【技术实现步骤摘要】
一种合成炉加热桶结构
[0001]本技术涉及合成炉
,尤其是涉及一种合成炉加热桶结构。
技术介绍
[0002]合成炉是用于合成在熔点有高离解压的化合物半导体材料的装置,为高压单晶炉提供多晶料,已在生产中使用的半导体材料专用设备。高压合成炉实际上是带高压炉室的水平三温区炉,即合成炉内存在高温区、中温区和低温区,在合成炉使用时,需要通过外部加热管对其内部进行加热合成。合成炉内部的加热炉在高温环境下工作,时间久了容易造成腐蚀损坏,在使用一段时间后,需要对加热炉进行更换保证合成炉的正常工作。
[0003]在现有技术(申请号为CN202123034724.2、专利名称为一种便于调温的多晶合成炉的中国专利技术专利申请。)中,一种便于调温的多晶合成炉,包括炉体和加热炉,所述加热炉竖直位于炉体的内部上方,所述加热炉与炉体连通,所述加热炉的底部设有用于升降加热炉的升降机构,所述加热炉的外部套接有定位环并水平设置,所述加热炉与定位环活动连接,所述定位环的两端均固定连接有固定柱并竖直设置,两个所述固定柱的底部固定连接有同一个底板并水 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种合成炉加热桶结构,其特征在于,包括:合成炉体,所述合成炉体的内腔布置有加热部,所述合成炉体的内腔侧壁开设有安装滑槽,所述安装滑槽的上端内部布置有定位组件;加热桶,所述加热桶包括桶体和安装在桶体侧壁的定位滑块,所述定位滑块均匀布置在桶体的上端。2.根据权利要求1所述的一种合成炉加热桶结构,其特征在于,所述定位滑块和安装滑槽均设置有四组,所述定位滑块滑动安装在安装滑槽内部,且大小相匹配。3.根据权利要求2所述的一种合成炉加热桶结构,其特征在于,所述加热部包括安装在合成炉体内腔的固定环,所述固定环的外壁设置有加热管,所述加热管环绕安装在固定环外壁。4.根据权利要求3所述的一种合成炉加热桶结构,其特征在于,所述固定环的内壁布置有导热板,所述导热板与加热管相连接。5.根据权利要求4所述的一种合成炉加热桶结构,其特征在于,所述安装滑槽贯穿固定环和导热板开设,所述导热板贴合桶体安装。6.根据权利要求5所述的一种合成炉加热...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨定永,李超杰,周凡,
申请(专利权)人:云南全控机电有限公司,
类型:新型
国别省市:
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