一种能够提高热量利用率的退火炉制造技术

本实用新型专利技术公开了一种能够提高热量利用率的退火炉，包括炉柜主体和高温烟道排气管，所述炉柜主体的上方右侧后端设置有辅助组件，所述出气口的内部安装有闭气阀一，所述高温烟道排气管设置于出气口的上方，所述高温换热器主体的左侧设置有进气组件。该能够提高热量利用率的退火炉，通过辅助组件、高温烟道排气管、高温换热器主体和进气组件，有利于提高该装置的热量利用率，从而也节约了该装置的燃料使用量，并且固定件、限位组件和把具，有利于操作人员较为便捷式的安拆保温板，此操作较为便捷，从而提高操作人员更换保温板的工作效率，同时矩形槽块、储存箱体和限位块，有利于对必需品或者物品进行储存，便于操作人员需使用时能够直接拿取。直接拿取。直接拿取。

【技术实现步骤摘要】
一种能够提高热量利用率的退火炉


[0001]本技术涉及退火炉
，具体为一种能够提高热量利用率的退火炉。

技术介绍

[0002]退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能，热处理是针对不同的效果而设计的，可以加热晶片以激活掺杂剂，将薄膜转换成薄膜或将薄膜转换成晶片衬底界面，使致密沉积的薄膜，改变生长的薄膜的状态，修复注入的损伤，移动掺杂剂或将掺杂剂从一个薄膜转移到另一个薄膜或从薄膜进入晶圆衬底，其退火炉可以集成到其他炉子处理步骤中，例如氧化，或者可以自己处理，退火炉是由专门为加热半导体晶片而设计的设备完成的。
[0003]现有公开号CN210287415U，名为退火炉的专利，该装置通过上壳体、下壳体，所述上壳体、下壳体之间形成一中空腔体，所述中空腔体内设有炉胆，所述上壳体与所述炉胆之间设置有耐火毯，还包括：耐热板，所述耐热板设置在所述炉胆与所述耐火毯之间，解决了现有技术中耐火毯的铆钩固定方式严重影响炉胆内部的温度场，对工件的热处理效果造成影响的技术问题。
[0004]上述装置在使用过程中虽然能够解决耐火毯的铆钩固定方式严重影响炉胆内部的温度，对工件的热处理效果造成影响的技术问题，但是忽略了该装置不具备提高热量利用率的功能，导致该装置在后续使用的过程中，无法利用该装置内部余热的空气对物料进行加工，从而使得该装置在后续使用的过程中极其燃料，为此，我们提出一种能够提高热量利用率的退火炉。

技术实现思路

[0005]本技术的目的在于提供一种能够提高热量利用率的退火炉，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0006]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种能够提高热量利用率的退火炉，包括炉柜主体和高温烟道排气管，所述炉柜主体的上方右侧后端设置有辅助组件，且辅助组件包括出气口和闭气阀一，所述出气口的内部安装有闭气阀一，所述高温烟道排气管设置于出气口的上方，且高温烟道排气管的下方右侧设置有高温换热器主体，所述高温换热器主体的左侧设置有进气组件，且进气组件包括进气口和闭气阀二，所述进气口的内部安装有闭气阀二，所述高温换热器主体的下方设置有支撑件。
[0007]进一步的，所述炉柜主体的外部设置有固定件，且固定件设置有十二个。
[0008]进一步的，所述固定件的外部安装有保温板，且保温板设置有六个。
[0009]进一步的，所述固定件的外侧设置有限位组件，且限位组件包括硅胶件、限位杆和限位板，所述硅胶件的内部粘接有限位杆，且限位杆的外侧设置有限位板。
[0010]进一步的，所述限位板的内部开设连接有固定扣，且限位板与固定扣为卡合连接。
[0011]进一步的，所述限位板的下方安装有把具，且把具设置有六个。
[0012]进一步的，所述炉柜主体的前方左右两侧下端均设置有矩形槽块，且炉柜主体与矩形槽块为一体化连接。
[0013]进一步的，所述矩形槽块的下方安装有储存箱体，且矩形槽块的上方设置有限位块。
[0014]本技术提供了一种能够提高热量利用率的退火炉，具备以下有益效果：通过辅助组件、高温烟道排气管、高温换热器主体和进气组件，有利于提高该装置的热量利用率，从而也节约了该装置的燃料使用量，并且固定件、限位组件和把具，有利于操作人员较为便捷式的安拆保温板，此操作较为便捷，从而提高操作人员更换保温板的工作效率，同时矩形槽块、储存箱体和限位块，有利于对必需品或者物品进行储存，便于操作人员需使用时能够直接拿取，避免操作人员在工作时，需要去别处拿取必需品或者物品较为浪费时间。
[0015]1、本技术通过辅助组件、高温烟道排气管、高温换热器主体和进气组件的设置，操作人员先手握出气口右侧的闭气阀一把手进行转动，直至闭气阀一内部开设的圆形槽能够与出气口进行相通，之后操作人员手握进气口上方闭气阀二的把手进行转动，直至闭气阀二内部开设的圆形槽能够与进气口进行相通，然后操作人员打开高温换热器主体的开关，使得炉柜主体内部的余热空气能够通过辅助组件和高温烟道排气管流动到高温换热器主体的内部，这时高温换热器主体会对余热空气进行加热，温度提高的余热空气会通过进气组件进入炉柜主体的内部，有利于提高该装置的热量利用率，从而也节约了该装置的燃料使用量。
[0016]2、本技术通过固定件、限位组件和把具的设置，操作人员先手握保温板进行移动，直至保温板表面开设的三个矩形槽与固定件进行卡合，之后另外一名操作人员手握限位板带动硅胶件和限位杆进行移动，将硅胶件与固定件内部开设的圆孔外表面进行对齐，对齐之后再将固定扣贯穿于保温板和限位板表面开设的圆孔，直至穿入炉柜主体的内壁，然后操作人员通过锤子撞击固定扣的外侧，这时限位杆会通过硅胶件本身的弹性，带动硅胶件卡合于固定件的内部，使得保温板能够牢牢限位固定在炉柜主体的外部，再然后操作人员手握把具进行移动，直至把具与限位板一侧凸块表面开设的矩形槽进行卡合，卡合之后通过螺丝进行固定，使得把具能够牢牢固定在限位板的一侧，有利于操作人员较为便捷式的安拆保温板，此操作较为便捷，从而提高操作人员更换保温板的工作效率。
附图说明
[0017]图1为本技术一种能够提高热量利用率的退火炉的正视结构示意图；
[0018]图2为本技术一种能够提高热量利用率的退火炉的图1中A处放大结构示意图；
[0019]图3为本技术一种能够提高热量利用率的退火炉的储存箱体立体结构示意图。
[0020]图中：1、炉柜主体；2、辅助组件；201、出气口；202、闭气阀一；3、高温烟道排气管；4、高温换热器主体；5、进气组件；501、进气口；502、闭气阀二；6、支撑件；7、保温板；8、固定件；9、限位组件；901、硅胶件；902、限位杆；903、限位板；10、固定扣；11、把具；12、矩形槽块；13、储存箱体；14、限位块。
具体实施方式
[0021]如图1和图2所示，一种能够提高热量利用率的退火炉，包括炉柜主体1和高温烟道排气管3，炉柜主体1的上方右侧后端设置有辅助组件2，且辅助组件2包括出气口201和闭气阀一202，出气口201的内部安装有闭气阀一202，高温烟道排气管3设置于出气口201的上方，且高温烟道排气管3的下方右侧设置有高温换热器主体4，高温换热器主体4的左侧设置有进气组件5，且进气组件5包括进气口501和闭气阀二502，进气口501的内部安装有闭气阀二502，高温换热器主体4的下方设置有支撑件6，操作人员先手握出气口201右侧的闭气阀一202把手进行转动，直至闭气阀一202内部开设的圆形槽能够与出气口201进行相通，之后操作人员手握进气口501上方闭气阀二502的把手进行转动，直至闭气阀二502内部开设的圆形槽能够与进气口501进行相通，然后操作人员打开高温换热器主体4的开关，使得炉柜主体1内部的余热空气能够通过辅助组件2和高温烟道排气管3流动到高温换热器主体4的内部，这时高温换热器主体4会对余热空气进行加热，温度提高的余热空气会通过进气组件5进入本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种能够提高热量利用率的退火炉，包括炉柜主体（1）和高温烟道排气管（3），其特征在于，所述炉柜主体（1）的上方右侧后端设置有辅助组件（2），且辅助组件（2）包括出气口（201）和闭气阀一（202），所述出气口（201）的内部安装有闭气阀一（202），所述高温烟道排气管（3）设置于出气口（201）的上方，且高温烟道排气管（3）的下方右侧设置有高温换热器主体（4），所述高温换热器主体（4）的左侧设置有进气组件（5），且进气组件（5）包括进气口（501）和闭气阀二（502），所述进气口（501）的内部安装有闭气阀二（502），所述高温换热器主体（4）的下方设置有支撑件（6）。2.根据权利要求1所述的一种能够提高热量利用率的退火炉，其特征在于，所述炉柜主体（1）的外部设置有固定件（8），且固定件（8）设置有十二个。3.根据权利要求2所述的一种能够提高热量利用率的退火炉，其特征在于，所述固定件（8）的外部安装有保温板（7），且保温板（7）设置有六个。4.根据权利要求2所述的一种能够提高热量利用...

【专利技术属性】
技术研发人员：林顺高，黄金国，吴兰珍，旷利明，
申请(专利权)人：厦门富力或姆光电技术有限公司，
类型：新型
国别省市：