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本实用新型涉及一种用于芯片生产用的涂层装置，包括放料台，所述放料台上开设有放料槽，所述放料台的背面固定连接有弧形架，所述放料台和弧形架相向的两侧均固定连接有支腿，所述放料台靠近支腿的底部固定连接有控制器，所述弧形架内设置有位移机构，所述放料...
该专利属于无锡市华辰芯光半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市华辰芯光半导体科技有限公司授权不得商用。

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