工成本为可变额,固定额与可变额相互之间相辅相成,最终导向均为单位时间有效产出的成本。然而,在单晶生长过程中时常因石英坩埚鼓包、加热器打火等异常事故导致已熔融硅液无法继续生长为单晶,此时只能通过直接凝固或提拉为多晶硅,但直接凝固会体积膨胀而造成原辅材料损毁,直接提拉会造成时间、能源的损失,最终都会造成有效产出成本的上升。
[0004]因此,如何降低单晶生长过程中因石英坩埚鼓包、加热器打火等异常事故导致的成本损失,对于企业的持续发展及太阳能的快速推广具有重要意义。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的不足,本技术提供一种硅液抽取装置,以降低单晶生长过程中因石英坩埚鼓包、加热器打火等异常事故导致的成本损失。
[0006]为实现上述目的,本技术提供了以下技术方案:
[0007]一种硅液抽取装置,包括依次连接的:
[0008]抽取管、真空腔、连接管及真空泵;
[0009]其中,所述抽取管包括内外依次设置的第一内衬、第二内衬、加热器及第一外衬。
[0010]在本申请公开的一个实施例中,所述第一内衬穿过所述真空腔顶部伸入其内部至少200mm。
[0011]在本申请公开的一个实施例中,所述抽取管还包括呈环形结构的第二外衬;
[0012]所述第二外衬主要由一体成型的内圈与外圈构成;
[0013]所述内圈一端与所述外圈一端封闭连接、另一端密封嵌装于所述第一内衬内,所述外圈另一端密封套设于所述第一外衬外。
[0014]在本申请公开的一个实施例中,所述第一内衬为石英内衬;
[0015]所述第二内衬为碳碳内衬;
[0016]所述第一外衬为碳碳外衬;
[0017]所述第二外衬为石英外衬。
[0018]在本申请公开的一个实施例中,所述加热器为电阻丝制作而成的发热体。
[0019]在本申请公开的一个实施例中,所述真空腔包括外筒及内筒;
[0020]所述外筒带上盖且可打开、以提供密闭空间;
[0021]所述内筒上端敞开、用于存储抽出的硅液。
[0022]在本申请公开的一个实施例中,所述内筒包含内外两层相互嵌套的筒体;
[0023]所述内层筒体由所述外层筒体支撑;
[0024]所述外层筒体与所述外筒内壁之间有空隙、以实现隔热。
[0025]在本申请公开的一个实施例中,所述内层筒体为高纯石英砂制作的石英筒;
[0026]所述外层筒体为碳碳复合材料制作的碳碳筒。
[0027]在本申请公开的一个实施例中,所述连接管为钢管。
[0028]在本申请公开的一个实施例中,所述连接管为不锈钢管。
[0029]与现有技术相比,本技术的有益效果是:
[0030]1、利用压力差并通过多层且带加热功能的抽取管,可以快速地将硅液从石英坩埚中抽到真空腔内而不发生凝固,实现快速停炉并节省操作时间,从而降低在单晶制造过程中因石英坩埚鼓包、加热器打火等异常事故导致的已熔融硅液无法继续生长为单晶而发生的原辅材料、时间、能源的成本损失。
[0031]2、通过第二外衬,可将抽取管一端的第一内衬、第二内衬、加热器及第一外衬的端头包裹起来,防止其与硅液接触,从而避免硅液被污染,以便硅液的回收使用。
附图说明
[0032]为了更清楚地说明本申请实施例或现有技术中的技术方案,下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单的介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本申请的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其他的附图。
[0033]图1为本技术的立体结构示意图;
[0034]图2为图1对半剖切后的局部立体结构示意图;
[0035]图3为图2中局部A放大结构示意图;
[0036]图4为图2中局部B放大结构示意图;
[0037]图5为图2中局部C放大结构示意图;
[0038]图6为第二外衬的立体透视结构示意图。
具体实施方式
[0039]在下文中,仅简单地描述了某些示例性实施例。正如本领域技术人员可认识到的那样,在不脱离本技术的精神或范围的情况下,可通过各种不同方式修改所描述的实施例。因此,附图和描述被认为本质上是示例性的而非限制性的。
[0040]在本技术的描述中,需要理解的是,术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系,仅是为了便于描述本技术和简化描述,而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作,因此不能理解为对本技术的限制。
[0041]此外,术语“第一”、“第二”仅用于描述目的,而不能理解为指示或暗示相对重要性
或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此,限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本技术的描述中,“多个”的含义是两个或两个以上,除非另有明确具体的限定。
[0042]在本技术中,除非另有明确的规定和限定,术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解,例如,可以是固定连接,也可以是可拆卸连接,或成一体;可以是直接相连,也可以通过中间媒介间接相连,可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言,可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0043]在本技术中,除非另有明确的规定和限定,第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触,也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且,第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方,或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方,或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。
[0044]下文的公开提供了许多不同的实施方式或例子用来实现本技术的不同结构。为了简化本技术的公开,下文中对特定例子的部件和本文档来自技高网
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅液抽取装置,其特征在于,包括依次连接的:抽取管、真空腔、连接管及真空泵;其中,所述抽取管包括内外依次设置的第一内衬、第二内衬、加热器及第一外衬。2.根据权利要求1所述的硅液抽取装置,其特征在于,所述第一内衬穿过所述真空腔顶部伸入其内部至少200mm。3.根据权利要求1或2所述的硅液抽取装置,其特征在于:所述抽取管还包括呈环形结构的第二外衬;所述第二外衬主要由一体成型的内圈与外圈构成;所述内圈一端与所述外圈一端封闭连接、另一端密封嵌装于所述第一内衬内,所述外圈另一端密封套设于所述第一外衬外。4.根据权利要求3所述的硅液抽取装置,其特征在于:所述第一内衬为石英内衬;所述第二内衬为碳碳内衬;所述第一外衬为碳碳外衬;所述第二外衬为石英外衬。5.根据权利要求1或4所述的硅液...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘要普陈浩李国华乃家旺袁梦马自成
申请(专利权)人:四川永祥光伏科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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