一种物料能够处于温度最高处的退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种物料能够处于温度最高处的退火炉，包括炉体和冷却组件，所述炉体的前端设置有门板组件，所述冷却组件设置在炉体的上端，且炉体的上端右侧设置有压力表，所述炉体的内部左右两壁均设置有加热组件，且炉体的内部下端中部设置有升降台，所述升降台的内部设置有多节伸缩杆，且多节伸缩杆的上端设置有加工台，所述炉体的后方左右两端均设置有循环组件，且循环组件的下端连接预热箱。该物料能够处于温度最高处的退火炉，与现有的退火炉相比，可对物料进行加热使物料加热的更加充分，快速提高物料退火的效果，并且可有效提高了热流中热量的利用率，而且还可便于操作人员对炉体内部进行维护。员对炉体内部进行维护。员对炉体内部进行维护。

【技术实现步骤摘要】
一种物料能够处于温度最高处的退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，具体为一种物料能够处于温度最高处的退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，退火炉一种以进行金属热处理工艺的机器，通过将金属机件放在不同的退火炉内缓慢加热到一定温度，保温一段时间，然后以适宜速度冷却完成加工，其目的是使经过铸造、锻轧、焊接或切削加工的材料或工件软化，降低硬度改善塑性和韧性，使化学成分均匀化，去除残余应力或得到预期的物理性能。
[0003]如公开号为CN206127370U，名为退火炉的专利，该是通过退火炉本体，退火炉本体包括高温段以及低温段，高温段上连通有热风进口以及热风出口，低温段内设置有电加热装置，热风进口与燃烧室相连通，燃烧室连通有天然气管道以及预燃本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种物料能够处于温度最高处的退火炉，包括炉体（1）和冷却组件（4），其特征在于，所述炉体（1）的前端设置有门板组件（2），所述冷却组件（4）设置在炉体（1）的上端，且炉体（1）的上端右侧设置有压力表（5），所述炉体（1）的内部左右两壁均设置有加热组件（9），且炉体（1）的内部下端中部设置有升降台（10），所述升降台（10）的内部设置有多节伸缩杆（11），且多节伸缩杆（11）的上端设置有加工台（12）。2.根据权利要求1所述的一种物料能够处于温度最高处的退火炉，其特征在于，所述炉体（1）的后方左右两端均设置有循环组件（6），且循环组件（6）的下端连接预热箱（8）。3.根据权利要求1所述的一种物料能够处于温度最高处的退火炉，其特征在于，所述炉体（1）的左右两端均设置有排气组件（7），且炉体（1）的下端左右两侧均设置有支脚（3）。4.根据权利要求1所述的一种物料能够处于温度最高处的退火炉，其特征在于，所述门板组件（2）包括门板（201）、合页（202）、观察窗（203）和拉杆（204），所述门板（201）的左侧上下两端均设置有合页（202），且门板（201）的前端中部设置有观察窗（203），所述门板（201）的前端右侧设置有拉杆（204）。5.根据权利要求1所述的一种物料能够处于温度最...

【专利技术属性】
技术研发人员：旷利明，黄金国，吴兰珍，林顺高，
申请(专利权)人：厦门富力或姆光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：