一种物料能够处于温度最高处的退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种物料能够处于温度最高处的退火炉，包括炉体和冷却组件，所述炉体的前端设置有门板组件，所述冷却组件设置在炉体的上端，且炉体的上端右侧设置有压力表，所述炉体的内部左右两壁均设置有加热组件，且炉体的内部下端中部设置有升降台，所述升降台的内部设置有多节伸缩杆，且多节伸缩杆的上端设置有加工台，所述炉体的后方左右两端均设置有循环组件，且循环组件的下端连接预热箱。该物料能够处于温度最高处的退火炉，与现有的退火炉相比，可对物料进行加热使物料加热的更加充分，快速提高物料退火的效果，并且可有效提高了热流中热量的利用率，而且还可便于操作人员对炉体内部进行维护。员对炉体内部进行维护。员对炉体内部进行维护。

【技术实现步骤摘要】
一种物料能够处于温度最高处的退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，具体为一种物料能够处于温度最高处的退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉一种以进行金属热处理工艺的机器，通过将金属机件放在不同的退火炉内缓慢加热到一定温度，保温一段时间，然后以适宜速度冷却完成加工，其目的是使经过铸造、锻轧、焊接或切削加工的材料或工件软化，降低硬度改善塑性和韧性，使化学成分均匀化，去除残余应力或得到预期的物理性能。
[0003]如公开号为CN206127370U，名为退火炉的专利，该是通过退火炉本体，退火炉本体包括高温段以及低温段，高温段上连通有热风进口以及热风出口，低温段内设置有电加热装置，热风进口与燃烧室相连通，燃烧室连通有天然气管道以及预燃空气管道，预燃空气管道连接有预热箱，热风出口与尾气管道相连通，尾气管道与预热箱相连通，预热箱包括箱体、设置于箱体内的三个折弯板，三个折弯板之间形成两个迷宫式通道，预燃空气管道与其中一个迷宫式通道相连通，尾气管道与另一个迷宫式通道相连通，预热空气管道的端部设置有鼓风机，不仅能够节约能源，而且大大降低对环境的污染。
[0004]上述专利在使用过程中，是直接对物料进行加热，但是却忽略了加热过程中温度高低不均匀的问题，不能使物料处于温度最高处，导致物料加热不充分，影响物料的退火效果，针对上述情况，在现有的退火炉基础上进行技术创新。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种物料能够处于温度最高处的退火炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种物料能够处于温度最高处的退火炉，包括炉体和冷却组件，所述炉体的前端设置有门板组件，所述冷却组件设置在炉体的上端，且炉体的上端右侧设置有压力表，所述炉体的内部左右两壁均设置有加热组件，且炉体的内部下端中部设置有升降台，所述升降台的内部设置有多节伸缩杆，且多节伸缩杆的上端设置有加工台。
[0007]进一步的，所述炉体的后方左右两端均设置有循环组件，且循环组件的下端连接预热箱。
[0008]进一步的，所述炉体的左右两端均设置有排气组件，且炉体的下端左右两侧均设置有支脚。
[0009]进一步的，所述门板组件包括门板、合页、观察窗和拉杆，所述门板的左侧上下两端均设置有合页，且门板的前端中部设置有观察窗，所述门板的前端右侧设置有拉杆。
[0010]进一步的，所述冷却组件包括冷却箱、电机和扇叶，所述冷却箱的内部上端设置有电机，且电机的下端连接有扇叶。
[0011]进一步的，所述循环组件包括热气泵、连接管一和连接管二，所述热气泵的上端连接有连接管一，且热气泵的下端连接有连接管二。
[0012]进一步的，所述排气组件包括冷气泵、连接管三和排气管，所述冷气泵的上端连接有连接管三，且冷气泵的下端连接有排气管。
[0013]进一步的，所述加热组件包括加热箱、热循环风机、热风管、热风板和烧咀，所述加热箱的前端设置有热循环风机，且热循环风机的上端连接有热风管，所述热风管的上端连接有热风板，且热风板的内侧设置有烧咀。
[0014]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该一种物料能够处于温度最高处的退火炉在使用过程中，可对物料进行加热使物料加热的更加充分，快速提高物料退火的效果，并且可有效提高了热流中热量的利用率，而且还可便于操作人员对炉体内部进行维护。
[0015]1.本技术通过升降台、多节伸缩杆、加工台、加热箱、热循环风机和烧咀的设置，操作人员通过打开多节伸缩杆带动加工台进行升降，从而能够带动物料进行升降，进而能够使物料处于温度最高处，再通过打开热循环风机对加热箱内的燃气进行抽取，其次通过热风管和热风板到达烧咀处，对物料进行加热使物料加热的更加充分，快速提高物料退火的效果。
[0016]2.本技术通过预热箱、加热箱、热循环风机、热风管、热风板、连接管一和连接管二的设置，操作人员通过打开热循环风机对加热箱内的燃气进行抽取，其次通过热风管和热风板到达烧咀处，再通过热气泵、连接管一和连接管二将热气抽取到预热箱内进行循环利用，有效提高了热流中热量的利用率。
附图说明
[0017]图1为本技术一种物料能够处于温度最高处的退火炉的正视结构示意图；
[0018]图2为本技术一种物料能够处于温度最高处的退火炉的正视剖结构示意图；
[0019]图3为本技术一种物料能够处于温度最高处的退火炉的热风板立体放大结构示意图。
[0020]图中：1、炉体；2、门板组件；201、门板；202、合页；203、观察窗；204、拉杆；3、支脚；4、冷却组件；401、冷却箱；402、电机；403、扇叶；5、压力表；6、循环组件；601、热气泵；602、连接管一；603、连接管二；7、排气组件；701、冷气泵；702、连接管三；703、排气管；8、预热箱；9、加热组件；901、加热箱；902、热循环风机；903、热风管；904、热风板；905、烧咀；10、升降台；11、多节伸缩杆；12、加工台。
具体实施方式
[0021]如图1所示，一种物料能够处于温度最高处的退火炉，包括炉体1和冷却组件4，炉体1的前端设置有门板组件2，冷却组件4设置在炉体1的上端，且炉体1的上端右侧设置有压力表5，炉体1的内部左右两壁均设置有加热组件9，且炉体1的内部下端中部设置有升降台
10，升降台10的内部设置有多节伸缩杆11，且多节伸缩杆11的上端设置有加工台12，炉体1的后方左右两端均设置有循环组件6，且循环组件6的下端连接预热箱8，门板组件2包括门板201、合页202、观察窗203和拉杆204，门板201的左侧上下两端均设置有合页202，且门板201的前端中部设置有观察窗203，门板201的前端右侧设置有拉杆204，循环组件6包括热气泵601、连接管一602和连接管二603，热气泵601的上端连接有连接管一602，且热气泵601的下端连接有连接管二603，操作人员通过观察窗203观察炉体1内部的情况，当炉体1内部出现问题时，再通过拉动拉杆204带动门板201通过合页202在炉体1上进行转动，进而能够将门板201打开，便于操作人员对炉体1内部进行维护；
[0022]如图2和图3所示，炉体1的左右两端均设置有排气组件7，且炉体1的下端左右两侧均设置有支脚3，冷却组件4包括冷却箱401、电机402和扇叶403，冷却箱401的内部上端设置有电机402，且电机402的下端连接有扇叶403，排气组件7包括冷气泵701、连接管三702和排气管703，冷气泵701的上端连接有连接管三702，且冷气泵701本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物料能够处于温度最高处的退火炉，包括炉体（1）和冷却组件（4），其特征在于，所述炉体（1）的前端设置有门板组件（2），所述冷却组件（4）设置在炉体（1）的上端，且炉体（1）的上端右侧设置有压力表（5），所述炉体（1）的内部左右两壁均设置有加热组件（9），且炉体（1）的内部下端中部设置有升降台（10），所述升降台（10）的内部设置有多节伸缩杆（11），且多节伸缩杆（11）的上端设置有加工台（12）。2.根据权利要求1所述的一种物料能够处于温度最高处的退火炉，其特征在于，所述炉体（1）的后方左右两端均设置有循环组件（6），且循环组件（6）的下端连接预热箱（8）。3.根据权利要求1所述的一种物料能够处于温度最高处的退火炉，其特征在于，所述炉体（1）的左右两端均设置有排气组件（7），且炉体（1）的下端左右两侧均设置有支脚（3）。4.根据权利要求1所述的一种物料能够处于温度最高处的退火炉，其特征在于，所述门板组件（2）包括门板（201）、合页（202）、观察窗（203）和拉杆（204），所述门板（201）的左侧上下两端均设置有合页（202），且门板（201）的前端中部设置有观察窗（203），所述门板（201）的前端右侧设置有拉杆（204）。5.根据权利要求1所述的一种物料能够处于温度最...

【专利技术属性】
技术研发人员：旷利明，黄金国，吴兰珍，林顺高，
申请(专利权)人：厦门富力或姆光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：