一种用于芯片生产用的涂层装置制造方法及图纸

技术编号:37013107 阅读:65 留言:0更新日期:2023-03-25 18:43
本实用新型专利技术涉及一种用于芯片生产用的涂层装置,包括放料台,所述放料台上开设有放料槽,所述放料台的背面固定连接有弧形架,所述放料台和弧形架相向的两侧均固定连接有支腿,所述放料台靠近支腿的底部固定连接有控制器,所述弧形架内设置有位移机构,所述放料台上设置有与位移机构配合使用的喷涂机构。通过设置位移机构,对两组喷漆嘴起到往复位移调节的作用,满足不同位置的芯片喷涂需求,通过设置喷涂机构,由工业级相机对每组芯片的喷涂位置进行拍照定位,喷漆泵提供喷涂来源,再由料筒、三通管、支管、喷漆嘴和均流板的配合,对多组芯片进行高效喷涂操作,提高芯片的喷涂加工效率,满足大批量芯片的喷涂需求。满足大批量芯片的喷涂需求。满足大批量芯片的喷涂需求。

【技术实现步骤摘要】
一种用于芯片生产用的涂层装置


[0001]本技术涉及芯片生产
,尤其涉及一种用于芯片生产用的涂层装置。

技术介绍

[0002]芯片,又称微电路、微芯片、集成电路,是指内含集成电路的硅片,常常是计算机或其他电子设备的一部分,为了使芯片更好的工作,需要借助涂层装置对芯片表面施加涂层防护。
[0003]目前所使用的涂层装置在对芯片喷涂过程中,大多单次只能对单个芯片进行喷涂处理,不能采用相机定位技术,对多组芯片进行高效喷涂操作,降低芯片的喷涂加工效率,满足不了大批量芯片的喷涂需求。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是为了解决现有技术中存在不能采用相机定位技术,对多组芯片进行高效喷涂操作的缺点,而提出的一种用于芯片生产用的涂层装置。
[0005]为了实现上述目的,本技术采用了如下技术方案:
[0006]一种用于芯片生产用的涂层装置,包括放料台,所述放料台上开设有放料槽,所述放料台的背面固定连接有弧形架,所述放料台和弧形架相向的两侧均固定连接有支腿,所述放料台靠近支腿的底部固定连接有控制器,所述弧形架内设置有本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于芯片生产用的涂层装置,包括放料台(1),其特征在于:所述放料台(1)上开设有放料槽(2),所述放料台(1)的背面固定连接有弧形架(3),所述放料台(1)和弧形架(3)相向的两侧均固定连接有支腿,所述放料台(1)靠近支腿的底部固定连接有控制器,所述弧形架(3)内设置有位移机构(4),所述放料台(1)上设置有与位移机构(4)配合使用的喷涂机构(5)。2.根据权利要求1所述的一种用于芯片生产用的涂层装置,其特征在于,所述位移机构(4)包括齿牙(41),所述齿牙(41)呈一字型固定在弧形架(3)内腔的顶部且弧形架(3)远离放料台(1)的一侧设置有伺服电机(42),所述伺服电机(42)的输出轴后至前依次固定连接有减速机(43)和驱动齿轮(44)且驱动齿轮(44)与齿牙(41)啮合,所述驱动齿轮(44)的前后两侧均转动连接有转环(45)且转环(45)的顶部固定连接有与弧形架(3)配合使用的支座(46)。3.根据权利要求2所述的一种用于芯片生产用的涂层装置,其特征在于,所述喷涂机构(5)包括工业级相机(51),所述工业级相机(51)固定在支座(46)的底部且支座(46)靠近弧形架(3)的顶部固定连接有料筒(52),所述料筒(52)的出料口连通有...

【专利技术属性】
技术研发人员:宋云菲卢胜前凡皓雪
申请(专利权)人:无锡市华辰芯光半导体科技有限公司
类型:新型
国别省市:

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