铜盘更换装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及蓝宝石加工技术领域，公开了一种铜盘更换装置，铜盘更换装置包括沿竖直方向延伸的第一支架、设置于该第一支架上的第二支架以及设置于第二支架上的铜盘卡钳组件，第二支架能够沿第一支架在竖直方向移动，铜盘卡钳组件能够沿水平方向移动，并包括相对设置的两个铜盘卡钳，两个铜盘卡钳能够被驱动为彼此靠近或远离以夹持或释放铜盘。本实用新型专利技术中的铜盘卡钳组件能够沿竖直方向和水平方向移动，并且两个铜盘卡钳之间能够彼此靠近或远离，从而使得该铜盘更换装置能够将新铜盘移动至需要更换铜盘的铜抛机旁。该铜盘更换装置只需1

【技术实现步骤摘要】
铜盘更换装置


[0001]本技术涉及蓝宝石加工
，具体地涉及一种铜盘更换装置。

技术介绍

[0002]蓝宝石是一种集优良光学性能物理性能和化学性能于一身的独特晶体，是现代工业重要的基础材料。其独特的晶格结构、优异的力学性能、良好的热学性能使蓝宝石晶体成为实际应用的半导体照明(LED)、大规模集成电路以及超导纳米结构薄膜等理想的衬底材料。
[0003]随着国内LED和半导体的切磨抛加工技术日益成熟，LED和半导体不仅对于材料要求，对于所有阶段的加工技术要求都出现了不同阶段的提升瓶颈，由传统的模仿和学习开始慢慢转变为自主研发提升，晶片铜抛温度的控住主要是针对晶片抛光各制程产品在总厚度偏差(TTV)、弯曲度(BOW)、翘曲度(WARP)、局部厚度偏差(LTV)等参数控制上，再次提升和突破的另一项参数需求。单面硬抛的方式，一方面为了降低晶片的翘曲度，另一方面为了去除晶片表面的损伤层，保障晶片的翘曲度，则需要修复时间长，磨削量多，才能达到保证晶片平坦的目的。由于蓝宝石硬度高、脆性大给材料加工尤其是表面纳米级抛光带来很多困难。为应对光电技术的发展对蓝宝石衬底材料表面提出的超光滑、无损伤的要求，必须对蓝宝石衬底进行精细抛光。
[0004]现有蓝宝石晶片的具体制作方法为：切片
→
双面研磨
→
倒角
→
清洗
→
退火
→
分选
→
贴片
→
铜抛
→
软抛
→
清洗<br/>→
检测。铜抛作为其中关键的一部，直接影响蓝宝石晶片的产品良率。现有的50D铜抛机铜盘用完需要人工更换，因50D铜抛机铜盘较大较重，需要至少4
‑
5人协助方可将旧铜盘抬下，新铜盘抬起装上，此人工更换过程不仅效率低下，而且人工搬运铜盘有较大受伤风险，还会造成铜盘的损坏等。
[0005]因此，亟需一种用于蓝宝石铜抛机铜盘更换的辅助装置以解决上述的至少部分问题。

技术实现思路

[0006]本技术的目的是为了克服现有技术存在的铜盘更换效率低的问题，提供一种铜盘更换装置，该铜盘更换装置具有能够提高铜盘更换效率的优点。
[0007]为了实现上述目的，本技术一方面提供一种铜盘更换装置，所述铜盘更换装置包括沿竖直方向延伸的第一支架、设置于该第一支架上的第二支架以及设置于所述第二支架上的铜盘卡钳组件，所述第二支架能够沿所述第一支架在竖直方向移动，所述铜盘卡钳组件能够沿水平方向移动，并包括相对设置的两个铜盘卡钳，两个所述铜盘卡钳能够被驱动为彼此靠近或远离以夹持或释放铜盘。
[0008]可选地，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架上的驱动电机，所述驱动电机的输出端传动连接至所述第二支架以能够驱动该第二支架带动所述铜盘卡钳组件沿竖直方向移动。
[0009]可选地，所述铜盘更换装置包括钢丝绳以及钢丝绳收放装置，所述第一支架的顶部设置有第一滑轮，所述第二支架的顶部设置有第二滑轮，所述钢丝绳从所述钢丝绳收放装置依次绕过所述第一滑轮以及所述第二滑轮延伸并连接于所述第一支架，以能够通过所述钢丝绳收放装置收放所述钢丝绳而使得第二支架随所述第二滑轮在竖直方向移动。
[0010]可选地，所述铜盘更换装置包括设置于所述第二支架上的手轮，所述手轮能够操作为使得所述铜盘卡钳组件沿水平方向移动。
[0011]可选地，所述铜盘卡钳组件包括相对设置的两个连接件，两个所述连接件能够彼此靠近或远离，所述铜盘卡钳分别通过所述连接件连接于所述第二支架。
[0012]可选地，所述铜盘更换装置包括两个驱动装置，两个所述驱动装置的输出端分别作用于所述连接件以使得两个所述铜盘卡钳能够彼此靠近或远离。
[0013]可选地，两个所述铜盘卡钳在彼此相对的一侧分别具有弧形内轮廓。
[0014]可选地，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架的远离所述第二支架一侧的把手。
[0015]可选地，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架底部的支腿。
[0016]可选地，所述支腿的两端分别设置有滚轮。
[0017]通过上述技术方案，本技术中的铜盘卡钳组件能够沿竖直方向和水平方向移动，并且两个铜盘卡钳之间能够彼此靠近或远离，从而使得该铜盘更换装置能够将新铜盘移动至需要更换铜盘的铜抛机旁，并将旧铜盘从铜抛机上拆下。该铜盘更换装置只需1
‑
2人即可完成铜盘的更换，节约生产成本，提高生产效率。
附图说明
[0018]图1是本技术中铜盘更换装置的一种角度示意图。
[0019]附图标记说明
[0020]1‑
第一支架；2
‑
第二支架；3
‑
铜盘卡钳组件；31
‑
铜盘卡钳；32
‑
连接件；4
‑
钢丝绳；5
‑
钢丝绳收放装置；6
‑
第一滑轮；7
‑
手轮；8
‑
把手；9
‑
支腿；10
‑
滚轮。
具体实施方式
[0021]以下结合附图对本技术的具体实施方式进行详细说明。应当理解的是，此处所描述的具体实施方式仅用于说明和解释本技术，并不用于限制本技术。在本技术中，在未作相反说明的情况下，使用的方位词如“上、下”通常是指参照附图所示的方位。
[0022]本技术提供一种铜盘更换装置，参照图1，所述铜盘更换装置包括沿竖直方向延伸的第一支架1、设置于该第一支架1上的第二支架2以及设置于所述第二支架2上的铜盘卡钳组件3，所述第二支架2能够沿所述第一支架1在竖直方向移动，所述铜盘卡钳组件3能够沿水平方向移动，并包括相对设置的两个铜盘卡钳31，两个所述铜盘卡钳31能够被驱动为彼此靠近或远离以夹持或释放铜盘。
[0023]通过上述技术方案，本技术中的铜盘卡钳组件3能够沿竖直方向和水平方向移动，并且两个铜盘卡钳31之间能够彼此靠近或远离，从而使得该铜盘更换装置能够将新铜盘移动至需要更换铜盘的铜抛机旁，并将旧铜盘从铜抛机上拆下。该铜盘更换装置只需
1
‑
2人即可完成铜盘的更换，节约生产成本，提高生产效率。
[0024]在本技术的一种实施方式中，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架1上的驱动电机，所述驱动电机的输出端传动连接至所述第二支架2以能够驱动该第二支架2带动所述铜盘卡钳组件3沿竖直方向移动。在另一种实施方式中，所述铜盘更换装置也可以包括气压或液压驱动件，通过气压或液压驱动件传动连接至第二支架2已能够驱动该第二支架2带动所述铜盘卡钳组件3沿竖直方向移动。其中，第一支架1上可以形成有轨道，第二支架2可以沿该轨道竖直移动。
[0025]作为一种优选实施方式，所述铜盘更换装置包括钢丝绳4以及钢丝绳收放装置5，所述第一支架1的顶部设置有第一滑轮6本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种铜盘更换装置，其特征在于，所述铜盘更换装置包括沿竖直方向延伸的第一支架(1)、设置于该第一支架(1)上的第二支架(2)以及设置于所述第二支架(2)上的铜盘卡钳组件(3)，所述第二支架(2)能够沿所述第一支架(1)在竖直方向移动，所述铜盘卡钳组件(3)能够沿水平方向移动，并包括相对设置的两个铜盘卡钳(31)，两个所述铜盘卡钳(31)能够被驱动为彼此靠近或远离以夹持或释放铜盘。2.根据权利要求1所述的铜盘更换装置，其特征在于，所述铜盘更换装置包括设置于所述第一支架(1)上的驱动电机，所述驱动电机的输出端传动连接至所述第二支架(2)以能够驱动该第二支架(2)带动所述铜盘卡钳组件(3)沿竖直方向移动。3.根据权利要求1所述的铜盘更换装置，其特征在于，所述铜盘更换装置包括钢丝绳(4)以及钢丝绳收放装置(5)，所述第一支架(1)的顶部设置有第一滑轮(6)，所述第二支架(2)的顶部设置有第二滑轮，所述钢丝绳(4)从所述钢丝绳收放装置(5)依次绕过所述第一滑轮(6)以及所述第二滑轮延伸并连接于所述第一支架(1)，以能够通过所述钢丝绳收放装置(5)收放所述钢丝绳(4)而使得第二支架(2)随所述第二滑轮在竖直方向移动。4.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：王忠海，宋亚滨，翟虎，陆继波，陈桥玉，
申请(专利权)人：甘肃旭晶新材料有限公司，
类型：新型
国别省市：